用于模封体检查的定位装置及检查系统的制作方法

1.本实用新型涉及芯片制造技术领域，尤其是涉及一种用于模封体检查的定位装置及检查系统。


背景技术：

2.在芯片的封装工艺中，芯片在引线框架上完成贴片和焊线后，需要将引线框架与芯片所组成的焊接后体进行模封。相关技术中，模封工艺采用专用模具进行，具体而言，当焊接后体定位在模具中后，采用加热环氧树脂的方式，使得熔融的环氧树脂材料流动并充满模封腔，以包裹整体芯片以及引线框架的部分区域，从而形成包括模封体的模封后体，后续经过电镀、切筋等工艺最终形成半导体产品。
3.在模封工艺中，受工艺参数、模具的清洁度、树脂材料的成分等因素的影响，模封体存在开裂的风险，特别是，发明者们发现，在模具的脱模顶针所在位置处的模封体的侧面较易出现开裂。可以理解的是，如果模封体存在开裂缺陷，会严重影响半导体产品的可靠性，由此，有必要在模封工艺后，对模封后体进行外观检查，以尽早发现风险，从而通过对上述如工艺参数等的调整以解决开裂问题，避免产生大量的废品造成浪费。
4.相关技术中，由于待检查的部分在模封体的侧部，无法采用诸如视觉检测系统进行检查，因此，工厂通常采用人工操作显微镜对模封后体进行外观检查，具体地，操作人员采用手持模封后体方式，在显微镜下逐个对模封后体上的多个模封体进行目视检查。容易理解的是，为了清楚地进行目视检查，操作人员需要反复地对模封后体的位置进行调整，以进行准确地聚焦，由此，此种方式进行目视检查效率极低。此外，由于单个模封后体上排布有大量的模封体，存在漏检的风险，导致检查工序失效。同时，该种方式也导致操作人员的劳动强度较大。


技术实现要素：

5.本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种用于模封体检查的定位装置，该固定装置能够对模封后体的定位，以配合显微镜对模封体的侧部进行目视检查，能够有效地提高对模封体的侧部位置的外观检查的效率。
6.本实用新型还提出一种具有上述用于模封体检查的定位装置的检查系统。
7.根据本实用新型的第一方面实施例的用于模封体检查的定位装置，所述模封体位于基于引线框架的模封后体，包括：
8.基座；
9.第一支撑座，一端枢接于所述基座，所述第一支撑座能够绕枢接轴转动；
10.第二支撑座，连接于所述第一支撑座的顶部，能够相对于所述第一支撑座沿第一方向移动；
11.工件定位座，连接于所述第二支撑座的顶部，能够相对于所述第二支撑座沿第二方向移动，所述工件定位座具有定位部，所述定位部适于定位所述模封后体，当所述模封后
体定位于所述定位部时，所述模封后体中的所述模封体敞开在所述定位部的顶部；
12.其中，所述第一方向和所述第二方向相互垂直，且所述第一方向和所述第二方向中的一个平行于所述枢接轴。
13.根据本实用新型实施例的用于模封体检查的定位装置，至少具有如下有益效果：本实施例的用于模封体检查的定位装置可以代替人工对模封后体进行定位，以配合显微镜对模封后体上的多个模封体的侧面进行目视检查。其中，模封后体可以放置在工件定位座的定位部，由此，其上的多个模封体的侧面随着第一支撑座绕枢接轴的转动、以及第二支撑座和工位定位座分别沿第一方向和第二方向的移动，能够由显微镜快速而准确地聚焦，从而可以有效地提高模封体外观检查的效率和效果。同时，操作人员在整个过程中，仅仅需要对第一支撑座、第二支撑座以及工件定位座进行简单的操作，例如角度和位置的调整，即可快速而准确地获得检查结果，能够极大地减轻其工作强度。
14.根据本实用新型的一些实施例，所述定位部包括形成在所述工件定位座的顶部的敞口槽，所述工件定位座在远离所述枢接轴的一端具有与所述敞口槽连通的插入口，所述插入口适于所述模封后体插入，所述工件定位座在靠近所述枢接轴的一端具有止挡部，所述止挡部适于限定插入到所述敞口槽中的所述模封后体的位移。
15.根据本实用新型的一些实施例，所述敞口槽具有多个，多个所述敞口槽以不同的深度层叠排布在所述工件定位座的顶部，且多个所述敞口槽相互连通。
16.根据本实用新型的一些实施例，还包括能够与一个所述敞口槽配合连接的遮挡盖，所述遮挡盖设置有多个视窗，所述视窗适于观察定位于所述遮挡盖下方的一个所述敞口槽中的所述模封后体中的所述模封体。
17.根据本实用新型的一些实施例，各所述视窗呈条状，多个呈条状的所述视窗呈多行设置；或各所述窗呈块状，多个呈块状的所述视窗呈矩形阵列设置。
18.根据本实用新型的一些实施例，还包括第一调节组件，所述第一调节组件用于调节所述第一支撑座与所述基座之间的夹角。
19.根据本实用新型的一些实施例，所述第一调节组件包括丝杠、螺母座、第一旋钮和连接杆，所述螺母座以远离或者靠近所述枢接轴滑动连接于所述基座，所述丝杠与所述螺母座传动连接，所述第一旋钮与所述丝杠远离所述枢接轴的一端连接，所述第一旋钮能够可被操作地旋转，所述连接杆则分别与所述螺母座和所述第一支撑座枢接。
20.根据本实用新型的一些实施例，还包括第二调节组件，所述第二调节组件用于驱动所述工件定位座沿所述第二方向移动。
21.根据本实用新型的一些实施例，所述第二调节组件包括操作杆、齿轮和齿条，所述齿轮安装在所述操作杆上，所述齿轮与所述齿条传动连接，所述操作杆设置为可被操作地旋转，其中，所述齿轮和齿条中的一个安装在所述第二支撑座上，另一个安装在所述工件定位座上。
22.根据本实用新型的第二方面实施例的检查系统，包括：
23.上述第一方面实施例的用于模封体检查的定位装置；
24.显微镜，所述显微镜设置于所述工件定位座的上方。
25.根据本实用新型实施例的检查系统，至少具有如下有益效果：本检查系统中的用于模封体检查的定位装置可以代替人工对模封后体进行定位，其中，模封后体可以放置在
工件定位座的定位部，由此，其上的多个模封体的侧面随着第一支撑座绕枢接轴的转动、以及第二支撑座和工位定位座分别沿第一方向和第二方向的移动，能够由显微镜快速而准确地聚焦，从而可以有效地提高模封体外观检查的效率。同时，操作人员在检查过程中，仅仅需要对第一支撑座、第二支撑座以及工件定位座进行简单的操作，即可快速而准确地检查模封体的侧面，能够极大地减轻其工作强度。
26.根据本实用新型的一些实施例，还包括桌台组件，所述桌台组件包括工作台和支架，所述用于模封体检查的定位装置设置于所述工作台上，所述显微镜设置于所述支架上。
27.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
28.下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明：
29.图1是模封工艺中所使用的模具中一侧模具的正面结构示意图；
30.图2是经模封工艺所形成的模封后体的结构示意图；
31.图3是本实用新型一个实施例的用于模封体检查的定位装置的结构示意图；
32.图4是图3中的用于模封体检查的定位装置另一角度的结构示意图；
33.图5是图3中的用于模封体检查的定位装置的侧视示意图；
34.图6是图3中的用于模封体检查的定位装置的工件定位座的正视示意图；
35.图7是本实用新型一个实施例的用于模封体检查的定位装置的遮挡盖的结构示意图；
36.图8是本实用新型又一个实施例的用于模封体检查的定位装置的遮挡盖的结构示意图；
37.图9是本实用新型一个实施例的检查系统的结构示意图。
38.附图标记：
39.模具10，定位面11，模封腔12，浇道13，脱模顶针位14；
40.模封后体20，引线框架21，模封体22；
41.用于模封体检查的定位装置100，基座101，第一支撑座102，第二支撑座103，工件定位座104，定位部105，枢接支座106，丝杠107，螺母座108，第一旋钮109，连接杆110，滑槽111，第一导轨112，第一滑块113，操作杆114，第二导轨115，第二滑块116，第二旋钮117，敞口槽118，插入口119，止挡部120，槽沿121，遮挡盖122，视窗123；
42.检查系统200，工作台201，支架202。
具体实施方式
43.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
44.在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用
新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
45.在本实用新型的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
46.本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。
47.本实用新型的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
48.可以理解的是，半导体器件的封装工艺中，在引线框架上完成贴片和焊线后，需要将引线框架与芯片所组成的焊接后体进行模封。图1是模封工艺中所使用的模具中一侧模具的正面结构示意图，如图1所示，在该模具10中，包括用于定位引线框架(参考图2)的定位面11、用于形成模封体的模封腔12以及浇道13。当例如上模和下模合模后，熔融的环氧树脂材料经过浇道13流动并充满模封腔12，以包裹整体芯片以及引线框架的部分区域，从而形成包括模封体的模封后体20(参考图2)，后续经过电镀、切筋等工艺最终形成半导体产品，例如小型贴片半导体器件。
49.可以理解的是，此处所描述的“焊接后体”是指包含有引线框架和芯片，并且已经完成了芯片焊线，但尚未进行模封的组合体，此处所描述的“模封后体”是指前述的焊接后体进一步经过模封工艺后所形成的组合体，参考图2，图2是经模封工艺所形成的模封后体20的结构示意图，模封后体20具体包括引线框架21、芯片(由模封体包裹)以及包裹芯片的模封体22。可以理解的是，一个模封后体20上包括多个模封体22，这些模封体22以一定的规律分布在引线框架21上，并且，这些模封体22在沿引线框架21的厚度方向的两侧延伸呈块状。由此，模封体22包括两个大致平行于引线框架21的大面的两个表面，以及大致垂直于引线框架21的大面的若干侧面。
50.容易理解的是，受工艺参数、模具的清洁度、树脂材料的成分等因素的影响，模封体22存在开裂的风险。
51.继续参考图1，为了顺利地脱模，在非模封腔的位置处，设置有多个脱模顶针位14，由此，脱模顶针可以顶在引线框架21的非模封体的位置，如图1所示，这些脱模顶针位14中的一个或多个的位置靠近某些模封腔12的边缘，发明者们发现，这些位置的模封体22的侧面较易出现开裂。
52.可以想到的是，无论是何种原因导致模封体22的侧面开裂，都难以对该开裂进行检查发现。为此，本实用新型的实施例提出一种用于模封体检查的定位装置和检查系统。
53.下面结合附图详细描述根据本实用新型第一方面实施例的用于模封体检查的定位装置100。
54.图3是本实用新型一个实施例的用于模封体检查的定位装置100的结构示意图，图4是图3中的用于模封体检查的定位装置100另一角度的结构示意图，参考图3和图4，本实施例的用于模封体检查的定位装置100包括基座101、第一支撑座102、第二支撑座103和工件定位座104。其中，第一支撑座102的一端枢接于基座101，第一支撑座102能够绕枢接轴z转动。第二支撑座103连接于第一支撑座102的顶部，能够相对于第一支撑座102沿第一方向移动。工件定位座104连接于第二支撑座103的顶部，能够相对于第二支撑座103沿第二方向移动，工件定位座104具有定位部105，定位部105适于定位模封后体20，当模封后体20定位于定位部105时，模封后体20中的模封体22敞开在定位部105的顶部。其中，第一方向和第二方向相互垂直，且第一方向和第二方向中的一个平行于枢接轴z。
55.可以理解的是，本实施例的用于模封体检查的定位装置100仅实现对模封后体20的定位，其外观的目视检查依赖显微镜完成。具体而言，本实施例的用于模封体检查的定位装置100可以代替人工对模封后体20进行定位，以配合显微镜对模封后体20上的多个模封体22的侧面进行目视检查。
56.更具体地，模封后体20可以放置在工件定位座104的定位部105，由此，其上的多个模封体22的侧面随着第一支撑座102绕枢接轴z的转动、以及第二支撑座103和工位定位座分别沿第一方向和第二方向的移动，能够由显微镜快速而准确地聚焦，从而可以有效地提高模封体22外观检查的效率和效果。
57.同时，还可以理解的是，操作人员在检查过程中，仅仅需要对第一支撑座102、第二支撑座103以及工件定位座104进行简单的操作，例如角度和位置的调整，即可快速而准确地检查模封体22的侧面，因此能够极大地减轻其工作强度。
58.本实施例的用于模封体检查的定位装置100中的基座101的作为安装基准，用来安装第一支撑座102，以及用来间接地安装第二支撑座103和工件定位座104等部分。如图3和图4所示，在一些实施例中，基座101呈一板状构件，例如金属板，可以将用于模封体检查的定位装置100定位安装于其它装置，例如将用于模封体检查的定位装置100安装于工作台201(参考图9)上，从而便于对用于模封体检查的定位装置100进行使用。更具体地，基座101在后端的左、右侧各设置各有一个枢接孔(图中未示出)，各一个枢接支座106枢接于该枢接孔，从而该对枢接支座106能够绕枢接轴z转动，该枢接轴z沿左右方向延伸。而第一支撑座102的后端则固定在该对枢接支座106的上表面，例如，第一支撑座102的后端通过紧固件固定于枢接支座106上，从而，第一支撑座102能够与枢接支座106一同绕枢接轴z进行转动。
59.参考图5，图5是图3中的用于模封体检查的定位装置100的侧视示意图，可以理解的是，通过上述设置，第一支撑座102通过绕枢接轴z的转动，其与基座101之间的夹角α可以在设定的范围内变化。例如，如果将第一支撑座102也设置呈板状，则通过操作第一支撑座102转动，使得其下表面与基座101的上表面贴合，从而，α为0
°
，此时，由于整个装置可以被收拢，便于进行移动和储存。也可以操作第一支撑座102绕枢接轴z转动，使得α为其他任何大于0
°
的角度，例如45
°
、60
°
等角度。此种情况下，也可以认为第一支撑座102的前端沿上下方向做升降运动。可以理解的是，由于本实施例的用于模封体检查的定位装置100的作用为配合显微镜对模封后体20中的模封体22的侧面进行目视检查，因此，在显微镜的镜筒在固定的情况下，第一支撑座102绕枢接轴z转动的角度仅仅需要使得模封体22的侧面能够被显微镜的镜头观察即可，例如，在一些实施例中，第一支撑座102与基座101的夹角在0
°
至60
°
之间变化。
60.可以理解的是，此种情况下，操作者可以在本实施例的用于模封体检查的定位装置100的前端，也即第一支撑座102相对于基座101张开的一端进行操作，以对定位于其中的模封后体20中的模封体22的顶部的侧面进行目视检查。
61.如图3和图4以及图5所示，在一些实施例中，用于模封体检查的定位装置100还包括第一调节组件，其用于调节第一支撑座102与基座101的之间的夹角。由此，操作人员可以方便地通过操作第一调节组件实现对第一支撑座102与基座101的之间的夹角的调节。
62.如图3至图5所示，在一些实施例中，第一调节组件包括丝杠107、螺母座108、第一旋钮109和连接杆110。具体而言，基座101设置有一垂直于枢接轴z，也即沿前后方向延伸的滑槽111，螺母座108滑动连接于该滑槽111，从而能够沿该滑槽111以远离或者靠近枢接轴z滑动，而丝杠107则与螺母座108传动连接，第一旋钮109与丝杠107远离枢接轴z的一端，也即丝杠107的前端连接，该第一旋钮109能够可被操作地旋转，从而同步带动丝杠107旋转，连接杆110则分别与螺母座108和第一支撑座102枢接连接，由此，操作人员通过旋动第一旋钮109，即可同步带动丝杠107旋转，而由于丝杠107与螺母座108传动连接，因此，丝杠107通过正转或者反转，即可驱动螺母座108在滑槽111内沿前后方向滑动，可以理解的是，当螺母座108在滑槽111内处于不同位置时，第一支撑座102与基座101的之间的夹角α不同。还可以理解的是，由于螺母座108与丝杠107之间可以实现自锁，从而操作人员通过停止对旋钮的转动即可实现对夹角α的锁定，十分方便。
63.可以理解的是，以上虽然以丝杠107、螺母座108、第一旋钮109和连接杆110所组成的第一调节组件为例进行了说明，但是并不限于此，还可以以各种合适的机构实现对基座101和第一支撑座102之间的夹角的调节。例如，基座101和第一支撑座102之间还可以通过滑动杆与弧形导向槽相锁紧的方式设置，在此不再赘述。
64.如图3和图4所示，在一些实施例中，第一支撑座102也呈一板状构件，由此，其能够绕枢接轴z转动，当与基座101的夹角α为0
°
时，可以与板状的基座101贴合，从而折叠整个装置的体积。同时，其上表面设置有与枢接轴z相平行，也即沿左右方向延伸的两条第一导轨112，这两条第一导轨112沿前后方向间隔设置，各第一导轨112均滑动连接有第一滑块113，而第二支撑座103则支撑并固定连接于第一滑块113上，从而第二支撑座103能够沿左右方向，也即平行于枢接轴z的方向滑动。此种情况下，当第一支撑座102通过绕枢接轴z的转动，不论其与基座101之间的夹角α如何变化，第二支撑座103均不会出现非操作情况下的滑动，也即，只有当操作者对第二支撑座103在左右方向施加作用力时，第二支撑座103才会滑动，从而带动模封后体20沿左右方向移动，例如，从右向左方向，或者从左向右方向移动，以使得沿模封后体20在左右方向上排布的模封体22可以依次由显微镜进行目视检查。
65.参考图3和图4，在一些实施例中，第二支撑座103也呈一板状构件，其本身带动工件定位座104(也同步带动模封后体20)沿左右方向移动，另一方面为工件定位座104提供安装基准，使得工件定位座104能够以远离或者靠近枢接轴z移动(也可认为是沿前后方向移动)，由此，可以使得定位于工件定位座104中的模封后体20在前后方向上排布的模封体22可以依次由显微镜进行目视检查。
66.可以理解的是，本实施例中，第二支撑座103设置为能够沿左右方向，也即平行于枢接轴z的方向移动，而工件定位座104设置为能够沿前后方向，也即垂直于枢接轴z的方向
移动，将左右方向和前后方向中的一个定义为第一方向，另一个定义为第二方向，很容易理解的是，第一方向和第二方向相互垂直。当然，以上虽然以第二支撑座103沿左右方向移动，工件定位座104沿前后方向移动为例进行了说明，但是并不限于此，很容易想到的是，二者的移动方向也可以进行调换，也即，将第二支撑座103设置为沿前后方向移动，而将工件定位座104设置为沿左右方向移动。
67.可以理解的是，本实施例的用于模封体检查的定位装置100在使用时，第一支撑座102以一定角度倾斜设置，以便于与顶部的显微镜进行配合，对模封体22的侧面进行目视检查。此种情况下，为了便于对不同高度的模封体22进行检查，需要对工件定位座104以远离或者靠近枢接轴z的方向进行移动，而工件定位座104本身具备一定的重量，为了方便操作人员进行该操作，本实施例的用于模封体检查的定位装置100还包括第二调节组件，第二调节组件用于驱动工件定位座104以远离或靠近枢接轴z移动。
68.具体而言，第二调节组件包括操作杆114、齿轮和齿条(图中未示出)，齿轮安装在操作杆114上，齿轮与齿条传动连接，操作杆114设置为可被操作地旋转，其中，齿轮和齿条中的一个安装在第二支撑座103上，另一个安装在工件定位座104上。
69.例如，在本实施例中，在第二支撑座103的上表面设置有沿前后方向延伸的第二导轨115，还包括一与该第二导轨115滑动配合连接的第二滑块116，齿条沿前后方向设置在第二导轨115的顶部，而操作杆114转动连接于第二滑块116，齿轮套接在操作杆114的杆柄上并与齿条相啮合。更进一步地，为了便于操作，操作杆114的端头还设置有第二旋钮117。由此，操作人员通过旋动第二旋钮117，即可同步带动齿轮旋转，由于齿轮与齿条啮合连接，因此，第二滑块116能够被驱动沿着第二导轨115滑动，从而工件定位座104间接地被驱动，以远离或靠近枢接轴z移动。
70.可以理解的是，齿轮齿条形式的传动结构可以设置为具有自锁功能，从而，操作人员通过停止对旋钮的转动即可实现对工件定位座104的锁定，使其不会产生非需要的前后位移，十分方便。
71.可以理解的是，本实施例中，工件定位座104用来定位模封后体20，具体而言，其设置有定位部105，模封后体20能够由该定位部105定位，从而使得其上的模封体22敞开在定位部105的顶部，从而能够由显微镜所观察。
72.参考图3和图4，在一些实施例，定位部105包括形成在工件定位座104的顶部的敞口槽118，工件定位座104在远离枢接轴z的一端具有与敞口槽118连通的插入口119，插入口119适于模封后体20插入，工件定位座104在靠近枢接轴z的一端具有止挡部120，止挡部120适于限定插入到敞口槽118中的模封后体20的位移。由此，模封后体20通过该插入口119插入到敞口槽118中，并且，模封后体20的两侧边缘处由敞口槽118左、右两侧的槽沿121限位，而模封后体20的底部则由止挡部120所限位，以将模封后体20定位在敞口槽118内。由此，当第一支撑座102与基座101的夹角α调整至合适的位置后，模封后体20中的全部模封体22的前侧的侧面均朝上倾斜，能够由设置于敞口槽118上方的显微镜所观察。
73.可以理解的是，当对模封后体20的一侧的全部待检查的模封体22的侧面检查完毕后，可以将模封后体20调转方向，将其反向插入到敞口槽118内，以对模封体22的另一侧的侧面进行检查。
74.为了提高适用性，使用同一个工件定位座104对例如多种不同型号、规格或者尺寸
的模封后体20进行定位，如图6所示，在一些实施例中，敞口槽118具有多个，多个敞口槽118以不同的深度层叠排布在工件定位座104的顶部，且多个敞口槽118相互连通。例如，对于同一个工厂内生产的多个型号的模封后体20而言，可以根据模封后体20的具体尺寸，在同一个工件定位座104上形成与这些模封后体20的尺寸相对应的多个敞口槽118，由此，可以使用同一个工件定位座104对多种不同尺寸的模封后体20进行检查，无需反复调整装置，能够降低成本以及提高检查效率。
75.为了进一步提高目视检查的效率，参考图7和图8，在一些实施例中，还包括能够与一个敞口槽118配合连接的遮挡盖122，遮挡盖122设置有多个视窗123，视窗123适于观察定位于遮挡盖122下方的敞口槽118中的模封后体20中的模封体22。可以理解的是，遮挡盖122也可以通过前述的插入口119插入到敞口槽118中。由此，可以通过事先设置视窗123的方式，将需要检查的模封体22露出，而非视窗的区域可以将无需检查的模封体22进行遮挡，因此，在采用遮挡盖122时，仅仅能够检查特定位置的模封体22，能够有效提高检查效率。
76.如图7和图8所示，各视窗123呈条状，多个呈条状的视窗123呈多行设置；或各窗呈块状，多个呈块状的视窗123呈矩形阵列设置。可以理解的是，各视窗123的排列并不限于此，对于不同的模封后体20而言，需要检查的模封体22的位置的不同，因此，遮挡盖122会根据不同的模封后体20产品进行设计，其上的视窗123以不同的间隔、不同的阵列方式进行排列，在此不做赘述。
77.下面结合附图详细描述根据本实用新型第二方面实施例的检查系统200。
78.图9是本实用新型一个实施例的检查系统200的结构示意图，参考图9，本实用新型实施例的检查系统200包括上述第一方面实施例的用于模封体检查的定位装置100以及显微镜(图中未示出)，其中，显微镜设置于工件定位座104的上方。可以理解的是，模封后体20可以放置在工件定位座104的定位部105，由此，模封后体20上的多个模封体22的侧面随着第一支撑座102绕枢接轴z的转动、以及第二支撑座103和工位定位座分别沿第一方向和第二方向的移动，能够由位于工件定位座104的上方的显微镜快速而准确地聚焦，从而可以有效地提高模封体22外观检查的效率。
79.该检查系统200能够为操作人员提供舒适的工作环境，能够有效提高操作人员的工作效率。操作人员在检查过程中，仅仅需要对第一支撑座102、第二支撑座103以及工件定位座104进行简单的操作，例如角度和位置的调整，即可快速而准确地检查模封体22的侧面，能够极大地减轻其工作强度。
80.进一步地，在一些实施例中，检查系统200还包括桌台组件，桌台组件包括工作台201和支架202，用于模封体检查的定位装置100设置于工作台201上，显微镜设置于支架202上。由此，操作人员可以在工作台201上对模封后体20进行目视检查，十分方便。
81.上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。此外，在不冲突的情况下，本实用新型的实施例及实施例中的特征可以相互组合。