一种UV解胶机的制作方法

技术特征：
1.一种uv解胶机，包括外部壳体和设置在外部壳体底部四角处的支撑组件(6)和滚轮组件(7)，其特征在于，所述外部壳体包括位于左上侧的晶圆放置箱(4)、位于右上侧的放置晶圆提篮的提篮主箱(2)、位于右下侧的使晶圆提篮升降的晶圆次箱(1)、位于左下侧的用于晶圆解胶的解胶箱(5)，所述晶圆放置箱(4)、提篮主箱(2)、晶圆次箱(1)和解胶箱(5)顺序连通，所述晶圆放置箱(4)内设置有用于放置晶圆的晶圆箱(4-3)，所述提篮主箱(2)内设置有晶圆提篮(2-2)、安装架(2-5)、设置在安装架(2-5)上且能调整放置晶圆提篮(2-2)距离的调整架(2-1)、设置在安装架(2-5)上且能沿安装架(2-5)水平移动到晶圆箱(4-3)内拾取晶圆的机械抓手组件(2-3)。2.根据权利要求1所述的一种uv解胶机，其特征在于，所述晶圆次箱(1)内设置有直线升降机构(1-1)，直线升降机构(1-1)顶部与调整架(2-1)底部连接，所述直线升降机构(1-1)为升降气缸。3.根据权利要求1所述的一种uv解胶机，其特征在于，所述解胶箱(5)内设置有隔板(5-1)，所述隔板(5-1)中部镶嵌有圆盘状的石英玻璃(5-3)，所述隔板(5-1)上还设置有位于石英玻璃(5-3)两侧的晶圆提篮a(5-2)，所述隔板(5-1)上还设置有一对用于调整晶圆提篮a(5-2)间距的调整机构a(5-5)，所述隔板(5-1)下方设置有用于对准石英玻璃(5-3)的uv灯管组件(5-6)。4.根据权利要求3所述的一种uv解胶机，其特征在于，所述调整架机构(2-1)和调整机构a(5-5)均为调整气缸。5.根据权利要求3所述的一种uv解胶机，其特征在于，所述解胶箱(5)内顶部设置有氮气喷头(5-4)，所述解胶箱(5)内底部设置有使氮气形成对流的抽风机(5-7)。6.根据权利要求3所述的一种uv解胶机，其特征在于，所述解胶箱(5)内设置有散热风扇。7.根据权利要求1所述的一种uv解胶机，其特征在于，所述晶圆箱(4-3)为开口向下的形状为u形折板，u形折板的宽度与晶圆提篮(2-2)的宽度相适应，所述晶圆放置箱(4)上设置有开口，所述开口处铰接设置有密封盖(4-1)，所述密封盖(4-1)上设置有透明的观察窗(4-2)和把手。8.根据权利要求1所述的一种uv解胶机，其特征在于，所述提篮主箱(2)左侧设置有控制面板(3)，所述控制面板(3)上设置有多个控制按钮。9.根据权利要求1所述的一种uv解胶机，其特征在于，所述提篮主箱(2)内部右侧壁设置有竖直导向板(2-6)，竖直导向板(2-6)上设置有两条相互平行的导轨(2-7)，所述安装架(2-5)右端设置有竖直板，竖直板上设置有与两条导轨(2-7)卡接的两个卡槽。

技术总结
本发明公开了一种UV解胶机，涉及解胶机技术领域，包括外部壳体和设置在外部壳体底部四角处的支撑组件和滚轮组件，所述外部壳体包括位于左上侧的晶圆放置箱、位于右上侧的放置晶圆提篮的提篮主箱、位于右下侧的使晶圆提篮升降的晶圆次箱、位于左下侧的用于晶圆解胶的解胶箱，所述晶圆放置箱、提篮主箱、晶圆次箱和解胶箱顺序连通，所述晶圆放置箱内设置有用于放置晶圆的晶圆箱，所述提篮主箱内设置有晶圆提篮、安装架、设置在安装架上且能调整放置晶圆提篮距离的调整架、设置在安装架上且能沿安装架水平移动到晶圆箱内拾取晶圆的机械抓手组件；本发明设计合理，具有集成度高、解胶效果好，工作效率高的优点。工作效率高的优点。工作效率高的优点。


技术研发人员：解小青
受保护的技术使用者：平面度科技(苏州)有限公司
技术研发日：2021.11.05
技术公布日：2022/5/10