一种晶圆键合加压装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种加压装置，具体为一种晶圆键合加压装置。


背景技术：

2.晶圆键合是晶圆级的封装技术，用于制造微机电系统、纳米机电系统、微电子学和光电子学，从而确保机械稳定且密封的封装，在微电子工业的早期，使用了较小的晶圆，在1950年代，晶圆的直径仅为1英寸。
3.晶圆键合技术是利用两片镜面抛光的、干净的晶圆表面结合在一起，然后进行加压，现有加压装置在使用过程中需要将待加工的晶圆键合放置在置物台台的腔体内，从而避免待加工的晶圆键合的位置发生偏移，但这会导致加压后的晶圆键合不方便从腔体内取出，从而影响加压装置的实用性。因此我们对此做出改进，提出一种晶圆键合加压装置。


技术实现要素：

4.为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：
5.本实用新型一种晶圆键合加压装置，包括柜体，所述柜体的顶部固定安装有支撑台，所述支撑台上设置有设置有加压在组件以及位于加压组件下方的固定组件，所述加压组件由支撑架、气缸、支撑座、连接座、支撑杆、滑块、连接杆、第一弹簧和加压头组成，所述滑块、连接杆和第一弹簧的数量均为两个，所述固定组件由置物台、限位板、顶杆、横板、拉杆和第二弹簧组成，所述置物台安装在支撑台的顶部且位于加压头的正下方，所述限位板安装在支撑台的底部，横板的底部与限位板的顶部接触，所述顶杆的底端安装在横板的顶部，所述顶杆的顶端贯穿支撑台，所述拉杆固定安装在横板顶部的右侧，所述拉杆的顶端贯穿支撑台并延伸至支撑台顶端的外部。
6.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述支撑架固定安装在支撑台的顶部，所述气缸安装在支撑架的顶部，所述气缸的活塞杆贯穿支撑架并延伸至支撑架的内侧且与支撑座固定连接。
7.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述连接座的外表面与支撑座的内壁滑动连接，所述加压头安装在连接座底端的中部，所述支撑杆固定安装在支撑座的内部且位于连接座的上方，两个所述滑块均滑动连接在支撑杆的外表面，两个所述连接杆分别铰接在连接座与两个滑块之间。
8.作为本实用新型的一种优选技术方案，两个所述第一弹簧均设置在支撑杆的外表面且分别位于两个滑块相互远离的一侧，所述第一弹簧的两端分别与支撑座和滑块固定连接。
9.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第二弹簧设置在横板与支撑台之间，所述第二弹簧的两端分别与支撑台和横板固定连接。
10.本实用新型的有益效果是：该种晶圆键合加压装置，通过向上拉动拉杆能够使横板带动顶杆上升，通过顶杆能够将置物台内的晶圆键合顶出，从而便于将加压后的晶圆键
合取出，提高了该加压装置的实用性，在气缸推动支撑座下降的过程中，通过第一弹簧的作用力能够对加压头与晶圆键合接触时的作用力进行缓冲，能够减少接触力过大导致晶圆键合发生损坏的情况，从而能够进一步提高该加压装置的实用性。
附图说明
11.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
12.图1是本实用新型一种晶圆键合加压装置的结构示意图；
13.图2是本实用新型一种晶圆键合加压装置的剖视结构示意图；
14.图3是本实用新型一种晶圆键合加压装置的支撑座的剖视结构示意图；
15.图4是本实用新型一种晶圆键合加压装置的顶杆的结构示意图。
16.图中：1、柜体；2、支撑台；3、支撑架；4、气缸；5、支撑座；6、连接座；7、支撑杆；8、滑块；9、连接杆；10、第一弹簧；11、加压头；12、置物台；13、限位板；14、顶杆；15、横板；16、拉杆；17、第二弹簧。
具体实施方式
17.以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
18.实施例：如图1-4所示，本实用新型一种晶圆键合加压装置，包括柜体1，柜体1的顶部固定安装有支撑台2，支撑台2上设置有设置有加压在组件以及位于加压组件下方的固定组件，加压组件由支撑架3、气缸4、支撑座 5、连接座6、支撑杆7、滑块8、连接杆9、第一弹簧10和加压头11组成，滑块8、连接杆9和第一弹簧10的数量均为两个，固定组件由置物台12、限位板13、顶杆14、横板15、拉杆16和第二弹簧17组成，置物台12安装在支撑台2的顶部且位于加压头11的正下方，限位板13安装在支撑台 2的底部，横板15的底部与限位板13的顶部接触，顶杆14的底端安装在横板15的顶部，顶杆14的顶端贯穿支撑台2，通过向上拉动拉杆16能够使横板15带动顶杆14上升，通过顶杆14能够将置物台12内的晶圆键合顶出，从而便于将加压后的晶圆键合取出，提高了该加压装置的实用性，拉杆 16固定安装在横板15顶部的右侧，拉杆16的顶端贯穿支撑台2并延伸至支撑台2顶端的外部，通过设置拉杆16能够便于操作人员对横板15和拉杆16进行拉动。
19.其中，支撑架3固定安装在支撑台2的顶部，气缸4安装在支撑架3 的顶部，气缸4的活塞杆贯穿支撑架3并延伸至支撑架3的内侧且与支撑座5固定连接，气缸4可使用的型号为mdbb63-250z型气缸，通过设置柜体1能够对支撑台2进行支撑。
20.其中，连接座6的外表面与支撑座5的内壁滑动连接，加压头11安装在连接座6底端的中部，支撑杆7固定安装在支撑座5的内部且位于连接座6的上方，两个滑块8均滑动连接在支撑杆7的外表面，两个连接杆9 分别铰接在连接座6与两个滑块8之间，通过设置支撑杆7能够对滑块8 进行支撑。
21.其中，两个第一弹簧10均设置在支撑杆7的外表面且分别位于两个滑块8相互远离的一侧，第一弹簧10的两端分别与支撑座5和滑块8固定连接，在气缸4推动支撑座5下降的过程中，通过第一弹簧10的作用力能够对加压头11与晶圆键合接触时的作用力进行缓冲，
能够减少接触力过大导致晶圆键合发生损坏的情况，从而能够进一步提高该加压装置的实用性。
22.其中，第二弹簧17设置在横板15与支撑台2之间，第二弹簧17的两端分别与支撑台2和横板15固定连接，晶圆键合取出之后松开拉杆16，第二弹簧17的作用力推动横板15下降，使得顶杆14复位即可。
23.工作时，首先将需要加压晶圆键合放置在置物台12内，然后启动气缸4，通过气缸4推动支撑座5和加压头11下降使得加压头11插入置物台12内，并对置物台12内的晶圆键合进行加压，在气缸4推动支撑座5下降的过程中，通过第一弹簧10的作用力能够对加压头11与晶圆键合接触时的作用力进行缓冲，能够减少接触力过大导致晶圆键合发生损坏的情况，从而能够进一步提高该加压装置的实用性，加压完成之后，通过气缸4带动加压头11上升，然后向上拉动拉杆16，通过拉杆16带动横板15和顶杆14上升，通过顶杆 14能够将置物台12内的晶圆键合顶出，从而便于将加压后的晶圆键合取出，取出之后松开拉杆16，此时第二弹簧17的作用力推动横板15下降，使得顶杆14复位即可。
24.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。