新型真空设备晶圆支撑装置的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆加工领域，特别涉及新型真空设备晶圆支撑装置。


背景技术：

2.硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆在加工的时候需要通过真空设备进行在真空环境下进行加工，加工的时候需要通过晶圆支撑装置进行暂存，等待加工或者将加工好的晶圆进行存放。
3.现有的真空设备晶圆支撑装置在使用的时候为一体式的，不方便载盘的安装以及拆卸，需要用多个装置进行存放，占用较大的面积，不方便使用。


技术实现要素：

4.针对背景技术中提到的问题，本实用新型的目的是提供新型真空设备晶圆支撑装置，以解决背景技术中提到的问题。
5.本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
6.新型真空设备晶圆支撑装置，包括底板，所述底板固定安装有转筒，所述转筒上通过轴承转动安装有转轴，所述转轴的上端固定安装有支撑板，所述转轴上固定安装有齿盘，所述转筒的表面上安装有锁止组件，所述支撑板上安装有多个等距分布的l型夹块，所述l型夹块上开设有第一导向孔，所述第一导向孔内安装有夹持组件，所述l型夹块上设置有第一载盘，所述夹持组件的一端抵止在第一载盘上；
7.所述l型夹块的上表面上设置有插孔，所述插孔的一侧设置有第二导向孔，所述第二导向孔安装有定位组件，所述定位组件包括定位销钉和第二弹簧，所述定位销钉插装在所述第二导向孔内，所述第二弹簧的两端分别固定安装在所述定位销钉的端部和所述l型夹块的表面上，所述插孔内插装有定位柱，所述定位柱上安装有第二载盘，所述定位组件的一端插装在所述定位柱上。
8.通过采用上述技术方案，通过转筒上安装的转轴方便调节支撑板的旋转角度，通过锁止组件与齿盘相互啮合，方便将转轴进行固定，避免在使用的过程中支撑板转动，通过l型夹块与夹持组件相互配合，方便第一载盘的安装和拆卸，通过定位组件设置的定位销钉方便通过第二弹簧的反作用力抵止在第二导向孔内对插孔中插装的定位柱进行定位，方便对第二载盘的安装，能够存放数量较多的晶圆，减小占用面积。
9.较佳的，所述锁止组件包括固定块、螺杆和弧形齿条，所述固定块固定安装在所述转筒上，所述螺杆螺纹连接在所述固定块上，且所述弧形齿条的一侧通过轴承转动安装在所述螺杆上，所述弧形齿条与所述齿盘相互啮合。
10.通过采用上述技术方案，通过螺杆在固定块上螺纹连接，方便调节弧形齿条的水平移动位置，对齿盘进行啮合，对转轴进行锁止。
11.较佳的，所述l型夹块的下表面上开设有多个等距分布的v型槽。
12.通过采用上述技术方案，通过多个等距分布的v型槽有利于提高l型夹块的防滑性
能，提高摩擦力度。
13.较佳的，所述夹持组件包括滑杆支架、第一弹簧和夹持块，所述滑杆支架的一端滑动安装在所述第一导向孔内，所述第一弹簧套装在所述滑杆支架上，所述夹持块固定安装在所述滑杆支架的端部。
14.通过采用上述技术方案，通过第一弹簧的反作用力，方便带动滑杆支架上的夹持块对第一载盘进行夹持。
15.较佳的，所述插孔为锥形孔，所述定位柱的端面上设置有倒角。
16.通过采用上述技术方案，锥形孔方便定位柱进行插装，大大提高插装的效率。
17.较佳的，所述l型夹块的一侧表面上安装有橡胶防滑块。
18.通过采用上述技术方案，通过l型夹块上安装的橡胶防滑块，一方面具有较好的防滑性能，另一方面避免对第一载盘的表面造成磨损。
19.较佳的，所述滑杆支架的一侧固定安装有t型支撑杆。
20.通过采用上述技术方案，通过t型支撑杆方便滑杆支架的一端进行支撑，方便第一载盘的安装和拆卸。
21.综上所述，本实用新型主要具有以下有益效果：
22.第一、该新型真空设备晶圆支撑装置中，通过转筒上安装的转轴方便调节支撑板的旋转角度，通过锁止组件与齿盘相互啮合，方便将转轴进行固定，避免在使用的过程中支撑板转动，通过l型夹块与夹持组件相互配合，方便第一载盘的安装和拆卸；
23.第二、该新型真空设备晶圆支撑装置中，通过定位组件设置的定位销钉方便通过第二弹簧的反作用力抵止在第二导向孔内对插孔中插装的定位柱进行定位，方便对第二载盘的安装，能够存放数量较多的晶圆，减小占用面积。
附图说明
24.图1是本实用新型的结构示意图之一；
25.图2是本实用新型的结构示意图之二；
26.图3为图1中a处局部放大图；
27.图4为图1中b处局部放大图。
28.附图标记：1、底板；2、转筒；3、转轴；4、支撑板；5、齿盘；6、锁止组件；61、固定块；62、螺杆；63、弧形齿条；7、l型夹块；8、第一导向孔；9、插孔；10、夹持组件；101、滑杆支架；102、第一弹簧；103、夹持块；11、第一载盘；12、定位组件；121、定位销钉；122、第二弹簧；13、第二导向孔；14、定位柱；15、第二载盘；16、橡胶防滑块；17、v型槽；18、t型支撑杆。
具体实施方式
29.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
30.参考图1-图4，新型真空设备晶圆支撑装置，包括底板1，底板1固定安装有转筒2，转筒2上通过轴承转动安装有转轴3，转轴3的上端固定安装有支撑板4，转轴3上固定安装有
齿盘5，转筒2的表面上安装有锁止组件6，支撑板4上安装有多个等距分布的l型夹块7，l型夹块7上开设有第一导向孔8，第一导向孔8内安装有夹持组件10，l型夹块7上设置有第一载盘11，夹持组件10的一端抵止在第一载盘11上；
31.l型夹块7的上表面上设置有插孔9，插孔9的一侧设置有第二导向孔13，第二导向孔13安装有定位组件12，定位组件12包括定位销钉121和第二弹簧122，定位销钉121插装在第二导向孔13内，第二弹簧122的两端分别固定安装在定位销钉121的端部和l型夹块7的表面上，插孔9内插装有定位柱14，定位柱14上安装有第二载盘15，定位组件12的一端插装在定位柱14上。
32.参考图3，锁止组件6包括固定块61、螺杆62和弧形齿条63，固定块61固定安装在转筒2上，螺杆62螺纹连接在固定块61上，且弧形齿条63的一侧通过轴承转动安装在螺杆62上，弧形齿条63与齿盘5相互啮合，通过螺杆62在固定块61上螺纹连接，方便调节弧形齿条63的水平移动位置，对齿盘5进行啮合，对转轴3进行锁止。
33.参考图1，l型夹块7的下表面上开设有多个等距分布的v型槽17，通过多个等距分布的v型槽17有利于提高l型夹块7的防滑性能，提高摩擦力度。
34.参考图1和图4，夹持组件10包括滑杆支架101、第一弹簧102和夹持块103，滑杆支架101的一端滑动安装在第一导向孔8内，第一弹簧102套装在滑杆支架101上，夹持块103固定安装在滑杆支架101的端部，通过第一弹簧102的反作用力，方便带动滑杆支架101上的夹持块103对第一载盘11进行夹持。
35.参考图1，插孔9为锥形孔，定位柱14的端面上设置有倒角，锥形孔方便定位柱14进行插装，大大提高插装的效率。
36.参考图2，l型夹块7的一侧表面上安装有橡胶防滑块16，通过l型夹块7上安装的橡胶防滑块16，一方面具有较好的防滑性能，另一方面避免对第一载盘11的表面造成磨损。
37.参考图4，滑杆支架101的一侧固定安装有t型支撑杆18，通过t型支撑杆18方便滑杆支架101的一端进行支撑，方便第一载盘11的安装和拆卸。
38.使用原理及优点：
39.该新型真空设备晶圆支撑装置在使用的时候，通过锁止组件6与齿盘5相互啮合将转轴3固定在转筒2上，限制支撑板4的旋转角度，将第一载盘11放置在l型夹块7上，通过多个夹持组件10将第一载盘11定位在l型夹块7上，将第二载盘15下端固定的定位柱14插装在插孔9内，通过定位组件12设置的定位销钉121方便通过第二弹簧122的反作用力抵止在第二导向孔13内对插孔9中插装的定位柱14进行定位，能够存放数量较多的晶圆，减小占用面积。
40.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。