一种ALD批量生产高温冷却工艺装卸平台的制作方法

一种ald批量生产高温冷却工艺装卸平台
技术领域
1.本实用新型属于ald生产技术领域，具体涉及一种ald批量生产高温冷却工艺装卸平台。


背景技术：

2.随着科技的发展，5g时代的来临，对芯片的需求越来越高。近几年国家大力支持半导体的研发和制造，半导体产业逐步向内陆转移，但由于起步晚，国内集成电路水平和日美国家存在较大差距。半导体设备在半导体生产制造中扮演着重要角色，设备的品质直接决定了成品的良率，顶尖设备的研发迫在眉睫。
3.原子层沉积(atomic layer deposition，ald)批量生产高温冷却工艺装卸平台是一种重要的半导体自动化设备。由于在晶圆加工过程中，对晶圆的加工前的放置，以及晶圆加工后的冷却均有极高的要求，在这种情况下，就需要ald批量生产高温冷却工艺装卸平台协助完成对晶圆的放置和冷却，以缩短不同批次待加工晶圆之间的加工间隔时间。
4.现有的工艺装卸平台不仅无法实现自动化功能，同时也不具有冷却功能，从而在实际生产过程中，还存在有诸多限制。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种ald批量生产高温冷却工艺装卸平台，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种ald批量生产高温冷却工艺装卸平台，包括
7.桌面板；
8.晶圆载板，设置在桌面板的上表面，所述晶圆载板的一端与执行电缸的输出端连接，所述桌面板上表面位于执行电缸的两侧设置有导向轴，所述桌面板上设置有导向轴支撑座，所述导向轴与导向轴支撑座滑动连接，所述导向轴的一端通过轴承与晶圆载板的一端连接；
9.冷却风机，设置在桌面板的上表面，且位于晶圆载板的下方，所述晶圆载板的表面设置有多个晶圆冷却通风口。
10.优选的是，所述桌面板通过架子固定安装在底部载板的上端，所述架子的上端与桌面板的四角下端连接，所述架子的下端与底部载板的四角上端连接。
11.上述任一方案中优选的是，所述底部载板的四角下端固定安装有支撑脚。
12.上述任一方案中优选的是，所述晶圆载板的另一端与桌面板的上表面之间通过支撑轮连接。
13.上述任一方案中优选的是，所述底部载板的上端一侧安装有承重箱。
14.上述任一方案中优选的是，所述晶圆载板的两侧和中部均安装有加强筋，两侧的加强筋不小于晶圆载板的长度，中部的加强筋小于两侧加强筋的长度，且所述晶圆冷却通
风口设置在中部的加强筋的一端。
15.上述任一方案中优选的是，中部的加强筋两侧设置有多个安装固定孔。
16.上述任一方案中优选的是，所述晶圆载板上位于晶圆冷却通风口的四角处均设置有载具定位孔。
17.本实用新型的技术效果和优点：该ald批量生产高温冷却工艺装卸平台能够实现300片晶圆自动化的放入腔体，同时不仅可以将加工好后的晶圆从腔体内部取出，还可以通过冷却风机对晶圆进行降温冷却。
附图说明
18.图1为本实用新型的结构示意图；
19.图2为本实用新型的俯视图；
20.图3为本实用新型的主视图；
21.图4为本实用新型的仰视剖视图；
22.图5为本实用新型晶圆载板的俯视图。
23.图中：1、执行电缸；2、导向轴；3、导向轴支撑座；4、轴承；5、支撑轮；6、冷却风机；7、晶圆载板；8、桌面板；9、承重箱；10、底部载板；11、支撑脚；12、架子；13、加强筋；14、安装固定孔；15、晶圆冷却通风口；16、载具定位孔。
具体实施方式
24.下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本实用新型，但并不构成对本实用新型的限定。此外，下面所描述的本实用新型各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
25.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
26.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
27.本实用新型提供了如图1-5所示的一种ald批量生产高温冷却工艺装卸平台，包括冷却风机6、晶圆载板7和桌面板8。其中桌面板8通过架子12固定安装在底部载板10的上端，架子12的上端与桌面板8的四角下端连接，架子12的下端与底部载板10的四角上端连接，底部载板10的四角下端均固定安装有支撑脚11，底部载板10的上端一侧安装有承重箱9。
28.晶圆载板7设置在桌面板8的上表面，晶圆载板7的两侧和中部均安装有加强筋13，晶圆载板7的两侧和中部均安装有加强筋13，两侧的加强筋13不小于晶圆载板7的长度，中
部的加强筋13小于两侧加强筋13的长度，且晶圆冷却通风口15设置在中部的加强筋13的一端，且晶圆冷却通风口15设置在中部加强筋13的一端，值得注意的是，晶圆冷却通风口15设置有多个，且多个晶圆冷却通风口15均匀分布在晶圆载板7的一端，同时中部的加强筋13的一端两侧设置有多个安装固定孔14，晶圆载板7上位于晶圆冷却通风口15的四角处均设置有载具定位孔16，晶圆载板7的一端与执行电缸1的输出端连接，桌面板8上表面位于执行电缸1的两侧设置有导向轴2，桌面板8上对应于导向轴2的位置设置有导向轴支撑座3，导向轴2与导向轴支撑座3滑动连接，导向轴2的一端通过轴承4与晶圆载板7的一端连接，从而执行电缸1的输出端可以带动晶圆载板7进行移动，导向轴2可沿着导向轴支撑座3做来回滑动运动，晶圆载板7的另一端与桌面板8的上表面之间通过支撑轮5连接。
29.冷却风机6设置在桌面板8的上表面，且位于晶圆载板7的下方，晶圆载板7的表面设置有多个晶圆冷却通风口15，多个晶圆冷却通风口15均位于冷却风机6的上部，在具体使用的过程中，冷却风机6可通过多个晶圆冷却通风口15对待冷却的晶圆进行冷却。
30.该ald批量生产高温冷却工艺装卸平台在使用的过程中，上述各个元器件之间均通过螺栓连接固定在ald批量生产高温工艺装卸平台上，同时该平台在使用之前，需将相配套使用的晶圆盒上的定位柱与晶圆载板7上的载具定位孔16进行适配，即将定位柱插入载具定位孔16中，将晶圆盒固定在晶圆载板7的一端，之后将待加工晶圆放在相配套使用的载具中，再将放有待加工晶圆的载具按顺序放入晶圆盒内，在将待加工晶圆放置好后，使用者启动配套使用的执行电缸1，以驱动上方的晶圆载板7将待加工的300片晶圆送入load腔体中，在将晶圆盒整体送入load腔体中后，load腔体中的吊装工具会将晶圆盒进行吊起，即晶圆盒和晶圆载板7进行分离，此时晶圆载板7即可在执行电缸1的配套使用下进行返回，即晶圆载板7上伸入load腔体中的部分移出load腔体内部，当待加工的300片晶圆反应完成后，执行电缸1将驱动晶圆载板7带有晶圆冷却通风口15的一端伸入load腔体中，该伸入部分与前面描述的伸入部分相同，然后load腔体中的吊装工具会将晶圆盒放入晶圆载板7的上方，之后执行电缸1带动晶圆载板7将晶圆盒移出load腔体内部，同时在移动的过程中，晶圆载板7下端的冷却风机6也会启动，其通过晶圆载板7上的多个晶圆冷却通风口15，可以对加工好的300片晶圆进行冷却。
31.尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。