一种ALD批量生产高温冷却工艺装卸平台的制作方法

技术特征：
1.一种ald批量生产高温冷却工艺装卸平台，包括有桌面板(8)，其特征在于：还包括冷却风机(6)和晶圆载板(7)；所述晶圆载板(7)设置在桌面板(8)的上表面，所述晶圆载板(7)的一端与执行电缸(1)的输出端连接，所述桌面板(8)上表面位于执行电缸(1)的两侧设置有导向轴(2)，所述桌面板(8)上设置有导向轴支撑座(3)，所述导向轴(2)与导向轴支撑座(3)滑动连接，所述导向轴(2)的一端通过轴承(4)与晶圆载板(7)的一端连接；所述冷却风机(6)设置在桌面板(8)的上表面，且位于所述晶圆载板(7)的下方，所述晶圆载板(7)的表面设置有多个晶圆冷却通风口(15)。2.根据权利要求1所述的一种ald批量生产高温冷却工艺装卸平台，其特征在于：所述桌面板(8)的下端通过架子(12)固定安装在底部载板(10)的上端，所述架子(12)的上端与桌面板(8)的四角下端连接，所述架子(12)的下端与底部载板(10)的四角上端连接。3.根据权利要求2所述的一种ald批量生产高温冷却工艺装卸平台，其特征在于：所述底部载板(10)的四角下端固定安装有支撑脚(11)。4.根据权利要求1所述的一种ald批量生产高温冷却工艺装卸平台，其特征在于：所述晶圆载板(7)的另一端与桌面板(8)的上表面之间通过支撑轮(5)连接。5.根据权利要求2所述的一种ald批量生产高温冷却工艺装卸平台，其特征在于：所述底部载板(10)的上端一侧安装有承重箱(9)。6.根据权利要求1所述的一种ald批量生产高温冷却工艺装卸平台，其特征在于：所述晶圆载板(7)的两侧和中部均安装有加强筋(13)，两侧的加强筋(13)不小于晶圆载板(7)的长度，中部的加强筋(13)小于两侧加强筋(13)的长度，且晶圆冷却通风口(15)设置在中部的加强筋(13)的一端。7.根据权利要求6所述的一种ald批量生产高温冷却工艺装卸平台，其特征在于：中部的所述加强筋(13)的一端两侧设置有多个安装固定孔(14)。8.根据权利要求1所述的一种ald批量生产高温冷却工艺装卸平台，其特征在于：所述晶圆载板(7)上位于多个晶圆冷却通风口(15)的四角处均设置有载具定位孔(16)。

技术总结
本实用新型公开了一种ALD批量生产高温冷却工艺装卸平台，包括桌面板；晶圆载板，设置在桌面板的上表面，晶圆载板的一端与执行电缸的输出端连接，桌面板上表面位于执行电缸的两侧设置有导向轴，桌面板上设置有导向轴支撑座，导向轴与导向轴支撑座滑动连接，导向轴的一端通过轴承与晶圆载板的一端连接；冷却风机，设置在桌面板的上表面，且位于晶圆载板的下方，晶圆载板的表面设置有多个晶圆冷却通风口。该ALD批量生产高温冷却工艺装卸平台能够实现300片晶圆自动化的放入腔体，同时还可以将加工好后的晶圆，不仅从腔体内部取出，还可以对晶圆进行降温冷却。晶圆进行降温冷却。晶圆进行降温冷却。


技术研发人员：郑锦 范嘉磊 付长杰 倪明 李虎 王亚东 刘松 朱静静
受保护的技术使用者：南京原磊纳米材料有限公司
技术研发日：2021.12.17
技术公布日：2022/5/8