一种晶圆切割切口检测装置的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体为一种晶圆切割切口检测装置。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆在制造过程中，会将硅晶棒经过切段、滚磨、切割、倒角、抛光、激光刻，然后再经过包装后，即成为硅晶圆片，加工时，在切割这一过程完成后，需要对晶圆的切割切口进行检测。
3.现有的大部分切口检测装置一次只能检测一组晶圆，从而会降低检测效率，为此，我们提出一种晶圆切割切口检测装置。


技术实现要素：

4.鉴于上述和/或现有一种晶圆切割切口检测装置中存在的问题，提出了本实用新型。
5.因此，本实用新型的目的是提供一种晶圆切割切口检测装置，能够解决上述提出现有问题。
6.为解决上述技术问题，根据本实用新型的一个方面，本实用新型提供了如下技术方案：
7.一种晶圆切割切口检测装置，其包括工作台，所述工作台顶部两端均固定安装支撑板，所述支撑板顶部安装有检测结构，所述工作台的顶部安装有放置结构，且放置结构位于检测结构的下方。
8.作为本实用新型所述的一种晶圆切割切口检测装置的一种优选方案，其中：所述检测结构包括暗箱，所述暗箱底部两端均固定安装支撑板，所述暗箱顶部设有数据显示单元，所述暗箱的顶端内壁固定安装红外线传感器。
9.作为本实用新型所述的一种晶圆切割切口检测装置的一种优选方案，其中：所述数据显示单元与所述红外线传感器相连接。
10.作为本实用新型所述的一种晶圆切割切口检测装置的一种优选方案，其中：所述放置结构包括气缸，所述气缸固定安装在工作台的顶部上，所述气缸的输出端通过活塞杆固定安装升降板，所述升降板的形状设置成u形；
11.所述升降板的顶端内壁连接有旋转组件，所述旋转组件上设有固定组件。
12.作为本实用新型所述的一种晶圆切割切口检测装置的一种优选方案，其中：所述旋转组件包括箱体和转轴，所述升降板的顶端左侧内壁通过轴承转动连接转轴，所述转轴固定安装在旋转板的左侧中端上。
13.作为本实用新型所述的一种晶圆切割切口检测装置的一种优选方案，其中：所述升降板的顶端左侧固定安装箱体，所述箱体内壁安装伺服电机，所述伺服电机的输出轴通
过轴承与转轴固定连接。
14.作为本实用新型所述的一种晶圆切割切口检测装置的一种优选方案，其中：所述固定组件包括气槽、第一硬管和空心管，所述气槽开设在旋转板的内壁上，所述旋转板的两端内壁均固定安装若干第一硬管，所述第一硬管的一端延伸至气槽的内壁，所述第一硬管的另一端固定安装在真空吸盘上，所述真空吸盘固定安装在固定板的内壁上。
15.作为本实用新型所述的一种晶圆切割切口检测装置的一种优选方案，其中：所述空心管固定安装在旋转板的右侧中端上，所述空心管的一端通过轴承转动连接在升降板的顶端右侧内壁上，所述空心管的一端延伸至气槽的内壁，所述空心管的另一端延伸至升降板的外面，所述空心管的右端内壁固定安装挡板，所述挡板的内壁通过轴承转动连接第二硬管，所述第二硬管的一端延伸至气槽的内壁，所述第二硬管的另一端延伸至空心管的外面。
16.与现有技术相比：
17.将两组晶圆分别放置在两组固定板上，放置后，通过外部真空泵使真空吸盘中的空气依次经过第一硬管、气槽和第二硬管流入到外部真空泵中，从而达到将晶圆吸附在固定板上，当晶圆吸附在固定板上时，通过气缸带动升降板进行上升，直至将晶圆上升至检测结构的内侧，从而使一组晶圆位于红外线传感器的下方，此时，晶圆与红外线传感器的距离足够固定板进行旋转，当一组晶圆位于红外线传感器的下方时，通过红外线传感器对切口进行检测，其中，数据显示单元就会接收晶圆的反射波量，若反射波均匀，则说明晶圆切口完好，若反射波出现波动，则说明晶圆切口有缺陷，当一组晶圆检测完以后，通过伺服电机使旋转板进行旋转，从而使另一组晶圆位于红外线传感器的下方，这样就会对另一组晶圆进行检测，从而达到可以对多组晶圆进行检测，通过可以对多组晶圆进行检测，不仅会提高检测效率，还会提高设备的利用率。
附图说明
18.图1为本实用新型结构正视示意图；
19.图2为本实用新型图1中a处结构放大示意图；
20.图3为本实用新型图2中a1处结构放大示意图；
21.图4为本实用新型图2中a2处结构放大示意图；
22.图5为本实用新型旋转板结构示意图。
23.图中：工作台2、支撑板21、检测结构3、暗箱31、数据显示单元32、红外线传感器33、放置结构4、气缸41、升降板42、旋转组件45、箱体451、伺服电机452、转轴453、旋转板454、固定组件46、气槽461、第一硬管462、真空吸盘4621、固定板463、空心管464、挡板465、第二硬管466。
具体实施方式
24.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型的实施方式作进一步地详细描述。
25.本实用新型提供一种晶圆切割切口检测装置，具有提高检测效率的优点，请参阅图1-图5，包括工作台2，所述工作台2顶部两端均固定安装支撑板21，所述支撑板21顶部安
装有检测结构3，所述工作台2的顶部安装有放置结构4，且放置结构4位于检测结构3的下方。
26.进一步的，所述检测结构3包括暗箱31，所述暗箱31底部两端均固定安装支撑板21，所述暗箱31顶部设有数据显示单元32，所述暗箱31的顶端内壁固定安装红外线传感器33。
27.进一步的，所述数据显示单元32与所述红外线传感器33相连接。
28.进一步的，所述放置结构4包括气缸41，所述气缸41固定安装在工作台2的顶部上，所述气缸41的输出端通过活塞杆固定安装升降板42，所述升降板42的形状设置成u形；
29.所述升降板42的顶端内壁连接有旋转组件45，所述旋转组件45上设有固定组件46。
30.进一步的，所述旋转组件45包括箱体451和转轴453，所述升降板42的顶端左侧内壁通过轴承转动连接转轴453，所述转轴453固定安装在旋转板454的左侧中端上。
31.进一步的，所述升降板42的顶端左侧固定安装箱体451，所述箱体451内壁安装伺服电机452，所述伺服电机452的输出轴通过轴承与转轴453固定连接。
32.进一步的，所述固定组件46包括气槽461、第一硬管462和空心管464，所述气槽461开设在旋转板454的内壁上，所述旋转板454的两端内壁均固定安装若干第一硬管462，所述第一硬管462的一端延伸至气槽461的内壁，所述第一硬管462的另一端固定安装在真空吸盘4621上，所述真空吸盘4621固定安装在固定板463的内壁上。
33.进一步的，所述空心管464固定安装在旋转板454的右侧中端上，所述空心管464的一端通过轴承转动连接在升降板42的顶端右侧内壁上，所述空心管464的一端延伸至气槽461的内壁，所述空心管464的另一端延伸至升降板42的外面，所述空心管464的右端内壁固定安装挡板465，所述挡板465的内壁通过轴承转动连接第二硬管466，所述第二硬管466的一端延伸至气槽461的内壁，所述第二硬管466的另一端延伸至空心管464的外面，具体的，通过第二硬管466具有与外部真空泵进行连接的作用。
34.在具体使用时，将两组晶圆分别放置在两组固定板463上，放置后，通过外部真空泵使真空吸盘4621中的空气依次经过第一硬管462、气槽461和第二硬管466流入到外部真空泵中，从而达到将晶圆吸附在固定板463上，当晶圆吸附在固定板463上时，通过气缸41带动升降板42进行上升，直至将晶圆上升至检测结构3的内侧，从而使一组晶圆位于红外线传感器33的下方，此时，晶圆与红外线传感器33的距离足够固定板463进行旋转，当一组晶圆位于红外线传感器33的下方时，通过红外线传感器33对切口进行检测，其中，数据显示单元21就会接收晶圆的反射波量，若反射波均匀，则说明晶圆切口完好，若反射波出现波动，则说明晶圆切口有缺陷，当一组晶圆检测完以后，通过伺服电机452使旋转板454进行旋转，从而使另一组晶圆位于红外线传感器33的下方，这样就会对另一组晶圆进行检测，从而达到可以对多组晶圆进行检测。
35.虽然在上文中已经参考实施方式对本实用新型进行了描述，然而在不脱离本实用新型的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，本实用新型所披露的实施方式中的各项特征均可通过任意方式相互结合起来使用，在本说明书中未对这些组合的情况进行穷举性的描述仅仅是出于省略篇幅和节约资源的考虑。因此，本实用新型并不局限于文中公开的特定实施方式，而是包括落入
权利要求的范围内的所有技术方案。