一种表面具有耐腐蚀和耐高温的石英玻璃材料及制备工艺的制作方法

技术特征：
1.一种表面具有耐腐蚀和耐高温的石英玻璃材料，其特征在于，包括石英玻璃本体以及设置在石英玻璃表面的耐高温耐腐蚀层；石英玻璃本体按照重量份数计算，包括以下成分：100份高纯石英砂、3.71～4.85份硼化铬、1.24～1.86份二硼化铬、2.52～4.31份四硼化三铬。2.根据权利要求1所述的一种表面具有耐腐蚀和耐高温的石英玻璃材料，其特征在于，所述高纯石英砂为纯度大于99.99％的石英砂。3.根据权利要求1所述的一种表面具有耐腐蚀和耐高温的石英玻璃材料，其特征在于，所述石英玻璃本体是通过电熔法制备得到，电熔过程的温度为1800～2000℃，电熔过程的真空度为0.1～0.5pa。4.根据权利要求1所述的一种表面具有耐腐蚀和耐高温的石英玻璃材料，其特征在于，所述高纯石英砂的粒径为50～100μm。5.根据权利要求1所述的一种表面具有耐腐蚀和耐高温的石英玻璃材料，其特征在于，所述硼化铬、所述二硼化铬、所述四硼化三铬的粒径为500～1000nm。6.根据权利要求1所述的一种表面具有耐腐蚀和耐高温的石英玻璃材料，其特征在于，所述耐高温耐腐蚀层的厚度为75～130nm。7.根据权利要求1所述的一种表面具有耐腐蚀和耐高温的石英玻璃材料，其特征在于，所述耐高温耐腐蚀层包括在所述石英玻璃本体上从内至外依次设置的硅酸钪镀膜和氟化钪镀膜。8.根据权利要求1所述的一种表面具有耐腐蚀和耐高温的石英玻璃材料，其特征在于，所述硅酸钪镀膜的厚度为15～35nm，磁控溅射时的温度为185～210℃，真空度为0.1～0.5pa。9.根据权利要求1所述的一种表面具有耐腐蚀和耐高温的石英玻璃材料，其特征在于，所述氟化钪镀膜的厚度为15～25nm，磁控溅射时的温度为165～180℃，真空度为0.1～0.5pa。10.权利要求1～9任意之一所述的一种表面具有耐腐蚀和耐高温的石英玻璃材料的制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，按照石英玻璃本体的成分重量份称取各成分，并使用电熔法制备得到石英玻璃本体；步骤2，将石英玻璃本体清洁干净并干燥处理后，在其表面使用磁控溅射的方式镀膜，包括依次设置的硅酸钪镀膜和氟化钪镀膜。

技术总结
本发明公开了一种表面具有耐腐蚀和耐高温的石英玻璃材料，包括石英玻璃本体以及设置在石英玻璃表面的耐高温耐腐蚀层；石英玻璃本体按照重量份数计算，包括以下成分：100份高纯石英砂、3.71～4.85份硼化铬、1.24～1.86份二硼化铬、2.52～4.31份四硼化三铬。本发明针对现有的石英玻璃的改进有两点：第一是将石英玻璃本身进行改进，从而提升紫外透过性；第二为了使石英玻璃具有较好的耐高温性和耐腐蚀，还在石英玻璃的表面设置了耐高温耐腐蚀层，而同时还要保证石英玻璃的紫外光透过性。时还要保证石英玻璃的紫外光透过性。


技术研发人员：纪树爱
受保护的技术使用者：东海县华科光学有限公司
技术研发日：2021.12.30
技术公布日：2022/4/29