药液混合装置的制作方法

1.本实用新型涉及药液混合技术领域，尤其涉及一种药液混合装置。


背景技术：

2.半导体、led、光伏产业需要使用到很多的化学药液，这些药液大多是强酸、强碱或强腐蚀性的化学药液，药液在使用时需要按照一定比例混合好后喷送到晶圆表面，进行晶圆加工。
3.目前均为混合后供液，即将药液在使用前提按照配比要求定量加入到混合槽内，然后通过循环系统循环液体或搅拌系统搅拌液体等实现药液的均匀混合，然后进行使用。但这种方式混合药液的时间较长，并且药液提前混合好，无法更改比例，容易造成药液的浪费。
4.因此，有必要提供一种新型的药液混合装置以解决现有技术中存在的上述问题。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种药液混合装置，无需提前将药液混合，能够在使用时将药液的实时混合，便于更改药液的配比，从而减少药液的浪费，并提高药液混合的效率，减少所耗费的时间。
6.为实现上述目的，本实用新型的所述药液混合装置，包括至少两个输送单元、至少两个流量调节单元、至少两条输送管路和汇合单元，所述输送单元和所述流量调节单元均与所述输送管路一一对应设置，所述输送单元通过所述输送管路与所述汇合单元连通，所述流量调节单元包括流量监测单元和第一流量调节子单元，所述流量监测单元和所述第一流量调节子单元均设置于所述输送管路上，所述输送单元用于吸取待混合药液，并将所述待混合药液输送到所述输送管路，所述流量监测单元用于监测所述输送管路内所述待混合药液的流量，所述第一流量调节子单元用于调节所述输送管路内所述待混合药液的流量，所述汇合单元用于汇合所有所述输送管路内的药液。
7.所述药液混合装置的有益效果在于：所述输送单元用于吸取待混合药液，并将所述待混合药液输送到所述输送管路，所述流量监测单元用于监测所述输送管路内所述待混合药液的流量，所述第一流量调节子单元用于调节所述输送管路内所述待混合药液的流量，所述汇合单元用于汇合所有所述输送管路内的药液，能够在使用时将药液的实时混合，便于更改药液的配比，从而减少药液的浪费，所述输送管路内的待混合药液一定时间内进入所述汇合单元的量较少，能够快速的完成药液的混合，极大的减少了所需要耗费的时间。
8.可选地，所述药液混合装置还包括至少一个分流单元，所述分流单元与所述输送管路一一对应连接，用于将所述输送管路内的待混合药液分流。其有益效果在于：能够辅助所述第一流量调节子单元对所述输送管内流量的调节，避免所述输送管路内的压力过大。
9.可选地，所述分流单元包括分流管路和第二流量调节子单元，所述分流管路与位于所述输送单元和所述第一流量调节子单元之间的输送管路连通，所述第二流量调节子单
元设置于所述分流管路上，用于在所述第一流量调节子单元关闭时开通，以实现所述分流管路内待混合药液的回流。
10.可选地，所述分流单元还包括压力检测单元，所述压力检测单元设置于所述输送单元和所述第一流量调节子单元之间的输送管路上，用于检测所述输送单元和所述第一流量调节子单元之间的输送管路内的压力。其有益效果在于：通过检测所述输送管路内的压力，能够控压以提高流量的稳定性，并且避免所述输送管内的压力过大而爆裂。
11.可选地，所述药液混合装置还包括至少一个待混合液盛装单元，所述待混合液盛装单元与所述输送单元一一对应连接，用于盛装所述待混合药。
12.可选地，所述汇合单元为主体、输出单元和至少两个输入单元，所述输入单元与所述输送管路一一对应连接，所述输出单元和所述输入单元与所述主体连通，所述主体通过所述输入单元从所述输送管路接收所述待混合药液，将所述待混合药液混合后从所述输出单元输出。其有益效果在于：便于连接多条所述输送管路，以实时混合待混合药液。
13.可选地，所述汇合单元还包括至少一个第三流量调节子单元，所述第三流量调节子单元与所述输入单元一一对应设置，用于在所述输出单元所连接的输送管路内没有待混合药液流出时防止所述待混合药液流入所述输送管路。
14.可选地，所述汇合单元还包括至少一个止回阀单元，所述止回阀单元与所述输入单元一一对应设置，用于防止所述待混合药液回流入所述输送管路。
15.可选地，所述汇合单元还包括至少一个堵头单元，所述堵头单元与所述输入单元一一对应设置，用于在所述输出单元所连接的输送管路内没有待混合药液流出时防止所述待混合药液流入所述输送管路。
16.可选地，所述药液混合装置还包括控制单元，所以控制单元与所述流量监测单元和所述第一流量调节子单元连接，用于根据所述流量监测单元检测的流量实现对所述第一流量调节子单元的控制，以调节所述输送管路内所述待混合药液的流量。
附图说明
17.图1为本实用新型一些实施例中药液混合装置的结构框图；
18.图2为本实用新型一些实施例中汇合单元的结构示意图；
19.图3为本实用新型又一些实施例中汇合单元的结构示意图。
具体实施方式
20.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。
21.针对现有技术存在的问题，本实用新型的实施例提供了一种药液混合装置。参照
图1，所述药液混合装置100包括至少两个输送单元101、至少两个流量调节单元102、至少两条输送管路103和汇合单元104，所述流量调节单元102包括流量监测单元1021和第一流量调节子单元1022。
22.参照图1，所述输送单元101和所述流量调节单元102均与所述输送管路 103一一对应设置，所述输送单元101通过所述输送管路103与所述汇合单元 104连通，所述流量监测单元1021和所述第一流量调节子单元1022均设置于所述输送管路103上，所述输送单元101用于吸取待混合药液，并将所述待混合药液输送到所述输送管路103，所述流量监测单元1021用于监测所述输送管路 103内所述待混合药液的流量，所述第一流量调节子单元1022用于调节所述输送管路103内所述待混合药液的流量，所述汇合单元104用于汇合所有所述输送管路103内的药液。具体地，所述输送单元101可以是任意一种能够液体的器件，在此并不做任何限定，例如泵，所述流量监测单元1021为流量计，所述第一流量调节子单元1022为流量调节阀。
23.一些实施例中，所述药液混合装置还包括至少一个分流单元，所述分流单元与所述输送管路一一对应连接，用于将所述输送管路内的待混合药液分流。
24.参照图1，所述分流单元105包括分流管路1051和第二流量调节子单元1052，所述分流管路1051与位于所述输送单元101和所述第一流量调节子单元1022 之间的输送管路103连通，所述第二流量调节子单元1052设置于所述分流管路 1051上，用于在所述第一流量调节子单元1022关闭时开通，以实现所述分流管路1051内待混合药液的回流。具体地，所述第二流量调节子单元1052为流量调节阀。
25.参照图1，所述分流单元105还包括压力检测单元1053，所述压力检测单元1053设置于所述输送单元101和所述第一流量调节子单元1022之间的输送管路103上，用于检测所述输送单元101和所述第一流量调节子单元1022之间的输送管路103内的压力。具体地，所述压力检测单元1053为液压计。
26.参照图1，所述药液混合装置100还包括至少一个待混合液盛装单元106，所述待混合液盛装单元106与所述输送单元101一一对应连接，用于盛装所述待混合药。具体地，所述待混合液盛装单元106为溶液罐或溶液槽，所述待混合液盛装单元106还与所述分流管路1051连通，从而实现带混合药液的回流。
27.一些实施例中，所述汇合单元为主体、输出单元和至少两个输入单元，所述输入单元与所述输送管路一一对应连接，所述输出单元和所述输入单元与所述主体连通，所述主体通过所述输入单元从所述输送管路接收所述待混合药液，将所述待混合药液混合后从所述输出单元输出。其中，所述输出单元、所述输入单元设置于所述主体的位置及所述输出单元、所述输入单元、所述主体的形状均并不做具体的限定，所述输出单元、所述输入单元与所述主体连通，能够实现液体的流动即可。
28.图2为本实用新型一些实施例中汇合单元的结构示意图。参照图2，所述主体1041呈中空的圆柱状，所述输入单元1042和所述输出单元1043均呈圆筒状，所述输入单元1042的数量为两个，且所述输入单元1042均设置于所述主体1041 的一个底面上，所述输出单元1043设置于所述主体1041的另一个底面上。
29.又一些实施例中，所述汇合单元包括主体、输出单元、至少两个输入单元以及至少一个第三流量调节子单元，所述输出单元和所述输入单元与所述主体连通，所述主体通过
所述输入单元从所述输送管路接收所述待混合药液，将所述待混合药液混合后从所述输出单元输出，所述第三流量调节子单元与所述输入单元一一对应设置，用于在所述输出单元所连接的输送管路内没有待混合药液流出时防止所述待混合药液流入所述输送管路。其中，所述输出单元、所述输入单元设置于所述主体的位置及形状并不做具体的限定，所述输出单元、所述输入单元与所述主体连通，能够实现液体的流动即可。
30.图3为本实用新型又一些实施例中汇合单元的结构示意图。参照图3，所述主体1041呈中空的圆柱状，所述输入单元1042和所述输出单元1043均呈圆筒状，所述输入单元1042的数量为两个，且所述输入单元1042均设置于所述主体1041的一个底面上，所述输出单元1043设置于所述主体1041的另一个底面上，所述第三流量调节子单元1044的数量为两个，两个所述第三流量调节子单元1044分别设置于所述输入单元1042上，用于关断或打开，以防止所述待混合药液回流入所述输送管路。具体地，所述第三流量调节子单元1044为电子阀、开关、流量调节阀中的任意一种。
31.另一些实施例中，所述汇合单元包括主体、输出单元、至少两个输入单元以及至少一个止回阀单元，所述输出单元和所述输入单元与所述主体连通，所述主体通过所述输入单元从所述输送管路接收所述待混合药液，将所述待混合药液混合后从所述输出单元输出，所述止回阀单元与所述输入单元一一对应设置，用于防止所述待混合药液回流入所述输送管路。其中，所述输出单元、所述输入单元设置于所述主体的位置并不做具体的限定，所述输出单元、所述输入单元与所述主体连通，能够实现液体的流动即可。
32.再一些实施例中，所述汇合单元还包括至少一个堵头单元，所述堵头单元与所述输入单元一一对应设置，用于在所述输出单元所连接的输送管路内没有待混合药液流出时防止所述待混合药液流入所述输送管路。其中，所述输出单元、所述输入单元设置于所述主体的位置并不做具体的限定，所述输出单元、所述输入单元与所述主体连通，能够实现液体的流动即可。
33.一些实施例中，所述药液混合装置还包括控制单元，所以控制单元与所述流量监测单元和所述第一流量调节子单元连接，用于根据所述流量监测单元检测的流量实现对所述第一流量调节子单元的控制，以调节所述输送管路内所述待混合药液的流量。具体地，所述控制单元为中央处理器(central processing unit， cpu)或微控制单元(microcontroller unit，mcu)。所以控制单元还与所述第二流量调节子单元和所述压力检测单元连接，便于通过所述压力检测单元检测到的压力调节所述第二流量调节子单元。
34.虽然在上文中详细说明了本实用新型的实施方式，但是对于本领域的技术人员来说显而易见的是，能够对这些实施方式进行各种修改和变化。但是，应理解，这种修改和变化都属于权利要求书中所述的本实用新型的范围和精神之内。而且，在此说明的本实用新型可有其它的实施方式，并且可通过多种方式实施或实现。