一种硬轴单晶炉的拉晶装置的制作方法

技术特征：
1.一种硬轴单晶炉的拉晶装置，应用于单晶炉本体中，单晶炉本体的外侧设置有机架，所述拉晶装置连接于所述机架上，其特征在于，所述拉晶装置包括：轴主体，所述轴主体呈硬性质地，所述轴主体位于所述单晶炉本体的内部，且与所述单晶炉本体呈共轴设置，所述轴主体连接于所述机架上，所述轴主体具有竖直方向移动的自由度和绕轴旋转的自由度；提升机构，所述提升机构连接于所述机架上，并且作用于所述轴主体上，用于驱动所述轴主体在上升或下降；旋转机构，所述旋转机构连接于所述机架上，并且作用于所述轴主体上，用于驱动所述轴主体绕轴旋转。2.根据权利要求1所述的一种硬轴单晶炉的拉晶装置，其特征在于，所述机架包括：第一机架，所述第一机架位于所述单晶炉本体的外围，所述第一机架的顶部具有第一基准板，所述第一基准板呈水平设置；第二机架，所述第二机架位于所述单晶炉本体的上方，且所述第二机架固定连接于所述第一基准板上；其中，所述提升机构与所述旋转机构连接于所述第二机架上。3.根据权利要求2所述的一种硬轴单晶炉的拉晶装置，其特征在于，所述提升机构包括：轴体座，所述轴体座与所述轴主体连接，且所述轴体座滑移连接于所述第二机架上，所述轴体座的移动方向为竖直方向；提升驱动组件，所述提升驱动组件连接于所述第二机架上且作用于所述轴体座上，用于驱动所述轴体座在竖直方向上移动。4.根据权利要求1或3所述的一种硬轴单晶炉的拉晶装置，其特征在于，旋转机构包括第一轴承驱动组件，所述第一轴承驱动组件用于驱动所述轴主体绕轴旋转，所述第一轴承驱动组件包括：第一轴承座，所述第一轴承座套设于所述轴主体外，且所述第一轴承座连接于所述轴体座上；第一轴承，第一轴承套设于所述轴主体的外部，所述第一轴承分别与所述轴主体和所述第一轴承座连接；以及第一电机，所述第一电机的输出轴与所述轴主体之间传动连接，使得所述第一电机驱动所述轴主体绕轴旋转。5.根据权利要求4所述的一种硬轴单晶炉的拉晶装置，其特征在于，所述第一机架与所述第二机架之间设置有调平机构，所述调平机构用于调节所述第二机架和所述轴主体位置，所述调平机构包括：调平板，所述调平板位于所述第一机架和所述第二机架之间，所述调平板固定连接于所述第二机架的底部，且与所述第一基准板可调式连接；调平组件，所述调平组件位于所述调平板与所述第一基准板之间，所述调平组件具有多个，每个所述调平组件作用于所述调平板的底面，每个所述调平组件包括：调节杆，所述调节杆的第一端固定连接于所述调平板的底面，且所述调节杆的第二端插设于第一基准板上；第一调节块，所述第一调节块连接于所述调节杆或所述调平板上，所述第一调节块具
有第一调节面，所述第一调节面倾斜朝下；第二调节块，所述第二调节块位于所述第一调节块与所述第一基准板之间，所述第二调节块具有第二调节面，所述第二调节面倾斜朝上，所述第一调节面与所述第二调节面相贴合；以及调节驱动件，所述调节驱动件连接并作用于所述第二调节块，用于驱动所述第二调节块移动并对所述第二调节块进行限位，使得所述第二调节面与所述第一调节面之间相对移动，从而驱动所述调平板的局部发生上升或下降。6.根据权利要求5所述的一种硬轴单晶炉的拉晶装置，其特征在于，所述调平板的侧边设置有第一顶块组件，所述第一顶块组件具有多个，所述第一顶块组件分布于所述调平板的相对的两侧，所述第一顶块组件包括：第一顶块座，所述第一顶块座位于所述调平板的边侧，所述第一顶块座固定连接于所述第一基准板上；第一顶块，所述第一顶块可调式的连接于所述第一顶块座上，所述第一顶块的一端可抵触于所述调平板的侧边。7.根据权利要求6所述的一种硬轴单晶炉的拉晶装置，其特征在于，所述第一轴承座的侧边设置有第二顶块组件，所述第二顶块组件具有多组，所述第二顶块组件分布于所述第一轴承座的相对的两侧，每组所述第二顶块组件包括：第二顶块座，所述第二顶块座位于所述第一轴承座的边侧，所述第二顶块座固定连接于所述轴体座上；第二顶块，所述第二顶块可调式的连接于所述第二顶块座上，所述第二顶块的一端可抵触于所述第一轴承座的侧边；其中，所述第一顶块组件的布置方向与所述第二顶块组件的布置方向相同。8.根据权利要求5所述的一种硬轴单晶炉的拉晶装置，其特征在于，所述轴主体和所述调平板之间设置有密封组件，所述密封组件包括：密封套管，所述密封套管套设于所述轴主体外，且所述密封套管连接于所述调平板上；密封圈，所述密封圈位于所述密封套管与所述轴主体之间，所述密封圈与所述密封套管固定连接，且与所述轴主体的外壁相抵触。9.根据权利要求8所述的一种硬轴单晶炉的拉晶装置，其特征在于，所述旋转机构还包括第二轴承驱动组件，所述第二轴承驱动组件用于驱动所述密封组件转动，所述第二轴承驱动组件包括：第二轴承，第二轴承套设于所述密封套管外部，所述第二轴承分别与密封套管和调平板连接；第二电机，所述第二电机的输出轴与所述密封套管之间传动连接，使得所述第二电机驱动所述密封套管旋转。10.根据权利要求9所述的一种硬轴单晶炉的拉晶装置，其特征在于，所述密封套管与所述第一电机的输出轴之间传动连接，使得所述密封套管与所述轴主体之间同步旋转。

技术总结
本申请涉及单晶炉，尤其一种硬轴单晶炉的拉晶装置，包括：轴主体，轴主体位于单晶炉本体的内部，且与单晶炉本体呈共轴设置，轴主体具有竖直方向移动的自由度和绕轴旋转的自由度；提升机构，提升机构连接于机架上，用于驱动轴主体在上升或下降；旋转机构，旋转机构连接于机架上，用于驱动轴主体绕轴旋转。利用轴主体代替现有技术中的软性钨合金缆绳进行拉晶，由于轴主体为硬性质地，在晶体旋转过程中不会发生晃动，从而提高拉晶品质，解决了现有技术中拉晶时晶棒晃动较大的技术问题；达到减小晶棒晃动的技术效果。晃动的技术效果。晃动的技术效果。


技术研发人员：郑丽霞 陆关斌 郑坚超 叶钢飞 叶雷江 梁晋辉
受保护的技术使用者：浙江晶盛机电股份有限公司
技术研发日：2021.11.26
技术公布日：2022/4/26