一种多晶硅片多次酸洗烘干处理装置的制作方法

1.本实用新型涉及太阳能硅片领域，具体是一种多晶硅片多次酸洗烘干处理装置。


背景技术：

2.多晶硅片，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。
3.利用价值来说，从目前国际太阳电池的发展过程可以看出其发展趋势为单晶硅、多晶硅、带状硅、薄膜材料，多晶硅片分为电子级和太阳能级，太阳能级是作为太阳能产业链的原料，用于铸锭或拉单晶硅棒，在切成硅片，生产成太阳能电池板。
4.硅片在制绒时，在硅片表面形成绒面，以减少电池片的反射率，绒面凹凸不平可以增加二次反射，改变光程及入射方式。通常情况下用碱处理单晶硅，可以得到金字塔状绒面；用酸处理多晶硅，可以得到虫孔状无规则绒面。
5.多晶硅片酸洗后，对硅片进行烘干处理，烘干是指用某种方式去除溶剂保留固体含量的工艺过程。通常是指通入热空气将物料中水分蒸发并带走的过程。按照热传导、热对流、热辐射三种热传播的方式。
6.硅片烘干时需干燥无水渍，硅片清洗烘干方法需热板150～250c,1～2分钟脱水烘焙，烘干目的除去表面的污染物，包括颗粒、有机物、工艺残余、可动离子和除去水蒸气，使基底表面由亲水性变为增水性。
7.目前，硅片的烘干过程中，使用热烘箱调至高温对硅片进行烘干，但因为水洗时硅片表面水汽较多，需要长时间加热，才能对硅片表面做到完全烘干，本技术旨在对硅片表面进行多次干燥，保证硅片的快速干燥，提高了硅片的干燥效率，节约了成本。


技术实现要素：

8.本实用新型的目的在于提供一种多晶硅片多次酸洗烘干处理装置，以解决现有技术中的问题。
9.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
10.一种多晶硅片多次酸洗烘干处理装置，装置本体包括烘干机台，烘干机台上设有用于对硅片进行传输的传输组件，传输组件包括用于对硅片进行承载烘干的硅片载板，烘干机台上设有用于对硅片表面进行烘干的烘干箱，烘干箱内部设有用于对硅片表面水分进行吸附的吸水组件，吸水组件包括用于带动硅片升降的升降单元，烘干箱内部靠近吸水组件的位置设有用于对硅片进行烘干的烘干组件，烘干组件包括风热隔板。
11.通过采用上述技术方案：传输组件能够对水洗后的硅片进行传输，硅片载板能够对硅片进行支撑，烘干箱能够对硅片进行烘干，吸水组件能够对硅片表面的水汽进行吸干，烘干组件能够对硅片表面同时进行烘干，旨在对硅片表面进行多次干燥，保证硅片的快速干燥，提高了硅片的干燥效率，节约了成本。
12.进一步设置：吸水组件包括吸水滚轮，吸水滚轮上包覆一层吸水棉，烘干箱内部设有移动槽，移动槽内部设有用于带动吸水滚轮上下移动的移动块，移动块滑移连接在移动槽内部，移动槽内部设有用于带动移动块滑移的气缸，移动块上设有用于带动吸水滚轮前后移动的伸缩支杆，伸缩支杆的数量为两根，伸缩支杆与移动块通过螺栓连接，吸水滚轮两侧分别和伸缩支杆通过轴承连接。
13.通过采用上述技术方案：吸水滚轮能够在硅片表面进行滚动，吸水棉能够对硅片表面的水分进行吸附，气缸能够带动移动块在移动槽内部滑移，伸缩支杆能够带动吸水滚轮前后移动，从而对硅片上下两面进行水分吸附。
14.进一步设置：升降单元包括用于将硅片进行抬起进行表面水分擦干的升降伸缩板，烘干箱相对的侧壁上设有升降槽，升降伸缩板滑移连接在升降槽内部，升降槽内部设有用于带动升降伸缩板进行升降的气缸，硅片载板内部设有方便升降伸缩板对硅片进行升降的伸缩台。
15.通过采用上述技术方案：升降伸缩板能够对硅片进行支撑升降，方便吸水滚轮对硅片上下两面进行干燥，气缸能够带动升降伸缩板在升降槽内部移动，硅片载板内部的伸缩台能够使得硅片抬升，方便升降伸缩板对其支撑。
16.进一步设置：烘干组件包括用于硅片表面进行烘干的烘干风箱，烘干风箱与外部鼓风机相连接，风热隔板设置烘干风箱靠近地面的一侧，风热隔板内部设有空腔，风热隔板的顶部和底部设有导风口，空腔内部设有用于进行加热的加热丝。
17.通过采用上述技术方案：烘干风箱能够通过外部鼓风机将气流引入进风热隔板内部的导风口，加热丝对风热隔板进行加热，气流经过风热隔板时，风热隔板内部的加热丝对其加热，使得更好对硅片进行烘干。
18.进一步设置：传输组件包括皮带传输线和用于带动皮带传输线的滚轮，烘干机台靠近滚轮的位置设有用于带动滚轮进行转动的电机。
19.通过采用上述技术方案：电机能够带动滚轮进行转动，滚轮带动皮带传输线对硅片进行传输。
20.进一步设置：烘干箱侧壁上设有用于方便传输组件对硅片进行传输的传输通口，烘干箱靠近传输通口的位置设有用于减少烘干箱内部散热的挡板，挡板与烘干箱铰接。
21.通过采用上述技术方案：传输通口能够将皮带传输线上的硅片传输至烘干箱内部，挡板能够阻止烘干箱内部的热流全部散出。
22.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型旨在对硅片表面进行多次干燥，保证硅片的快速干燥，提高了硅片的干燥效率，节约了成本。
附图说明
23.为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明。
24.图1为本实用新型一种多晶硅片多次酸洗烘干处理装置的结构示意图；
25.图2为本实用新型一种多晶硅片多次酸洗烘干处理装置的局部a示意图；
26.图3为本实用新型一种多晶硅片多次酸洗烘干处理装置的局部b示意图；
27.图4为本实用新型一种多晶硅片多次酸洗烘干处理装置的剖面示意图。
28.图中，1、烘干机台；2、硅片载板；3、吸水滚轮；4、移动块；5、伸缩支杆；6、升降伸缩板；7、升降槽；8、伸缩台；9、烘干风箱；10、风热隔板；11、皮带传输线；12、滚轮；13、挡板。
具体实施方式
29.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
30.请参阅图1～4，本实用新型实施例中，一种多晶硅片多次酸洗烘干处理装置，装置本体包括烘干机台1，烘干机台1上设有用于对硅片进行传输的传输组件，传输组件包括用于对硅片进行承载烘干的硅片载板2，烘干机台1上设有用于对硅片表面进行烘干的烘干箱，烘干箱内部设有用于对硅片表面水分进行吸附的吸水组件，吸水组件包括用于带动硅片升降的升降单元，烘干箱内部靠近吸水组件的位置设有用于对硅片进行烘干的烘干组件，烘干组件包括风热隔板10。
31.传输组件能够对水洗后的硅片进行传输，硅片载板2能够对硅片进行支撑，烘干箱能够对硅片进行烘干，吸水组件能够对硅片表面的水汽进行吸干，烘干组件能够对硅片表面同时进行烘干，旨在对硅片表面进行多次干燥，保证硅片的快速干燥，提高了硅片的干燥效率，节约了成本。
32.吸水组件包括吸水滚轮3，吸水滚轮3上包覆一层吸水棉，烘干箱内部设有移动槽，移动槽内部设有用于带动吸水滚轮3上下移动的移动块4，移动块4滑移连接在移动槽内部，移动槽内部设有用于带动移动块4滑移的气缸，移动块4上设有用于带动吸水滚轮3前后移动的伸缩支杆5，伸缩支杆5的数量为两根，伸缩支杆5与移动块4通过螺栓连接，吸水滚轮3两侧分别和伸缩支杆5通过轴承连接。
33.吸水滚轮3能够在硅片表面进行滚动，吸水棉能够对硅片表面的水分进行吸附，气缸能够带动移动块4在移动槽内部滑移，伸缩支杆5能够带动吸水滚轮3前后移动，从而对硅片上下两面进行水分吸附。
34.升降单元包括用于将硅片进行抬起进行表面水分擦干的升降伸缩板6，烘干箱相对的侧壁上设有升降槽7，升降伸缩板6滑移连接在升降槽7内部，升降槽7内部设有用于带动升降伸缩板6进行升降的气缸，硅片载板2内部设有方便升降伸缩板6对硅片进行升降的伸缩台8，伸缩台8的面积小于硅片表面面积。
35.升降伸缩板6能够对硅片进行支撑升降，方便吸水滚轮3对硅片上下两面进行干燥，气缸能够带动升降伸缩板6在升降槽7内部移动，硅片载板2内部的伸缩台8能够使得硅片抬升，方便升降伸缩板6对其支撑。
36.烘干组件包括用于硅片表面进行烘干的烘干风箱9，烘干风箱9与外部鼓风机相连接，风热隔板10设置烘干风箱9靠近地面的一侧，风热隔板10内部设有空腔，风热隔板10的顶部和底部设有导风口，空腔内部设有用于进行加热的加热丝。
37.烘干风箱9能够通过外部鼓风机将气流引入进风热隔板10内部的导风口，加热丝对风热隔板10进行加热，气流经过风热隔板10时，风热隔板10内部的加热丝对其加热，使得更好对硅片进行烘干。
38.传输组件包括皮带传输线11和用于带动皮带传输线11的滚轮12，烘干机台1靠近滚轮12的位置设有用于带动滚轮12进行转动的电机，滚轮12另一侧与烘干机台1通过轴承连接。
39.电机能够带动滚轮12进行转动，滚轮12带动皮带传输线11对硅片进行传输。
40.烘干箱侧壁上设有用于方便传输组件对硅片进行传输的传输通口，烘干箱靠近传输通口的位置设有用于减少烘干箱内部散热的挡板13，挡板13与烘干箱铰接。
41.传输通口能够将皮带传输线11上的硅片传输至烘干箱内部，挡板13能够阻止烘干箱内部的热流全部散出。
42.气缸型号采用sc气缸，电机采用三相异步电动机。
43.本实用新型的工作原理是：操作人员将水洗后的硅片放入硅片载板2内的伸缩台8上，打开外部鼓风机，外部鼓风机将气流引入进风热隔板10内部的导风口，加热丝对风热隔板10进行加热，气流经过风热隔板10时，风热隔板10内部的加热丝对其加热，使得更好对硅片进行烘干；
44.打开电机，电机带动滚轮12进行转动，滚轮12带动皮带传输线11移动，皮带传输线11带动硅片载板2进行传输，操作人员拨动烘干箱外部一侧的挡板13，当硅片载板2通过传输通口进入烘干箱内部时，关闭电机，硅片载板2内部伸缩台8带动硅片上升，升降伸缩板6伸缩延长至硅片下方，对硅片两侧进行支撑，操作人员打开气缸带动升降伸缩板6进行升降，从而带动硅片上升，上升到合适位置，伸缩支杆5带动吸水滚轮3对硅片表面的水分进行吸附，硅片一面擦拭结束后，伸缩支杆5回缩，操作人员打开移动槽内部的气缸，气缸带动移动块4进行移动到硅片下部，伸缩支杆5重新带动吸水滚轮3对硅片下表面的水分进行吸附；
45.硅片烘干后，升降伸缩板6重新将放置带硅片载板2上，重新打开电机，皮带传输线11带动硅片载板2传输至外部。
46.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。