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显示面板、显示装置、电子设备和裂纹检测方法与流程

2022-04-20 22:03:20 来源:中国专利 TAG:
显示面板、显示装置、电子设备和裂纹检测方法与流程

本申请涉及显示面板技术领域,特别是涉及一种显示面板、电子设备和裂纹检测方法。

背景技术

有机发光半导体(Organic Electroluminescence Display,OLED)产品,在柔性电路板(Flexible Printed Circuit,FPC)上生成各膜层,由于柔性电路板自身特性导致面板易存在裂纹的问题,及时检出具有裂纹的面板,可以节省后续物料的损耗。

目前,对于OLED产品的裂纹检测,在与驱动芯片(Integrated Circuit,IC)固定后,采用模组(Modifications,MOD)检测。当使用MOD检测时,一般通过金属走线,使金属走线绕待检测基板一圈或呈Z形走线绕待检测基板一周,金属走线的两端分别接入IC的2个测试焊盘,通过IC输入检测信号,检测金属走线的电阻,从而判断待检测基板周边是否存在裂纹。然而,当走线过长时检测容易出现误判。



技术实现要素:

本申请主要解决的技术问题是提供一种显示面板、显示装置、电子设备和裂纹检测方法,解决现有技术中对于显示面板裂纹检测的精确度低的问题。

为解决上述技术问题,本申请采用的第一个技术方案是:提供一种显示面板,具有显示区和非显示区,显示面板还包括:第一检测线,设置在非显示区中,且围绕显示区走线;第二检测线,设置在非显示区中;裂纹检测电路,分别连接第一检测线的第一端和第二端,且分别连接第二检测线的第三端和第四端;第一检测线与第二检测线的膜层、材料和厚度均相同,且走线长度和/或走线线宽不同。

其中,第一检测线与第二检测线的走线线宽相同,第一检测线的走线长度大于或等于3倍的第二检测线的走线长度。

其中,第一检测线与第二检测线的走线长度相同,第一检测线与第二检测线的走线线宽不同。

其中,第一检测线与第二检测线均围绕显示区一圈走线。

其中,第二检测线设置于第一检测线靠近显示区的一侧。

其中,显示面板还包括:驱动组件,位于非显示区;第二检测线位于被驱动组件覆盖的部分非显示区。

为解决上述技术问题,本申请采用的第三个技术方案是:本申请提供一种显示装置,包括第一技术方案的显示面板和裂纹检测电路。所述裂纹检测电路分别连接所述第一检测线的第一端和第二端,且分别连接所述第二检测线的第三端和第四端;所述裂纹检测电路用于分别对所述第一检测线和所述第二检测线施加电信号,获取所述第一检测线的第一电学参数和所述第二检测线的第二电学参数,以及根据所述第一电学参数和所述第二电学参数判断所述显示面板是否存在裂纹。

其中,所述第一检测线的走线长度为L1,所述第二检测线的走线长度为L2;所述第一检测线的第一电学参数为第一电阻R1,所述第二检测线的第二电学参数为第二电阻R2;所述裂纹检测电路用于将所述第一电阻R1与所述第一检测线的理论电阻范围进行比较,并将R1与R2的比值与L1与L2的比值进行比较;其中,

响应于所述第一电阻R1处于所述第一检测线的理论电阻范围内,且R1与R2的比值等于L1与L2的比值,则确定所述显示面板不存在裂纹;

响应于所述第一电阻R1未处于所述第一检测线的理论电阻范围内,和/或R1与R2的比值不等于L1与L2的比值,则确定所述显示面板存在裂纹。

其中,所述第一检测线的走线线宽为W1,所述第二检测线的走线线宽为W2,所述第一检测线与所述第二检测线的走线线宽波动幅度为2X;所述第一检测线的理论电阻与所述第二检测线的理论电阻的比值范围为大于等于(W2-X)/(W1 X)且小于等于(W2 X)/(W1-X);

所述裂纹检测电路用于将所述第一检测线的第一电阻R1与所述第一检测线的理论电阻范围进行比较,并将所述第一检测线的第一电阻R1与所述第二检测线的第二电阻R2的比值与所述第一检测线的理论电阻与所述第二检测线的理论电阻的比值范围进行比较;其中,

响应于所述第一电阻R1处于所述第一检测线的理论电阻范围内,且R1与R2的比值处于所述第一检测线的理论电阻与所述第二检测线的理论电阻的比值范围内,则确定所述显示面板不存在裂纹;

响应于所述第一电阻R1未处于所述第一检测线的理论电阻范围内,和/或R1与R2的比值未处于所述第一检测线的理论电阻与所述第二检测线的理论电阻的比值范围内,则确定所述显示面板存在裂纹。

为解决上述技术问题,本申请采用的第三个技术方案是:本申请提供一种电子设备,其包括本申请第二技术方案的显示装置。

为解决上述技术问题,本申请采用的第四个技术方案是:本申请提供一种裂纹检测方法,裂纹检测方法包括:采用相同工艺在待检测基板表面制备第一检测线和第二检测线;第一检测线与第二检测线的材料和厚度相同,且走线长度和/或走线线宽不同;分别对第一检测线和第二检测线施加电信号;获取第一检测线的第一电学参数和第二检测线的第二电学参数;以及根据第一电学参数和第二电学参数判断待检测基板是否存在裂纹。

其中,第一检测线与第二检测线的走线线宽相同且走线长度不同,第一检测线的走线长度为L1,第二检测线的走线长度为L2;其中,获取第一检测线的第一电学参数和第二检测线的第二电学参数的步骤包括:获取第一检测线的第一电阻R1和第二检测线的第二电阻R2;根据第一电学参数和第二电学参数判断待检测基板是否存在裂纹的步骤包括:将第一电阻R1与第一检测线的理论电阻范围进行比较,并将R1与R2的比值与L1与L2的比值进行比较;其中,第一电阻R1处于第一检测线的理论电阻范围内,且R1与R2的比值等于L1与L2的比值,则确定待检测基板不存在裂纹;第一电阻R1未处于第一检测线的理论电阻范围内,和/或R1与R2的比值不等于L1与L2的比值,则确定待检测基板存在裂纹。

其中,第一检测线与第二检测线的走线长度相同且走线线宽不同,第一检测线的走线线宽为W1,第二检测线的走线线宽为W2,第一检测线与第二检测线的走线线宽波动幅度为2X;第一检测线的理论电阻与第二检测线的理论电阻的比值范围为大于等于(W2-X)/(W1 X)且小于等于(W2 X)/(W1-X);其中,获取第一检测线的第一电学参数和第二检测线的第二电学参数的步骤包括:获取第一检测线的第一电阻R1和第二检测线的第二电阻R2;根据第一电学参数和第二电学参数判断待检测基板是否存在裂纹的步骤包括:将第一电阻R1与第一检测线的理论电阻范围进行比较,并将R1与R2的比值与第一检测线的理论电阻与第二检测线的理论电阻的比值范围进行比较;其中,第一电阻R1处于第一检测线的理论电阻范围内,且R1与R2的比值处于第一检测线的理论电阻与第二检测线的理论电阻的比值范围内,则确定显示面板不存在裂纹;第一电阻R1未处于第一检测线的理论电阻范围内,和/或R1与R2的比值未处于第一检测线的理论电阻与第二检测线的理论电阻的比值范围内,则确定显示面板存在裂纹。

本申请的有益效果是:区别于现有技术的情况,提供一种显示面板、电子设备和裂纹检测方法,显示面板具有显示区和非显示区,还包括第一检测线、第二检测线和裂纹检测电路。第一检测线与第二检测线的方块电阻相同且走线长度和/或走线线宽不同;第一检测线与第二检测线的走线长度不同和/或走线线宽不同,使得第一检测线和第二检测线的理论电学参数不同;通过裂纹检测电路分别对第一检测线和第二检测线施加电信号,检测第一检测线的第一电学参数和第二检测线的第二电学参数,进而根据第一电学参数和第二电学参数的比值与第一检测线理论电学参数和第二检测线理论电学参数的比值进行比较,进而消除第一检测线和第二检测线由于本身工艺误差造成电阻波动干扰,提高了裂纹检测的精确度。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案,下面将对本申请实施例中所需要使用的附图作简单的介绍,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是现有技术中显示面板的结构示意图;

图2是本申请提供的显示面板第一实施例的结构示意图;

图3是本申请提供的显示面板第二实施例的结构示意图;

图4是本申请提供的显示面板第三实施例的结构示意图;

图5是本申请提供的显示面板第四实施例的结构示意图;

图6是本申请提供的裂纹检测方法一实施例的流程示意图。

具体实施方式

下面将详细描述本申请的各个方面的特征和示例性实施例,为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及具体实施例,对本申请进行进一步详细描述。应理解,此处所描述的具体实施例仅意在解释本申请,而不是限定本申请。对于本领域技术人员来说,本申请可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本申请的示例来提供对本申请更好的理解。

需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

本申请发明人研究发现,当走线过长时,走线的线宽、方块电阻等参数存在上下波动的情况,会造成走线电阻的波动,走线电阻同样是在规格内的上下限波动,电阻差值可能会存在倍数的差异,进而很难确认造成电阻差异是由于工艺误差造成的波动还是由于待检测基板本身存在微裂纹造成的波动,因此,容易导致误判。以下详细说明。

请参阅图1,图1是现有技术中显示面板的结构示意图。

显示面板10包括显示区11和非显示区12,第一检测线13设置在非显示区12边缘,绕显示区11周围一圈。显示面板10与裂纹检测电路19连接形成显示装置。裂纹检测电路19对第一检测线13施加信号,获取第一检测线13的电学参数,即第一检测线13的电阻。第一检测线13的电阻处于第一检测线13理论电阻波动范围内(理论电阻波动范围请参考表2),则确定显示面板10无裂纹;反之,第一检测线13的电阻未处于第一检测线13理论电阻波动范围内,则确定显示面板10有裂纹。请参阅表1,表1为以显示面板尺寸为50英寸为例的金属导线理论电阻值。

表1

如表1中所示,第一检测线13的长度为2362000μm,线宽为4μm±1μm,第一检测线13的方块电阻为0.04Ω±0.006Ω,根据公式1可求出第一检测线13的理论电阻波动范围为16.06kΩ~36.217kΩ。

其中,公式1如下:

式中:R为金属导线的电阻值,L为金属导线的长度,W为金属导线的线宽,Rs为金属导线的方块电阻。

在本实施例中,第一检测线13作为金属导线,获取的第一检测线13的电学参数即实际电阻为20.156kΩ,处于第一检测线13的理论电阻范围内,则确定显示面板10无裂纹。由于第一检测线13过长,工艺波动会导致走线本身线宽波动和/或方块电阻波动,导致实际电阻波动范围大,从而容易导致误判。

为了解决现有技术问题,本申请实施例提供一种新的显示面板、电子设备和裂纹检测方法进行详细阐述。下面首先对本申请实施例所提供的电子设备和显示面板进行介绍。

请参阅图2,图2是本申请提供的显示面板第一实施例的结构示意图。

本实施例提供了一种电子设备,电子设备可以为电视、电脑、手机、学习机等。在本实施例中,电子设备包括显示面板10。显示面板10可以为有机发光二极管(OLED)显示器和液晶显示器(Liquid Crystal Display,LCD)。

显示面板10具有显示区11和包围显示区11的非显示区12。显示区11用于设置例如像素、驱动电路、数据信号线、扫描信号线等结构。非显示区12用于设置扫描电路、测试电路、显示控制电路等结构。

显示面板10包括第一检测线13、第二检测线14。显示面板10和裂纹检测电路19连接形成显示装置。可以理解,本申请的显示装置还可以包括外接驱动组件和控制电路板。

第一检测线13设置在非显示区12中,且围绕显示区11走线。本实施例中,第一检测线13至少部分包围显示区11。示例性地,例如第一检测线13设置在显示面板10的边缘区域,并至少部分包围显示区11一周。通过第一检测线13可以检测非显示区12是否发生裂纹,进而确定显示面板10是否发生裂纹。示例性地,为了增大裂纹检测范围,提高裂纹检测精度,尤其是微裂纹的检测,第一检测线13可以多绕显示区11几圈,增大第一检测线13与显示面板10的非显示区12的接触区域,有利于显示面板10裂纹的检测。第一检测线13为可以传输电流和检测信号的导电线。在本实施例中,第一检测线13为金属线,金属线的材料可以为铜、铝、铜包钢或铜包铝等金属。第一检测线13具有第一端15和第二端16,第一检测线13的第一端15用于接收电信号。

第二检测线14设置于非显示区12,且围绕显示区11走线。第二检测线14位于第一检测线13与显示区11之间,例如,第二检测线14设置在显示区11的周缘。第二检测线14为可以传输电流和检测信号的导电线。在本实施例中,第二检测线14为金属线,金属线的材料可以为铜、铝、铜包钢或铜包铝等金属。其中,第二检测线14的材料和制备工艺与第一检测线13的材料和制备工艺相同,也就是说,第一检测线13的方块电阻与第二检测线14的方块电阻相同。例如,通过同一个薄膜工艺同时形成第一检测线13与第二检测线14。第二检测线14具有第三端17和第四端18,第二检测线14的第三端17用于接收电信号。可以理解,显示面板10的裂纹通常是位于边缘且从边缘向显示区11延伸。优选,第二检测线14设置于第一检测线13靠近显示区11的一侧。第二检测线14尽可能的靠近显示区11设置,尽量避免裂纹对第二检测线14的电阻影响,从而避免由于第二检测线14的电阻受到裂纹影响而导致的误判。

裂纹检测电路19用于分别对第一检测线13和第二检测线14施加电信号,获取第一检测线13的第一电学参数和第二检测线14的第二电学参数。具体地,裂纹检测电路19分别连接第一检测线13的第一端15和第二端16,且分别连接第二检测线14的第三端17和第四端18。裂纹检测电路19分别向第一检测线13的第一端15和第二检测线14的第三端17输入检测信号,例如恒压或恒流信号。裂纹检测电路19与第一检测线13的第二端16和第二检测线14的第四端18连接,接收第一检测线13的第二端16和第二检测线14的第四端18输出的测试信号,经过处理生成第一检测线13的第一电学参数和第二检测线14的第二电学参数。根据第一电学参数和第二电学参数判断显示面板10是否存在裂纹。

本申请的实施例中,显示面板10包括驱动组件22,驱动组件22包括柔性电路板21和驱动芯片20。其中,驱动芯片20包括裂纹检测电路19。

第一检测线13和第二检测线14的方块电阻相同且走线长度和/或走线线宽不同。具体地,第一检测线13和第二检测线14的走线膜层相同、制成材料、制备工艺相同,即得到第一检测线13和第二检测线14的方块电阻均相同。由于第一检测线13的走线长度较长,使得第一检测线13的走线线宽存在误差。具体地,第一检测线13的线宽波动幅度为2w。由于第一检测线13的制备工艺造成第一检测线13的方块电阻存在误差。具体地,第一检测线13的方块电阻波动幅度为2r。请参阅表2,表2为第一检测线13的理论电阻范围。

表2

如表2中所示,第一检测线13的长度为L1,线宽为W1±w,第一检测线13的方块电阻为Rs±r,根据公式1可求出第一检测线13的理论电阻波动范围Rmin~Rmax。

在一实施例中,第一检测线13与第二检测线14的方块电阻相同,且走线线宽W相同,但第一检测线13与第二检测线14的走线长度L不同。为了提高裂纹检测的准确率,第一检测线13的走线长度L1大于或等于3倍的第二检测线14的走线长度L2,即L1>=3L2。根据公式1可得,第一检测线13的理论电阻与第二检测线14的理论电阻的比值为L1/L2。

第一检测线13的第一电学参数为R1,第二检测线14的第二电学参数为R2。将第一电阻R1与第一检测线13的理论电阻范围Rmin-Rmax进行比较,并将R1与R2的比值与L1与L2的比值进行比较,进而判断显示面板10是否出现裂纹。当第一电阻R1处于第一检测线13的理论电阻范围内,且R1与R2的比值等于L1与L2的比值,则确定显示面板10不存在裂纹;反之第一电阻R1未处于第一检测线13的理论电阻范围内,和/或R1与R2的比值不等于L1与L2的比值,则确定显示面板10存在裂纹。

在一具体实施例中,表3为第一检测线13和第二检测线14的理论电阻设计值。

表3

在表3中,第一检测线13的走线长度设计值为2362000μm*3,第二检测线14的走线长度设计值为2362000μm,第一检测线13的走线长度是第二检测线14的走线长度的3倍,第一检测线13和第二检测线14的走线线宽W均为4μm±1μm,第一检测线13的和第二检测线14的方块电阻Rs均为0.04Ω±0.006Ω,根据公式1求得,第一检测线13的电阻设计值为70.86kΩ,第二检测线14的电阻设计值为23.62kΩ,在第一检测线13与第二检测线14的走线线宽和方块电阻相同时,第一检测线13与第二检测线14的电阻之比等于第一检测线13与第二检测线14的走线长度之比。

请参阅图3至图5,图3是本申请提供的显示面板第二实施例的结构示意图;图4是本申请提供的显示面板第三实施例的结构示意图;图5是本申请提供的显示面板第四实施例的结构示意图。

驱动组件22可以部分位于非显示区12,也可以全部位于非显示区12。当驱动组件22可以部分位于非显示区12时,驱动组件22包括驱动芯片20和柔性电路板21,如图2。当驱动组件22全部位于非显示区12时,驱动组件22形成于显示面板10的非显示区12上,如图3。其中,驱动芯片20可以包括裂纹检测电路19。第二检测线14位于被驱动组件22覆盖的部分非显示区12,如图4。在另一实施例中,第二检测线14位于被驱动组件22覆盖的部分非显示区12的旁边,如图5。

在一具体实施例中,第二检测线14位于被驱动芯片20覆盖的部分非显示区12。第二检测线14与第一检测线13的方块电阻和走线线宽相同但走线长度不同。具体地,第二检测线14围绕显示区11设置,第二检测线14仅设置于被驱动芯片20覆盖的部分非显示区12,即第二检测线14的走线长度小于第一检测线13的走线长度。其中的第二检测线14具有第三端17和第四端18,第二检测线14的第三端17用于接收电信号,第四端18用于输出测试信号。图4的方案中,第一检测线13与第二检测线14的长度比更大,检测精度更高。而且,第二检测线14位于被驱动组件22覆盖的部分非显示区12可以节省空间。另外,由于第二检测线14的长度很短,第二检测线14更不容易受到裂纹影响,从而避免由于第二检测线14的电阻受到裂纹影响而导致的误判。

在另一实施例中,第一检测线13与第二检测线14的方块电阻相同,且走线长度L相同,但第一检测线13与第二检测线14的走线线宽不同。第一检测线13的走线线宽为W1,第二检测线14的走线线宽为W2,第一检测线13与第二检测线14的走线线宽波动幅度为2X,根据公式1可得,第一检测线13的理论电阻与第二检测线14的理论电阻的比值为W2/W1,W2与W1的比值范围为大于等于(W2-X)/(W1 X)且小于等于(W2 X)/(W1-X)。裂纹检测电路19将第一电阻R1与第一检测线13的理论电阻范围Rmin-Rmax进行比较,并将R1与R2的比值与W2与W1的比值范围进行比较,从而判断显示面板10是否出现裂纹。当第一电阻R1处于第一检测线13的理论电阻范围Rmin-Rmax内,且R1与R2的比值处于第一检测线13的理论电阻与第二检测线14的理论电阻的比值范围内时,则确定显示面板10不存在裂纹。当第一电阻R1未处于第一检测线13的理论电阻范围Rmin-Rmax内,和/或R1与R2的比值未处于第一检测线13的理论电阻与第二检测线14的理论电阻的比值范围内,则确定显示面板10存在裂纹。

本实施例提供的显示面板10具有显示区11和非显示区12,还包括第一检测线13、第二检测线14和裂纹检测电路19。第一检测线13与第二检测线14的方块电阻相同且走线长度和/或走线线宽不同;第一检测线13与第二检测线14的走线长度不同和/或走线线宽不同,使得第一检测线13和第二检测线14的理论电学参数不同;通过裂纹检测电路19分别对第一检测线13和第二检测线14施加电信号,检测第一检测线13的第一电学参数和第二检测线14的第二电学参数,进而根据第一电学参数和第二电学参数的比值与第一检测线13理论电学参数和第二检测线14理论电学参数的比值进行比较,进而消除第一检测线13和第二检测线14由于本身工艺误差造成电阻波动干扰,提高了裂纹检测的精确度,减少误判。

请参阅图6,图6是本申请提供的裂纹检测方法一实施例的流程示意图。

结合上述实施例提供的具有显示面板的电子设备,本实施例还提供了一种裂纹检测方法,用于对显示面板进行裂纹检测。该裂纹检测方法包括:

S1:采用相同工艺在待检测基板表面制备第一检测线和第二检测线;第一检测线与第二检测线的材料相同,且走线长度和/或走线线宽不同。

S2:分别对第一检测线和第二检测线施加电信号。

S3:获取第一检测线的第一电学参数和第二检测线的第二电学参数。

S4:根据第一电学参数和第二电学参数判断待检测基板是否存在裂纹。

在一实施例中,第一检测线与第二检测线的方块电阻相同,且走线线宽W相同,但第一检测线与第二检测线的走线长度不同。

具体地,第一检测线与第二检测线的走线线宽相同且走线长度不同,第一检测线和第二检测线的走线线宽均为W,第一检测线的走线长度为L1,第二检测线的走线长度为L2,由于第一检测线和第二检测线是采用相同材料和工艺制得,因此,第一检测线的方块电阻Rs与第二检测线的方块电阻Rs相同。

通过上述实施例中的公式1,基于第一检测线和第二检测线分别对应的走线长度、走线线宽、方块电阻计算第一检测线的第一电阻R1和第二检测线的第二电阻R2。

将第一电阻R1与第一检测线的理论电阻范围Rmin-Rmax进行比较,并将R1与R2的比值与L1与L2的比值进行比较。

当第一电阻R1处于第一检测线的理论电阻范围Rmin-Rmax内,且R1与R2的比值等于L1与L2的比值,则确定该待检测基板不存在裂纹。

当第一电阻R1未处于第一检测线的理论电阻范围Rmin-Rmax内,和/或R1与R2的比值不等于L1与L2的比值,则确定该待检测基板存在裂纹。

在另一实施例中,第一检测线与第二检测线的方块电阻相同,且走线长度L相同,但第一检测线与第二检测线的走线线宽不同。

具体地,第一检测线与第二检测线的走线长度相同且走线线宽不同,第一检测线和第二检测线的走线长度均为L,第一检测线的走线线宽为W1,第二检测线的走线长度为W2,由于第一检测线和第二检测线是采用相同材料和工艺制得,因此,第一检测线的方块电阻Rs与第二检测线的方块电阻Rs相同。

由于第一检测线和第二检测线的走线长度较长,第一检测线与第二检测线的走线线宽的波动幅度均为2X。通过公式1,基于第一检测线和第二检测线分别对应的走线长度、走线线宽、方块电阻计算得到第一检测线的理论电阻与第二检测线的理论电阻的比值范围为大于等于(W2-X)/(W1 X)且小于等于(W2 X)/(W1-X),并通过电压和电流计算得到第一检测线的第一电阻R1和第二检测线的第二电阻R2。

将第一电阻R1与第一检测线的理论电阻范围Rmin-Rmax进行比较,并将R1与R2的比值与第一检测线的理论电阻与第二检测线的理论电阻的比值范围进行比较。

当第一电阻R1处于第一检测线的理论电阻范围Rmin-Rmax内,且R1与R2的比值处于第一检测线的理论电阻与第二检测线的理论电阻的比值范围内,则确定该待检测基板不存在裂纹。

当第一电阻R1未处于第一检测线的理论电阻范围Rmin-Rmax内,和/或R1与R2的比值未处于第一检测线的理论电阻与第二检测线的理论电阻的比值范围内,则确定该待检测基板存在裂纹。

本实施例提供的裂纹检测方法,采用相同的材料和工艺制得第一检测线与第二检测线,第一检测线与第二检测线的方块电阻相同且走线长度和/或走线线宽不同;第一检测线与第二检测线的走线长度不同和/或走线线宽不同,使得第一检测线和第二检测线的理论电学参数不同;通过裂纹检测电路分别对第一检测线和第二检测线施加电信号,获得第一检测线的第一电学参数和第二检测线的第二电学参数,进而根据第一电学参数和第二电学参数的比值与第一检测线理论电学参数和第二检测线理论电学参数的比值进行比较,进而消除第一检测线和第二检测线由于本身工艺波动造成的干扰,提高了裂纹检测的精确度。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的申请后,将容易想到本公开的其他实施例。本申请旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化,这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的,本公开的真正范围和精神由权利要求指出。

应当理解的是,本公开并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构,并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本公开的范围仅由所附的权利要求来限。

再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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