一种废料可回收的多晶硅片切片设备的制作方法

1.本发明涉及多晶硅片加工技术领域，具体为一种废料可回收的多晶硅片切片设备。


背景技术：

2.多晶硅片的生产流程是先在铸锭炉中铸锭形成晶锭，再将晶锭经过拉晶、切断以及切方工艺形成多晶硅块，然后将多晶硅块粘接在晶托上，最后将载有多晶硅块的晶托装于切片机上进行切片制成多晶硅片，最后经过脱胶、清洗、烘干后得到多晶硅片成品。
3.多晶硅片在加工过程中，与金刚线的摩擦会产生线切废料，一般这些废料均会随同切割时的水流一同排出，导致这些废料得不到回收再利用，降低了原料的利用率，提高了加工成本。


技术实现要素：

4.本发明旨在解决现有技术中的问题，提供一种废料可回收的多晶硅片切片设备。
5.技术方案：一种废料可回收的多晶硅片切片设备，包括设备壳体、切片单元以及回收单元，所述切片单元设于设备壳体内部，且所述切片单元包括垫板，所述垫板底部设有多晶硅块，且所述垫板顶部设有t型定位块，所述t型定位块安装于升降台上，所述设备壳体内部两侧设有导线辊，所述导线辊上密集缠绕有金刚线；所述回收单元设于多晶硅块下方，通过回收单元对切片过程中产生的废料进行回收。
6.进一步地，所述回收单元包括矩形框，所述矩形框内设有过滤板，通过过滤板将切片过程中产生的废料进行滤出，所述过滤板上均匀开设有滤孔；所述矩形框底部设有底凸块，所述底凸块底部设有抵接块，所述抵接块设于凹型座上，所述凹型座上开设有供抵接块往复滑动的条形口，所述抵接块穿过条形口设置；所述底凸块两端设有伸缩支杆，所述伸缩支杆端部与凹型座连接，且所述伸缩支杆外部套设有复位弹簧。
7.进一步地，所述凹型座表面设有三角板，所述三角板表面上设有驱动电机，所述驱动电机的输出端与拨动块连接，所述拨动块表面具有推动部，所述拨动块在驱动电机的驱动下转动并与底凸块做间歇性接触动作。
8.进一步地，所述矩形框顶部两侧设有翻动板，所述翻动板通过转动器控制转动，且所述翻动板绕着矩形框顶部单边做旋转动作，用于对溅射的加工废料进行回收。
9.进一步地，所述矩形框顶部两侧设有导向轨，所述导向轨上设有活动的滑动台，所述滑动台顶部设有回收箱，所述回收箱一侧设有与其连通的抽吸单元，所述滑动台底部设有位于过滤板上方的扩口式回收罩。
10.进一步地，所述矩形框一端设有条形挡块，所述条形挡块与过滤板一端连接，且所述条形挡块表面设有拉杆，所述过滤板与矩形框内壁滑动连接。
11.进一步地，所述凹型座表面对称设有连接支杆，所述连接支杆端部设有凹型支杆，所述凹型支杆顶端与升降台表面连接。
12.进一步地，所述过滤板与翻动板的水平展开总长度大于多晶硅块宽度的1.5倍，所述翻动板的翻动角度范围为0-60
°
。
13.有益效果：本发明通过设置回收单元实时对多晶硅块切割时的废料进行回收，驱使拨动块转动与抵接块接触，将其沿着凹型座向一侧推动，使得底凸块带动矩形框同向移动，压缩一侧的伸缩支杆，并在拨动块转动与抵接块脱离时，两侧的伸缩支杆和复位弹簧驱使矩形框沿着凹型座反复横移，使得过滤板能够高效的滤出废料且不会导致堵塞的问题，同时通过沿着过滤板上方移动的滑动台和扩口式回收罩同步对滤出的废料进行回收，且能够在后续将过滤板拉出，进行进一步地清理，提高了原料的利用率。
附图说明
14.图1为本发明结构示意图；
15.图2为本发明切片单元结构示意图；
16.图3为本发明回收单元结构示意图；
17.图4为本发明图3中a处结构放大示意图。
18.图中：100、设备壳体；200、切片单元；201、多晶硅块；202、垫板；203、t型定位块；204、升降台；205、导线辊；206、金刚线；300、回收单元；301、矩形框；302、过滤板；303、底凸块；304、抵接块；305、凹型座；306、条形口；307、伸缩支杆；308、复位弹簧；309、三角板；310、拨动块；311、驱动电机；312、连接支杆；313、凹型支杆；314、导向轨；315、滑动台；316、回收箱；317、抽吸单元；318、扩口式回收罩；319、条形挡块；320、拉杆；321、翻动板；322、转动器。
具体实施方式
19.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
20.如图1和图2，本发明提供一种废料可回收的多晶硅片切片设备，包括设备壳体100、切片单元200以及回收单元300，切片单元200设于设备壳体100内部，且切片单元200包括垫板202，垫板202底部设有多晶硅块201，且垫板202顶部设有t型定位块203，t型定位块203安装于升降台204上，设备壳体100内部两侧设有导线辊205，导线辊205上密集缠绕有金刚线206；
21.回收单元300设于多晶硅块201下方，通过回收单元300对切片过程中产生的废料进行回收。
22.如3和图4回收单元300包括矩形框301，矩形框301内设有过滤板302，通过过滤板302将切片过程中产生的废料进行滤出，过滤板302上均匀开设有滤孔。
23.矩形框301底部设有底凸块303，底凸块303底部设有抵接块304，抵接块304设于凹型座305上，凹型座305上开设有供抵接块304往复滑动的条形口306，抵接块304穿过条形口306设置。
24.底凸块303两端设有伸缩支杆307，伸缩支杆307端部与凹型座305连接，且伸缩支杆307外部套设有复位弹簧308，驱使拨动块310转动与抵接块304接触，将其沿着凹型座305
向一侧推动，使得底凸块303带动矩形框301同向移动，压缩一侧的伸缩支杆307，并在拨动块310转动与抵接块304脱离时，两侧的伸缩支杆307和复位弹簧308驱使矩形框301沿着凹型座305反复横移，使得过滤板302能够高效的滤出废料且不会导致堵塞的问题。
25.凹型座305表面设有三角板309，三角板309表面上设有驱动电机311，驱动电机311的输出端与拨动块310连接，拨动块310表面具有推动部，拨动块310在驱动电机311的驱动下转动并与底凸块303做间歇性接触动作，拨动块310转动与抵接块304脱离时，两侧的伸缩支杆307和复位弹簧308驱使矩形框301沿着凹型座305反复横移，提高滤出效率。
26.如3和图4，图矩形框301顶部两侧设有翻动板321，翻动板321通过转动器322控制转动，且翻动板321绕着矩形框301顶部单边做旋转动作，用于对溅射的加工废料进行回收。
27.矩形框301顶部两侧设有导向轨314，导向轨314上设有活动的滑动台315，滑动台315顶部设有回收箱316，回收箱316一侧设有与其连通的抽吸单元317，滑动台315底部设有位于过滤板302上方的扩口式回收罩318，通过沿着过滤板302上方移动的滑动台315和扩口式回收罩318同步对滤出的废料进行回收，及于扩口式回收罩318上方产生吸引力，将过滤板302上滤出的废料通过抽吸单元317吸入至回收箱内，且回收箱316会随着和滑动台315沿着导向轨314于过滤板302上方反复移动，进而能够持续且及时的对滤出的废料进行回收。
28.矩形框301一端设有条形挡块319，条形挡块319与过滤板302一端连接，且条形挡块319表面设有拉杆320，过滤板302与矩形框301内壁滑动连接，在后续还可通过拉杆320将条形挡块319和过滤板302拉出，对过滤板302上残留的废料进行进一步的回收，提高了原料的利用率。
29.凹型座305表面对称设有连接支杆312，连接支杆312端部设有凹型支杆313，凹型支杆313顶端与升降台204表面连接，通过连接支杆312和凹型支杆313使得过滤板302随同升降台204的移动而移动，使得过滤板302始终保持与多晶硅块201恒定的距离，能够提高切割时产生废料的回收效率。
30.过滤板302与翻动板321的水平展开总长度大于多晶硅块201宽度的1.5倍，翻动板321的翻动角度范围为0-60
°
。
31.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。