用于分隔两个腔区域的分隔装置和方法、用于处理工件的处理设备和方法与流程

1.本发明涉及一种用于分隔两个腔区域、例如处理设备的处理腔的两个处理腔区段的分隔装置。


背景技术：

2.例如，在用于处理工件的处理设备的处理腔的入口或出口处可以设置闸门，以便能够将布置在处理腔内的流体、尤其是空气与包围处理设备的环境空气有效地分隔。尤其地，可以最小化或防止不期望的空气交换，由此例如可以最小化用于调节布置在处理腔中的流体、尤其是用于调节空气的能量耗费。
3.这种闸门例如可以通过产生流动循环实现有效的流体分隔，然而通常需要相对大的结构空间。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于，提供一种分隔装置，其构造简单并且能够实现有效的流体分隔。
5.根据本发明，该目的通过根据权利要求1所述的分隔装置得以实现。
6.分隔装置优选地是用于分隔两个腔区域的分隔装置。
7.优选地，分隔装置包括用于供应要带入到两个腔区域之间的分隔流体的供应装置。
8.供应装置优选地包括用于引导分隔流体的一个或多个引导元件、尤其是至少两个引导元件。
9.一个或多个引导元件、尤其是所有引导元件优选刚性地和/或不可移动地构造和/或布置。
10.有利的可以是，一个或多个引导元件、尤其是至少两个引导元件构造为引导板。
11.在本发明的设计方案中可以规定，多个或所有引导元件、尤其是至少两个引导元件至少大致彼此平行地布置。
12.对此替选地或补充地可以规定，一个或多个或所有引导元件至少大致垂直地布置。
13.尤其可以规定，一个或多个或所有引导元件、尤其至少两个引导元件彼此包夹形成最大约10
°
、尤其最大约5
°
、优选地最大约2
°
的角度。
14.对此替选地或补充地可以规定，至少一个引导元件、至少两个引导元件或所有引导元件以最大约10
°
、优选地最大约5
°
、例如最大约2
°
的角度相对于重力方向倾斜地布置。
15.分隔流体尤其是空气，例如经调节和/或净化的空气和/或环境空气和/或大厅空气。
16.优选地，分隔装置能实现两个腔区域的流体有效的分隔，即，布置在相应的腔区域
中的流体不彼此混合或仅稍微跨空间地彼此混合。
17.分隔装置尤其用于减少或防止布置在两个腔区域中的流体之间的流体交换。
18.优选地可以借助分隔装置防止，来自腔区域之一的较热的空气与来自两个腔区域中的另一腔区域的较冷的空气混合。
19.一个或多个或所有引导元件优选地从腔区域之一或两个腔区域的顶部区域起向下延伸。
20.尤其可以规定，一个或多个或所有引导元件布置、尤其是安固在一个或两个腔区域的顶部处并且从该顶部起向下延伸。
21.顶部在此尤其是向上限定腔区域或两个腔区域的壁。
22.可以规定，一个或多个或所有引导元件延伸过将两个腔区域彼此连接的穿通开口的宽度的至少约70％、优选地至少约90％。
23.尤其可以规定，一个或多个或所有引导元件沿水平方向延伸过将两个腔区域彼此连接的穿通开口的整个宽度。
24.通过供应分隔流体优选地可以产生分隔流体帘、尤其是空气帘，其优选地延伸过将两个腔区域彼此连接的穿通开口的宽度的至少约70％、例如至少约90％。优选地，分隔流体帘、尤其是空气帘延伸过将两个腔区域彼此连接的穿通开口的整个宽度。
25.有利的可以是，一个或多个或所有引导元件包括金属板或由金属板构成。
26.一个或多个或所有引导元件优选地构造为平坦的和/或扁平的。
27.有利的可以是，一个或多个或所有引导元件沿两个主延伸方向的尺寸(ausdehnung)是沿其垂直于两个主延伸方向的相应的厚度方向的至少100倍、优选地至少500倍。
28.优选地，两个引导元件之间的间距为一个或两个引导元件的材料厚度的最多约20倍、例如最高约10倍。
29.两个引导元件彼此之间的间距例如可以为最大约5cm，例如最大约2cm。
30.有利的可以是，至少两个引导元件例如借助连接片彼此连接，该连接片尤其平行于分隔流体的主流动方向在至少两个引导元件之间的区域中延伸。
31.在本发明的设计方案中可以规定，一个或多个或所有引导元件至少局部地延伸过将两个腔区域彼此连接的穿通开口的最大高度或平均高度的至少约5％、例如至少约10％、优选至少约20％。
32.在本发明的设计方案中可以规定，待被带入到两个腔区域之间的分隔流体的体积流量的至少约50％、优选地至少约80％、例如至少约90％、尤其100％能穿过引导元件之间、尤其穿过两个引导元件之间被带入到两个腔区域之间。
33.尤其可以规定，分隔流体仅能穿过两个引导元件之间被带入到两个腔区域之间。
34.因此，供应装置优选地除了下述供应开口不包括其他用于供应分隔流体的供应开口，该供应开口构成在至少两个引导元件的通过其形成的端部区域处。
35.至少两个引导元件尤其构成用于将分隔流体供应到两个腔区域之间的唯一的和/或贯穿的狭槽式喷嘴。
36.可以规定，分隔装置包括用于封堵分隔流体的封堵装置。
37.封堵装置优选地包括一个或多个封堵元件，其防止或至少减少了分隔流体流扩散
到两个腔区域中的至少一个腔区域中。
38.优选地，一个或多个封堵元件布置在分隔装置的底部区域中，例如布置和/或安固在一个或两个腔区域的底部上。
39.一个或多个或所有封堵元件优选地构造为缓冲元件、尤其是缓冲板。
40.有利的可以是，一个或多个或所有封堵元件从底部区域起、尤其从底部起向上延伸、尤其至少大致垂直向上延伸。
41.有利的可以是，封堵装置的一个或多个或所有封堵元件以相对于分隔面平行错开的方式布置，沿着该分隔面借助分隔装置能将两个腔区域彼此分隔。
42.分隔面尤其在两个引导元件之间延伸穿过。
43.优选地，分隔面是两个引导元件的对称面、尤其是镜面。
44.有利的可以是，分隔面基本上垂直地布置，优选地，分隔面构成用于将分隔流体供应到两个腔区域之间的供应装置的供应狭槽的中心面。
45.有利的可以是，分隔装置包括用于导出分隔流体的导出装置。
46.排出装置尤其布置在分隔装置的底部区域中，例如集成到一个或两个腔区域的底部中。
47.优选地，导出装置包括一个或多个抽吸狭槽，其尤其部分地或至少大致完全地平行于分隔装置的分隔面布置。
48.有利的可以是，一个或多个或所有抽吸狭槽沿着相对于分隔面平行错开地布置的一个或多个平面延伸。
49.一个或多个或所有抽吸狭槽优选地沿着相应的平面不中断地布置和/或构造，或者多件式地且中断地布置和/或构造。
50.可以有利的是，导出装置、尤其是排出口、例如抽吸狭槽在一侧和分隔装置的封堵装置的一个或多个封堵元件在另一侧布置在分隔装置的分隔面的彼此对置的侧上。
51.封堵装置的一个或多个或所有封堵元件优选地以关于分隔面、尤其从分隔面起朝向腔区域之一偏置的方式布置，而一个或多个或所有排出口、尤其是抽吸狭槽优选地以关于分隔面、尤其是从分隔面起朝向两个腔区域中的另一个腔区域偏置的方式布置。
52.通过这种布置尤其能实现，分隔流体帘基本上沿着分隔面从一个或多个引导元件向下延伸并且可以在分隔装置的底部区域中在一侧进行抽吸，其中同时借助一个或多个封堵元件防止或至少减少了朝另一侧的流动扩散。
53.由此尤其能实现两个腔区域的特别节省空间的且流动有效的彼此分隔。
54.分隔装置尤其适合用在用于处理工件的处理设备中。
55.因此，本发明也涉及一种用于处理工件的处理设备、尤其是用于对被涂层的车辆车身进行干燥的干燥设备。
56.处理设备优选地包括：
57.用于处理工件的处理腔，该处理腔包括一个或多个处理腔区段；
58.用于分隔两个腔区域的至少一个分隔装置、尤其是根据本发明的分隔装置，其中至少一个处理腔区段构成腔区域之一，其能借助至少一个分隔装置与腔区域中的另一个腔区域分隔。
59.处理设备尤其可以包括多个分隔装置、例如多个根据本发明的分隔装置。
60.处理设备优选地具有一个或多个与分隔装置相关地描述的特征和/或优点。
61.可以规定，另一个腔区域是处理腔的另一个处理腔区段。
62.对此替选地可以规定，另一个腔区域是与处理设备不同的装置的空间区段。
63.对此替选地还可以规定，另一个腔区域是处理设备的周围环境。
64.有利的可以是，处理设备包括用于运输工件的运输装置，该运输装置尤其沿着运输装置的运输方向延伸穿过分隔装置。
65.在这种情况下，分隔装置的分隔面尤其斜向、例如垂直于运输装置取向。
66.有利的可以是，运输装置是周期式运输装置。
67.分隔面优选地在两个直接相邻的位置或场所之间延伸，在该处待处理的工件例如由于周期式运输至少暂时停留。
68.在构造为周期式运输装置的运输装置的一个周期之内优选地将工件相应地从布置在腔区域之一的周期式场所(位置、场所)运输至接下来的、布置在其他的腔区域中的周期式场所(位置、场所)。
69.在本发明的设计方案中可以规定，一个或多个或所有引导元件的下侧至少局部地或至少大致与待借助运输装置运输的工件的运输轮廓互补地构造。
70.尤其地，一个或多个或所有引导元件的下侧至少局部和/或至少大致构造为与在沿着运输方向运输工件时被工件经过的腔区域的上侧互补的。
71.分隔装置的供应装置、尤其是一个或多个或所有引导元件优选地与工件轮廓匹配地构造。
72.例如当处理设备用于处理车辆车身时可以规定，一个或多个或所有引导元件的下侧具有沿垂直方向布置在较上方的区域，其仿形车辆车身的车顶区域，而一个或多个或所有引导元件的下侧的沿垂直方向布置在较下方的区域仿形前罩区域。此外，可以设有一个或多个或所有引导元件的下侧的斜向于垂直方向取向的、将布置在较上方的区域和布置在较下方的区域彼此连接的中间区域，其仿形车辆车身的挡风玻璃区域。
73.在本发明的设计方案中规定了，处理设备包括多个处理腔模块。
74.优选地，每个处理腔模块包围处理腔区段和/或构成周期式运输装置的周期式场所。
75.分隔装置例如布置在两个处理腔模块之间或集成到两个处理腔模块之间。
76.一个或两个与分隔装置邻接的处理腔模块优选地不具有用于循环空气装置的抽吸部。由此优选地可以以有利于分隔流体流的方式优化流动引导部。
77.尤其在最小化循环空气流的减弱分隔效果的横向流动的情况下，尤其可以沿基本上垂直的方向产生分隔流体帘、例如空气帘。
78.本发明还涉及一种用于借助分隔装置分隔两个腔区域的方法。
79.在这方面，本发明的目的在于，提供一种能够简单地执行并且能够实现有效的流体分隔的方法。
80.根据本发明，该目的通过方法独立权利要求的特征来实现。
81.用于借助分隔装置分隔两个腔区域的方法尤其是用于借助根据本发明的分隔装置分隔两个腔区域的方法。
82.优选地，在用于分隔两个腔区域的方法中，借助供应装置将分隔流体带入到两个
腔区域之间。
83.优选地借助至少两个引导元件引导分隔流体。
84.优选地，至少两个引导元件构造为引导板。
85.有利的可以是，至少两个引导元件至少大致彼此平行地和/或至少大致彼此垂直地布置。
86.根据本发明的、用于分隔两个腔区域的方法尤其适合应用在用于处理工件的方法中。
87.因此，本发明还涉及一种用于处理工件的、尤其用于对被涂层的车辆车身进行干燥的方法。
88.优选地，用于处理工件的方法包括：
89.将工件引导穿过用于分隔两个腔区域的分隔装置；
90.通过将分隔流体流供应到两个腔区域之间、尤其通过执行根据本发明的用于分隔两个腔区域的方法，将腔区域彼此分隔。
91.所描述的方法中的一种或多种方法优选地具有与根据本发明的分隔装置和/或根据本发明的处理设备相关地描述的特征和/或优点中的一个或多个。
92.此外，分隔装置、处理设备和/或所描述的方法中的一种或多种方法优选地具有以下描述的特征和/或优点中的一个或多个。
93.分隔装置例如可以构成任意设备、例如处理设备的进入闸门/入口闸门或离开闸门/出口闸门。
94.此外，分隔装置可以在处理设备之内或在两个处理设备之间形成中间闸门。
95.优选地，借助分隔装置阻止或至少最小化流动循环的形成。优选地至少大部分通过借助供应装置产生的分隔流体帘实现了分隔装置的分隔作用。
96.优选地经由例如漏斗形的嘴口区段(其尤其布置在顶部区域中、例如顶壁处)，将分隔流体供应至一个或多个或所有引导元件、尤其是两个引导元件之间的区域中。
97.例如构成在两个引导元件之间的引导通道经由嘴口区段优选地与压力腔流体连接，该压力腔例如构成在位于一个或两个腔区域之上的压力腔盒中。
98.这种压力腔盒例如可以配设有一个或多个过滤元件和/或一个或多个鼓风机，以便在分隔流体被供应到两个腔区域之间之前净化和/或驱动分隔流体。
99.嘴口区段优选地至少大致延伸过至少两个引导元件和/或穿通开口的总宽度。
100.优选地，分隔流体的温度高于一个或两个腔区域中的流体的温度。
101.分隔装置例如将两个腔区域彼此分隔，在这两个腔区域中存在彼此不同的温度、尤其是平均气体温度和/或平均空间温度。
102.在设计方案中可以规定，沿着或逆着运输方向在较冷的腔区域之后是分隔装置。还可以规定，沿着或逆着运输方向在分隔装置之后是较热的腔区域。
103.表述“较冷的腔区域”和“较暖的腔区域”在此相互指代，也就是说，较冷的腔区域中的温度低于较暖的腔区域中的温度。
104.尤其地，为了至少部分地补偿来自较冷的腔区域的较冷的气体到分隔流体中和/或到较热的腔区域中的混入，可以规定，以与较热的腔区域中的温度相比和/或与较冷的腔区域中的温度相比提高的温度供应分隔流体。
105.对此替选地可以规定，以与较热的腔区域中的温度相比和/或与较冷的腔区域中的温度相比降低的温度供应分隔流体。由此，如果较热的气体从较热的腔区域流入较冷的腔区域中，则尤其可以避免较冷的腔区域的过热。
106.有利的可以是，至少一个封堵元件布置在较冷的腔区域中。
107.此外有利的可以是，至少一个排出口、尤其是至少一个抽吸狭槽布置在较热的腔区域中。
108.有利的可以是，分隔流体的温度尤其是在分隔流体流入两个腔区域之间之前和/或期间处于较热的腔区域中的温度、尤其是平均空间温度和/或平均气体温度与较冷的腔区域中的温度、尤其是平均空间温度和/或平均气体温度之间。
109.尤其有利的可以是，分隔装置将两个腔区域彼此分隔，在该两个腔区域中存在彼此不同的温度，其中能够借助供应装置以下述温度供应分隔流体，该温度处于两个腔区域中的较暖的腔区域中的温度与两个腔区域中的较冷的腔区域中的温度之间。
110.尤其地，为了改变分隔流体的温度可以规定，能将进气流、例如至少在温度方面未调节的气流、例如新鲜空气流供应至分隔流体，尤其能在上游和/或在供应装置中混入。进气流例如是被引导经过或能够被引导经过新鲜空气热交换器的旁路流。
111.有利的可以是，分隔流体作为热的分隔流体被提供并且然后被分配到至少两个不同的分隔装置上，其中在分隔装置之一中、尤其是在分隔装置中的恰好一个分隔装置中通过可选地在供应装置之内和/或在至少两个引导元件之间混入流体、优选进气流来冷却分隔流体。
112.在其中供应借助进气流冷却的分隔流体的分隔装置例如是进入闸门/入口闸门、中间闸门或离开闸门/出口闸门。
113.在本发明的设计方案中可以规定，借助一个或多个与分隔装置直接相邻地布置的进入口对准一个或多个腔区域的气流、例如循环空气流在其质量流量和/或其体积流量方面、在气流的流速和/或其温度方面与通过另外的进入口、可选地所有另外的进入口对准的气流有所偏差。为此例如可以设置控制器，该控制器被构造和配置用于执行一个或多个方法特征和/或例如在使用阀装置、盖装置和/或调节装置的情况下借助该控制器能够控制和/或调节偏差。为此可以简单地设置一个或多个可机械地和/或手动地或自动地操纵的节流板。
114.有利的可以是，一个或多个与分隔装置直接相邻地布置的进入口包括至少一个阀装置和/或盖装置和/或调节装置，或者至少一个阀装置和/或盖装置和/或调节装置配属于一个或多个与分隔装置直接相邻地布置的进入口。
115.此外有利的可以是，在与分隔装置直接相邻地布置的腔区域、尤其是处理腔区段中的所有进入口包括至少一个阀装置和/或盖装置和/或调节装置，或者至少一个阀装置和/或盖装置和/或调节装置配属于在与分隔装置直接相邻地布置的腔区域、尤其是处理腔区段中的所有进入口。
116.优选地，借助至少一个阀装置和/或盖装置和/或调节装置，在流速和/或冲量方面减少分隔装置的直接周围环境中的通过一个或多个进入口供应的气流，以便尽可能轻微地影响在分隔装置中存在的分隔流体流。
117.借助一个或多个盖装置和/或阀装置和/或调节装置尤其可以直接影响进入口的
开口横截面和/或过滤装置处的入流横截面。
118.例如，针对更靠近分隔装置布置的进入口可以设置减小的质量流量和/或体积流量。
119.尤其是为了实现分隔装置的分隔面中尽可能均匀的空气流动，将供应装置优选地构造为自调整的。尤其通过引导元件的工件轮廓匹配得出尤其是参照无引导的流动路径在引导元件的宽度上变化的流动路径，其中具有在引导元件之间的较短的引导的流动路径的区段导致整体较小的流动阻力，从而尽管分隔流体的无引导的路程的沿着分隔面的长度不同也可以获得优选地至少大致均匀的分隔流体流。由此尤其可以产生均匀的分隔流体帘。
附图说明
120.以下对实施例的说明和图示描述了本发明的其他优选特征和/或优点。
121.在附图中：
122.图1示出了处理设备的两个处理腔模块的示意性透视图，在该处理腔模块之间布置有分隔装置；
123.图2示出了图1的处理腔模块连同分隔装置的另一示意性透视图；
124.图3示出了图1的处理腔模块连同分隔装置的第三示意性透视图；
125.图4示出了沿着处理设备的运输装置的运输方向观察的图1的处理腔模块的示意性垂直横截面；
126.图5示出了图1的分隔装置的示意性垂直横截面；
127.图6示出了图1的处理腔模块和分隔装置的示意性垂直纵截面；
128.图7示出了图6的区域vii的放大图；和
129.图8示出了图6的区域viii的放大图。
具体实施方式
130.相同的或功能等效的元件在所有附图中配设有相同的附图标记。
131.图1至图8所示的整体用100标示的处理设备例如用于处理工件102。
132.工件102尤其是借助处理设备100进行干燥的车辆车身。
133.尤其地，处理设备100是涂漆设备和/或干燥设备。
134.处理设备100尤其包括包围处理腔106的壳体104。
135.处理腔106尤其包括多个处理腔区段108。
136.优选地，处理设备100包括多个处理腔模块110，其中每个处理腔模块110优选地包围处理腔106的处理腔区段108。
137.处理设备100优选地还包括运输装置112，借助其能将工件102沿着运输方向114引导穿过处理腔106(尤其参见图5和图6)。
138.一个或多个处理腔模块110优选地包括循环空气引导部116，尤其分别包括循环空气引导部116。
139.每个循环空气引导部116优选地包括用于将循环空气流供应至相应的处理腔区段108的一个或多个进入口118。
140.可选地，每个循环空气引导部116还可以具有一个或多个排出口，以便能够从相应
的处理腔区段108导出、尤其是抽吸循环空气。
141.借助至少一个循环空气引导部116尤其能够在相应的处理腔区段108内产生基本上横向于、例如至少大致垂直于运输方向114取向的循环空气流。
142.在处理设备100的图1至图8所示的实施方式中，优选地设有分隔装置120，借助其能将两个处理腔模块110的两个处理腔区段108优选地以流体有效的方式彼此分隔。
143.尤其可以借助分隔装置120优选地防止或至少减少在两个处理腔区段108之间的流体交换、尤其是空气交换。
144.为此，分隔装置120优选地布置在两个处理腔模块110之间或布置在其他的处理腔模块110的朝向处理腔模块110的端部区域中或集成在其中。
145.分隔装置120尤其包括用于供应分隔流体流、例如空气流的供应装置122。
146.供应装置122为此尤其包括用于驱动分隔流体流的鼓风机124以及可选地用于对分隔流体流进行加热、冷却、除湿和/或加湿的一个或多个调节单元和/或用于从分隔流体流中去除杂质的一个或多个过滤元件126。
147.分隔流体流尤其是例如来自分隔装置120和/或处理设备100的周围环境128的空气流。
148.分隔流体流优选地借助吸入部130吸入并且经由供应装置122的压力腔盒132被供应至供应装置122的一个或多个引导元件134。
149.如尤其从图6和图7中获悉，压力腔盒132借助嘴口区段136以流体有效的方式与构造在两个引导元件134之间的引导通道138连接，使得分隔流体能够从压力腔盒132被带入到两个引导元件134之间。
150.嘴口区段136在横截面和/或纵截面中优选地基本上v形地布置和/或构造。
151.借助嘴口区段136尤其能够将分隔流体均匀地供应至引导通道138。
152.引导元件134优选地构造为引导板140。
153.优选地，引导元件134基本上彼此平行地布置和/或从顶部区域142起至少大致平行于重力方向144向下延伸。
154.尤其可以规定，引导元件134布置在处理设备100的一个或两个处理腔模块110的顶壁146处、尤其安固在该处。
155.引导元件134尤其刚性地和/或不可移动地布置和/或构造。
156.如尤其从图1和图4中得知，借助引导元件134构成供应装置122的供应开口148。
157.供应开口148尤其是供应狭槽150，其尤其布置和/或构造在引导元件134的下侧152处。
158.在此，下侧152尤其是引导元件134的背离顶部区域142的端部。
159.尤其地，引导元件134的下侧152是引导元件134的关于重力方向144的下端部。
160.如尤其从图4中得知，供应开口148优选地至少大致在穿通开口154的整个宽度b上延伸，该穿通开口将待借助分隔装置120彼此分隔的腔区域156、尤其是处理腔区段108彼此连接。
161.引导元件134在此优选地具有下述形状，其至少大致与待处理的工件102的外轮廓互补地构造。
162.尤其地，引导元件134的下侧152至少大致与待运输穿过分隔装置120的工件102的
外轮廓的上侧互补地匹配地构造。
163.因此，引导元件134尤其可以构成隔板，其至少大致地将穿通开口154减小到用于将工件102运输穿过分隔装置120所需的形状和/或横截面。
164.借助供应装置122尤其可以将分隔流体流沿着重力方向144由上向下带入到两个腔区域156、尤其是两个处理腔区段108之间。
165.如尤其从图6和图8中得知，在分隔装置120的与顶部区域142对置的底部区域158中优选地不布置和/或不构造直接由供应装置122流入的导出开口。
166.更确切地说，优选地设置由封堵装置164的一个或多个封堵元件162和一个或多个排出口160形成的组合。
167.尤其包括所述一个或多个排出口160的导出装置166优选地不布置在引导元件134的直接的延长部中，而是更确切地说沿着运输方向114错开地布置。
168.尤其地，两个排出口160构造为连续的和/或中断的抽吸狭槽168，其尤其在底部区域158中至少大致平行于分隔装置120的分隔面170延伸。
169.分隔面170尤其是引导元件134的镜面和/或引导通道138的中心面。
170.尤其地，分隔面170至少大致垂直于运输方向114构造。
171.分隔面170还可以是布置在两个处理腔模块110之间的平面和/或在两个处理腔模块110之间延伸的平面。
172.优选地，导出装置166的所有排出口160布置在分隔面170的唯一一侧上。
173.在分隔面170的与该侧对置的另一侧上，优选地布置有封堵装置164的一个或多个封堵元件162。
174.如尤其从图6中获悉，封堵元件162从底部区域158、尤其是底壁172起向上延伸，尤其是逆着重力方向144向上延伸。
175.一个或多个封堵元件162尤其能够实现阻挡作用，使得借助引导元件134沿着重力方向144从上向下引导的、在底部区域158中被转向的分隔流体至少在平行于运输方向114的方向上被封堵。在处理设备100的图1至图8中所示的实施方式中，借助一个或多个封堵元件162尤其使得分隔流体在底部区域158中逆着运输方向114扩散并且由此例如不形成流动循环。
176.借助布置在分隔面170的与一个或多个封堵元件162对置的一侧上的一个或多个排出口160，优选地同样可以在不形成流动循环的情况下抽吸分隔流体。
177.由此，借助分隔流体产生的分隔流体帘、尤其是空气帘优选地沿着运输方向114具有特别小的尺寸，使得分隔装置120总体上能够占用小的结构空间。
178.如尤其从图1、图2和图5中获悉，优选地设置有多个封堵元件162或至少一个或多个中断的封堵元件162，其中运输装置112的一个或多个元件、例如轨道或类似物在一个或多个中断部174之间被引导穿过。
179.此外，尤其关于图6、图7和图8还指出补偿装置176的选择。
180.补偿装置176尤其可以补偿处理腔模块110的沿着运输方向114的由温度引起的长度变化。
181.为此，补偿装置176优选地包括一个或多个补偿元件178，其例如构造为在两个处理腔模块110之间和/或在处理腔模块110与分隔装置120之间的拱形的、弓形的和/或曲折
状的连接元件。
182.此外，关于供应装置122还可确定，尤其是压力腔盒132、鼓风机124、一个或多个调节单元和/或一个或多个过滤元件126可以布置在顶部区域142中、尤其是在顶壁146上。
183.一个或多个过滤元件126、一个或多个调节单元和/或压力腔盒132的内部空间优选地可借助接近元件180、例如接近盖182从处理腔区段108接近。由此可以实现对供应装置122、尤其是对一个或多个过滤元件126的简单且成本经济的维护。
184.如在图6中所示，在处理腔106中优选地同时布置有多个工件102。
185.运输装置112例如是连续的运输装置112。
186.相反，优选地设置周期式运输装置作为运输装置112。
187.在这种情况下，借助运输装置112尤其可以在周期式运行中将工件102从周期式场所184运输到接下来的周期式场所184。
188.分隔装置120和运输装置112在这种情况下尤其布置和构造成，使得分隔装置120布置在两个周期式场所184之间。
189.尤其地，分隔面170在两个周期式场所184之间延伸，以便在工件102暂时停止期间可以产生尽可能不中断的分隔流体帘、尤其是空气帘。由此可以实现两个腔区域156、尤其是处理腔区段108的流体有效的分隔。
190.通过使用引导元件134、封堵装置164和/或导出装置166，分隔装置120可以优选地特别紧凑地构造，从而可以尽可能最小化在周期式场所184之间的由分隔装置120引起的空间损失。