一种插板阀装置及真空镀膜设备的制作方法

1.本发明涉及插板阀技术领域，尤其涉及一种插板阀装置及真空镀膜设备。


背景技术：

2.随着人们环境保护意识的增强，工件表面涂层打底的真空镀膜工艺被认为是取代传动水电镀最有应用前景的外观装饰或功能性镀膜技术之一。目前，真空镀膜技术广泛用于电子产品、光学元件、传感器等高科技技术领域，研究人员根据各生产链条的特点开发了各式各样适用于不同技术要求的真空镀膜设备。
3.在真空镀膜设备中，一般采用阀门进行密封，由于真空镀膜设备在量产时对阀门的响应速度有一定的要求，且对密封性要求较高，因此往往采用插板阀进行密封。由于大型真空镀膜设备要求插板阀装置的密封盖板的长度较长，传统的插板阀装置若加长密封盖板以满足大型真空镀膜设备的要求，则会容易出现密封盖板平行度变差而导致密封性能降低的问题。而且，真空镀膜设备的腔体的开口处空间较小时，密封件沿插板阀装置的长度方向运动的插板阀装置较难安装。


技术实现要素：

4.根据本发明的一个方面，本发明提供一种插板阀装置，在增加密封盖板的长度的同时能够保证密封性能，且能够适用于真空腔的开口处空间较小的设备。
5.为达上述目的，本发明采用以下技术方案：
6.一种插板阀装置，用于真空腔的开口的密封，其特征在于，包括：
7.支架；
8.若干驱动件，若干上述驱动件的固定端均与上述支架固定连接，且若干上述驱动件沿上述支架的长度方向间隔设置；
9.传动机构，若干上述驱动件的输出端均与上述传动机构传动连接，且若干上述驱动件能够驱动上述传动机构沿z轴方向移动；
10.密封件，上述密封件与上述传动机构传动连接，当上述传动机构沿上述z轴方向移动时，能够驱动上述密封件沿y轴方向移动，以使上述密封件能够与上述真空腔的开口密封连接。
11.可选地，上述传动机构包括传动架和转动臂，上述传动架与上述驱动件的输出端传动连接并能被驱动沿上述z轴方向移动，上述转动臂一端与上述传动架转动连接，另一端与上述密封件转动连接，上述密封件被限位只能沿y轴方向移动。
12.可选地，上述传动架包括垂直连接的横梁和纵梁，上述横梁与若干上述驱动件的输出端传动连接，上述纵梁与上述转动臂转动连接。
13.可选地，上述纵梁设有多个，多个上述纵梁沿上述横梁的长度方向间隔设置。
14.可选地，还包括导向件，上述导向件的一端与上述支架固定连接，另一端与上述传动机构滑动连接。
15.可选地，上述导向件设有多个，多个上述导向件沿上述支架的长度方向间隔设置。
16.可选地，上述密封件包括密封盖板和加强撑板，上述密封盖板和上述加强撑板呈t型结构，上述密封盖板能够与上述真空腔的开口密封连接。
17.可选地，还包括若干平整度调节组件，若干上述平整度调节组件沿上述密封盖板的长度方向间隔设置，上述平整度调节组件的一端与上述传动机构相连，另一端与上述密封盖板相连，上述平整度调节组件能够调节上述密封盖板的平整度。
18.可选地，上述平整度调节组件包括本体、第一调节螺栓和第二调节螺栓，上述本体的一端与上述传动机构相连，上述第一调节螺栓穿设于上述本体的另一端与上述密封盖板螺纹连接，上述第二调节螺栓与上述本体的另一端螺纹连接，且能够抵紧于上述密封盖板，当改变上述第二调节螺栓的旋拧长度时，能够改变上述密封盖板与上述本体之间的距离。
19.根据本发明的另一个方面，本发明提供一种真空镀膜设备，密封性能较好。
20.为达上述目的，本发明采用以下技术方案：
21.一种真空镀膜设备，包括具有开口的真空腔，还包括上述的插板阀装置，上述插板阀装置与上述开口密封连接。
22.本发明的有益效果为：
23.通过设置若干驱动件同时驱动传动机构，并设置当传动机构沿z轴方向运动时，带动密封件沿y轴方向移动，密封件沿y轴方向移动，能够实现对真空腔的开口的密封，由于密封件的长度需要设置的比较长以适用于大型真空镀膜设备，因此设置若干驱动件驱动传动机构，再通过传动机构带动密封件沿y轴方向移动，能够使密封件各处受力更加均匀，能够在增加密封件长度的同时保证上述插板阀装置的密封性能。而且，通过设置驱动件沿z轴移动带动密封件沿y轴移动，对于真空腔的开口处空间较小的情况，只需将密封件相对真空腔的开口设置，将驱动件等其他结构设置在真空腔上方即可，有利于提高上述插板阀装置的普适性。
24.通过设置传动机构包括若干与密封件相连的纵梁，能够使密封件各处受力更加均匀，有利于提高上述插板阀的密封性能。
25.由于大型真空镀膜设备要求密封件的长度比较长，因此容易出现密封件局部变形，影响密封效果的问题，本发明提出的插板阀装置通过设置平整度调节组件，能够对密封盖板的平行度进行调整，减弱密封盖板的变形量，保证密封性能。
附图说明
26.图1为本发明提供的插板阀装置的结构示意图一；
27.图2为本发明提供的插板阀装置的结构示意图二；
28.图3为图2在b处的局部放大图；
29.图4为图2在a处的局部放大图；
30.图5为图2在c处的局部放大图。
31.图中：
32.100、支架；200、驱动件；300、传动机构；310、横梁；320、纵梁；330、滑块；400、密封件；410、密封盖板；500、导向件；510、滑轨；600、转动臂；610、弹簧；700、平整度调节组件；710、第一调节螺栓；720、第二调节螺栓。
具体实施方式
33.下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
34.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置，而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
35.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
36.下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
37.本发明提供一种插板阀装置，在增加密封盖板的长度的同时能够保证密封性能，且能够适用于真空腔的开口处空间较小的设备。
38.具体地，如图1和图2所示，该插板阀装置包括支架100、传动机构300、密封件400和若干驱动件200，其中，若干驱动件200的固定端都与支架100固定连接，可以将若干驱动件200沿支架100的长度方向间隔设置，优选地，若干驱动件200可以沿支架100的长度方向等间隔设置，驱动件200的输出端均与传动机构300传动连接，用于驱动传动机构300沿z轴方向移动，传动机构300的另一端与密封件400传动连接，当传动机构300沿z轴运动时，能够驱动密封件400沿y轴移动，密封件400沿y轴移动能够使密封件400与真空腔的开口形成密封结构，实现密封。在上述插板阀装置中，传动机构300起到桥梁作用，将驱动件200沿z轴的作用力转换为驱动密封件400沿y轴移动的作用力。上述插板阀装置在使用过程中，密封件400与真空腔的开口的壳体相连，沿z轴方向固定不动，只能沿y轴方向移动。
39.由于本发明提供的插板阀装置密封件400的长度较长，因此，设置若干驱动件200来驱动传动机构300沿z轴移动，进而实现驱动密封件400沿y轴移动，能够提高密封件400受力的均匀性，进而保证密封件400与真空腔的开口之间的密封性。由于密封件400设置在真空腔的壳体上，因此能够通过真空腔的壳体实现对密封件400沿z轴方向限位，保证密封件400沿y轴方向移动的可靠性。通过设置驱动件200与密封件400的运动方向不同，能够适用于真空腔开口处空间较小的设备，适用范围更广。
40.进一步地，在一个实施例中，密封件400包括密封盖板410和加强撑板，密封盖板
410和加强撑板可以呈t型结构设置，其中，密封盖板410用于与真空腔的开口密封连接，实现对真空腔的开口的密封。将密封盖板410和加强撑板设置成t型结构，能够使加强撑板在密封盖板410未与真空腔的开口密封连接的一侧为密封盖板410提供支撑，可以有效防止密封盖板410变形，有利于提高密封盖板410的工作可靠性。
41.优选地，在一个实施例中，可以在密封盖板410与真空腔的开口之间设置密封单元，用于提高密封盖板410与真空腔的开口之间的密封性能。密封单元可以为密封圈，密封圈可以采用橡胶制成，橡胶材料具有较好的弹性变形能力，能够通过自身形变紧贴密封盖板410的表面以及真空腔的开口的外缘，有利于提高密封盖板410与真空腔的开口之间的密封性能。
42.可选地，可以在密封盖板410与真空腔的开口密封连接的一面开设一圈凹槽，将密封圈设置在凹槽内，无需粘接即可固定密封圈，在简化密封圈的装配工序的同时，便于密封圈的拆卸以及后续的维修保养。
43.作为优选的技术方案，密封圈与密封盖板410上的凹槽安装时，可以将部分密封圈设置在凹槽的外部，由于密封盖板410沿y轴运动靠近真空腔的开口时具有一定的速度，因此会对真空腔的开口的外缘施加一定的压力，将密封圈部分设置在凹槽外，能够使密封圈在密封盖板410对真空腔的开口的外缘施加压力时产生形变，进而更好地贴紧于密封盖板410与真空腔的开口的外缘，有利于真空腔的开口与密封盖板410之间的彻底密封，保证密封盖板410工作的可靠性。
44.进一步地，如图3所示，传动机构300可以包括传动架和转动臂600，若干驱动装置200的输出端均与传动架传动连接，以驱动传动架沿z轴方向移动，转动臂600的一端与传动架转动连接，另一端与密封件400转动连接。由于密封件400安装在真空腔的壳体上，因此，真空腔的壳体对密封件400起到沿z轴方向限位的效果。在本实施例中，真空腔的壳体通过与密封件400抵接实现限位，密封件400的运动过程可以看成是沿真空腔的壳体表面滑动。
45.进一步地，继续参见图1和图2，传动架可以包括横梁310和纵梁320，其中，横梁310和纵梁320垂直设置，在本实施例中，横梁310沿x轴方向设置，纵梁320沿z轴方向设置，驱动件200的输出端与横梁310传动连接，纵梁320与转动臂600转动连接。通过设置横梁310与所有驱动件200的输出端相连，能够使横梁310各处受力均匀，进而使纵梁320受力均匀，避免密封件400变形，有利于保证密封件400的密封性能。在其他实施例中，传动机构300也可以为其他结构，根据实际需要设置即可。
46.在本实施例中，当驱动件200驱动纵梁320沿z轴方向向下运动时，会使转动臂600由倾斜状态变为水平状态，而由于密封件400沿z轴方向限位，因此在转动臂600由倾斜状态变为水平状态时会使传动机构300与密封件400之间的距离变大，实现推动密封件400沿y轴移动的目的，进而实现对真空腔的开口的密封。
47.优选地，在一个实施例中，可以在纵梁320的两侧均设置转动臂600，进而提高传动机构300与密封件400之间的连接强度，保证密封件400工作的可靠性，在其他实施例中，还可以在一个纵梁320上连接四个转动臂600，在同一个纵梁320的同一侧连接两个转动臂600，且位于纵梁320的同一侧的两个转动臂600可以位于加强撑板的两侧，有利于保证密封件400工作的可靠性。
48.作为优选的技术方案，继续参见图3，当驱动件200的输出端位于初始位置时，密封
件400靠自身重力下垂与真空腔的壳体相接触，但是考虑到可能会因转动臂600与密封件400之间的摩擦力而导致密封件400无法与真空腔的壳体相接触，这会导致传动机构300沿z轴方向移动时，密封件400先随传动机构300沿z轴方向移动一段距离与真空腔的壳体接触后，再沿y轴移动，直至与真空腔的开口密封连接，这会使密封件400在沿z轴移动时与真空腔的壳体硬接触，容易损坏密封件400，降低密封件400的使用寿命，同时也会对真空腔的壳体造成一定的损坏，降低真空腔的使用寿命。当驱动装置的输出端位于终止位置，并向初始位置移动时，可能会由于转动臂600与密封件400之间的摩擦力而带动密封件400一起沿z轴移动，无法实现对密封件400沿z轴方向的限位。因此，可以在转动臂600与传动机构300之间设置一个弹簧610，在本实施例中，弹簧610的一端与转动臂600相连，另一端与纵梁320相连，能够保证密封件400始终与真空腔的壳体相贴合，进而保证密封件400沿z轴方向限位，有利于提高密封件400的使用寿命。
49.优选地，可以设置多个纵梁320，多个纵梁320沿横梁310的长度方向间隔设置，便于使密封件400各处受力均匀。可选地，可以设置纵梁320沿横梁310的长度方向等间隔设置，相邻的两个纵梁320之间的距离根据纵梁320的个数以及密封件400的长度设置即可，有利于保证密封件400各处受力均匀，防止密封件400因受力不均而变形，有利于保证密封件400的密封性能不受影响。
50.进一步地，还可以设置一个导向件500，使导向件500的一端与支架100固定连接，另一端与传动机构300滑动连接。一方面，导向件500能够提高驱动件200与传动机构300之间的连接强度，保证传动机构300工作的可靠性；另一方面，导向件500能够对传动机构300沿z轴的移动起到辅助的作用，使传动机构300运动更加平稳、顺畅。
51.优选地，导向件500可以设置多个，可以将多个导向件500沿支架100的长度方向间隔设置，更为优选地，导向件500可以沿支架100的长度方向等间隔设置，以使传动机构300各处受力均匀，有利于保证传动机构300工作的可靠性。
52.可选地，如图4所示，在一个实施例中，可以在导向件500上设置滑轨510，相应地，在传动机构300上设置滑块330，滑块330与滑轨510滑动连接，进而保证传动机构300运动平稳、顺畅。滑块330为标准件，便于滑块330与滑轨510的安装，提高安装效率。
53.进一步地，如图5所示，由于密封件400的长度较长，因此密封件400可能会因受力不均而出现局部变形的现象，影响密封件400的密封性能。因此，可以设置若干平整度调节组件700，并使平整度调节组件700沿密封盖板410的长度方向间隔设置，具体地，平整度调节组件700的一端与传动机构300连接，另一端与密封盖板410相连，且平整度调节组件700能够调节密封盖板410的平整度，从而保证密封盖板410工作的可靠性。
54.进一步地，平整度调节组件700可以包括本体、第一调节螺栓710和第二调节螺栓720，其中，本体的一端与传动机构300相连，第一调节螺栓710穿设于本体的另一端并与密封盖板410螺纹连接，实现本体与密封盖板410之间的连接，第二调节螺栓720穿设于平本体的另一端且与平整本体的另一端螺纹连接，第二调节螺栓720的能够抵紧于密封盖板410。通过设置第二调节螺栓720的旋拧长度，能够控制密封盖板410与本体之间的距离，进而实现对密封盖板410的平整度的调整。
55.可选地，在一个实施例中，本体可以为工型结构，工型结构的一个水平端可以与转动臂600转动连接，另一个水平端与密封盖板410相连，工型结构既能满足本体的功能需求，
又便于加工，有利于节约成本。在其他实施例中，平整度调节组件700也可以为其他结构，根据实际需要设置即可。
56.进一步地，为了便于上述插板阀装置的装配，可以在支架100上设置吊装结构，通过吊装结构与吊装设备相连，便于上述插板阀的搬运。吊装结构可以设有多个，根据实际需要设置，设置多个吊装结构有利于吊装平稳。在一个实施例中，吊装结构可以为吊装环。
57.进一步地，驱动件200可以为气缸、液压缸或直线电机等能够输出直线运动的机构，可以根据实际需要设置。在本实施例中，驱动件200为气缸。
58.具体地，在本实施例中，密封件400的长度为2.6m，比传统的插板阀装置长度更长，驱动件200设有4个，导向件500设有5个，纵梁320设有6个，能够保证密封盖板410受力均匀，以满足密封要求。
59.为了便于理解，现对上述插板阀装置的工作过程进行简单介绍：
60.首先，驱动件200的输出端驱动传动机构300沿z轴方向向下移动，在传动机构300向下运动的过程中，驱动密封件400沿y轴移动，当转动臂600处于水平状态时，驱动件200停止驱动，此时密封盖板410与真空腔的开口密封连接，实现对真空腔的开口的密封。当无需密封时，驱动件200驱动输出端向初始位置移动，即沿z轴方向向上移动，带动传动机构300沿z轴向上移动，此时密封件400在自身重力和弹簧610的作用下沿y轴移动，当驱动件200的输出端回到初始位置时，密封件400回到初始位置，打开真空腔的开口。
61.本发明通过设置若干驱动件200对传动机构300进行驱动，能够提高传动机构300的受力均匀性，进而提高密封件400受力的均匀性，有利于密封件400运动平稳，避免密封件400由于受力不均导致密封件400变形而影响密封性能，从而在增加密封盖板410长度的同时，保证密封件400密封的可靠性。通过设置传动机构300使驱动件200的运动方向与密封件400的运动方向不同，有利于用于真空腔的开口处空间较小的设备，提高上述插板阀装置的普适性。通过设置密封件400包括密封盖板410和加强撑板，并使密封盖板410与加强撑板呈t型结构，能够减弱密封盖板410的变形量，有利于保证密封效果。通过设置平整度调节组件700对密封盖板410的平行度进行调整，能够降低密封盖板410变形的风险，在增加密封盖板410长度的同时，保证密封盖板410的密封性能。
62.本发明还提供一种真空镀膜设备，该真空镀膜设备包括具有开口的真空腔和上述的插板阀装置，上述插板阀装置与真空腔的开口相连，具有较好的密封性能。
63.显然，本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。