一种插板阀装置及真空镀膜设备的制作方法

技术特征：
1.一种插板阀装置，用于真空腔的开口的密封，其特征在于，包括：支架(100)；若干驱动件(200)，若干所述驱动件(200)的固定端均与所述支架(100)固定连接，且若干所述驱动件(200)沿所述支架(100)的长度方向间隔设置；传动机构(300)，若干所述驱动件(200)的输出端均与所述传动机构(300)传动连接，且若干所述驱动件(200)能够驱动所述传动机构(300)的输入端沿z轴方向移动；密封件(400)，所述密封件(400)与所述传动机构(300)的输出端传动连接，当所述传动机构(300)的输入端沿所述z轴方向移动时，所述传动机构(300)的输出端能够驱动所述密封件(400)沿y轴方向移动，以使所述密封件(400)能够与所述真空腔的开口密封连接。2.根据权利要求1所述的插板阀装置，其特征在于，所述传动机构(300)包括传动架和转动臂(600)，所述传动架与所述驱动件(200)的输出端传动连接并能被驱动沿所述z轴方向移动，所述转动臂(600)一端与所述传动架转动连接，另一端与所述密封件(400)转动连接，所述密封件(400)被限位只能沿y轴方向移动。3.根据权利要求2所述的插板阀装置，其特征在于，所述传动架包括垂直连接的横梁(310)和纵梁(320)，所述横梁(310)与若干所述驱动件(200)的输出端传动连接，所述纵梁(320)与所述转动臂(600)转动连接。4.根据权利要求3所述的插板阀装置，其特征在于，所述纵梁(320)设有多个，多个所述纵梁(320)沿所述横梁(310)的长度方向间隔设置。5.根据权利要求1-4任一项所述的插板阀装置，其特征在于，还包括导向件(500)，所述导向件(500)的一端与所述支架(100)固定连接，另一端与所述传动机构(300)滑动连接。6.根据权利要求5所述的插板阀装置，其特征在于，所述导向件(500)设有多个，多个所述导向件(500)沿所述支架(100)的长度方向间隔设置。7.根据权利要求1-4任一项所述的插板阀装置，其特征在于，所述密封件(400)包括密封盖板(410)和加强撑板，所述密封盖板(410)与所述加强撑板呈t型结构，所述密封盖板(410)能够与所述真空腔的开口密封连接。8.根据权利要求7所述的插板阀装置，其特征在于，还包括若干平整度调节组件(700)，若干所述平整度调节组件(700)沿所述密封盖板(410)的长度方向间隔设置，所述平整度调节组件(700)的一端与所述传动机构(300)相接，另一端与所述密封盖板(410)相连，所述平整度调节组件(700)能够调节所述密封盖板(410)的平整度。9.根据权利要求8所述的插板阀装置，其特征在于，所述平整度调节组件(700)包括本体、第一调节螺栓(710)和第二调节螺栓(720)，所述本体的一端与所述传动机构(300)相连，所述第一调节螺栓(710)穿设于所述本体的另一端与所述密封盖板(410)螺纹连接，所述第二调节螺栓(720)与所述本体的另一端螺纹连接，且能够抵紧于所述密封盖板(410)，当改变所述第二调节螺栓(720)的旋拧长度时，能够改变所述密封盖板(410)与所述本体之间的距离。10.一种真空镀膜设备，包括具有开口的真空腔，其特征在于，还包括如权利要求1-9任一项所述的插板阀装置，所述插板阀装置与所述开口密封连接。

技术总结
本发明涉及插板阀技术领域，具体公开了一种插板阀装置及真空镀膜设备，该插板阀装置包括支架、传动机构、密封件和若干驱动件，其中，若干驱动件的固定端均与支架固定连接，且若干驱动件沿支架的长度方向间隔设置，若干驱动件的输出端均与传动机构传动连接，且若干驱动件能够驱动传动机构沿Z轴方向移动，密封件与传动机构传动连接，当传动机构沿Z轴方向移动时，能够驱动密封件沿Y轴方向移动，以使密封件能够与真空腔的开口密封连接，在增加密封盖板的长度的同时能够保证密封性能。长度的同时能够保证密封性能。长度的同时能够保证密封性能。


技术研发人员：李伟 胡宇航
受保护的技术使用者：昆山晟成光电科技有限公司
技术研发日：2022.02.14
技术公布日：2022/4/12