湿度控制系统和防雾化设备的制作方法

1.本实用新型涉及显示面板制造技术领域，具体涉及一种湿度控制系统和防雾化设备。


背景技术：

2.在生产显示面板的曝光工艺中，需要防雾化设备向曝光机供给恒温恒湿的空气。防雾化设备包括湿度控制装置和送风装置，湿度控制装置用于调节送风装置的空气湿度，以使防雾化设备向曝光机供给恒温恒湿的空气。
3.其中，现有的湿度控制装置利用电加热管加热的方式对水箱中的水进行加热，从而产生水蒸气。然而，采用电加热管对水加热的方式中，电加热管的加热响应速度慢，并且在不需要调节空气湿度时，电加热管也需要对水箱内的水进行加热保温，从而不断消耗功率；另外，由于电加热管直接与水接触，因此存在电加热管长年运行管壁容易结垢，影响电加热管寿命，且更换电加热管极不方便的问题。


技术实现要素：

4.本实用新型旨在至少解决现有技术中的技术问题之一，提出了一种湿度控制系统，以解决电加热管长年运行管壁容易结垢的问题。
5.第一方面，本实用新型提供一种湿度控制系统，包括：
6.水箱和设置在水箱顶部的红外加热组件,所述水箱用于承载水，所述红外加热组件用于通过红外线加热所述水箱中的水，以产生水蒸气，所述水箱上设置有水蒸气出口，所述水箱内的水受热后产生的水蒸气通过所述水蒸气出口输送至与待加湿空气汇合，以调整所述待加湿空气的湿度；
7.湿度检测器，用于检测所述待加湿空气的湿度；
8.控制器，与所述湿度检测模块、所述红外加热组件电连接，所述控制器用于根据所述湿度检测模块检测到的湿度与目标湿度的差值控制所述红外加热组件的加热功率。
9.可选地，所述控制器包括：湿控表和固态继电器，
10.所述湿控表与所述湿度检测器电连接，用于根据所述湿度检测器检测到的湿度与目标湿度的差值，输出功率控制信号；
11.所述固态继电器与所述湿控表、所述红外加热组件电连接，用于根据所述功率控制信号控制所述红外加热组件的加热功率。
12.可选地，所述水箱内还设置有液位检测器，所述液位检测器件用于检测所述水箱内的液位，并在所述液位未达到第一预设液位时，发出第一控制信号，所述控制器收到所述第一控制信号后控制所述红外加热组件关闭；在所述液位达到第一预设液位时，发出第二控制信号，所述控制器收到所述第二控制信号后控制所述红外加热组件开启。
13.可选地，所述水箱的上部设置有入水口；
14.所述水箱内还设置有液位控制器件，所述液位控制器件设置在所述入水口处，用
于在所述水箱内的液位达到第二预设液位时，封闭所述入水口；所述第二预设液位高于所述第一预设液位。
15.可选地，所述液位控制器件包括浮球阀。
16.可选地，所述水箱的侧壁上还设置有溢流口，所述溢流口的高度高于所述第二预设液位，且低于所述红外加热组件的高度；
17.所述湿度控制系统还包括：进水管、托盘和漏液传感器；
18.所述进水管与所述入水口连通，所述进水管上设置有进水阀，所述进水阀与所述控制器电连接；
19.所述托盘设置在所述水箱底部，用于承接从所述水箱溢流出的水；
20.所述漏液传感器设置在所述托盘上，并与所述控制器电连接，所述漏液传感器用于检测所述托盘上是否存在漏液，并在检测到漏液时，向所述控制器发送漏液信号，所述控制器收到所述漏液信号后，控制所述红外加热组件关闭，并控制所述进水阀关闭。
21.可选地，所述水箱还包括隔热板，所述隔热板设置在所述水箱顶壁靠近所述红外加热组件的一侧。
22.可选地，所述红外加热组件包括红外灯管，所述红外灯管靠近所述水箱顶壁的表面设置有耐热涂层，所述耐热涂层用于将所述红外灯管所发射的光线朝背离所述水箱顶壁的方向反射。
23.可选地，湿度控制系统还包括：排水管，所述水箱底部上还设置有排水口，所述排水管与所述排水口连通，所述排水管上设置有排水阀。
24.第二方面，本实用新型提供一种防雾化设备，包括：蒸汽管道、风道和上述的湿度控制系统，其中，
25.所述蒸汽管道一端与所述蒸汽出口连通，另一端与所述风道连通，所述湿度检测器设置在所述风道内；
26.所述湿度控制系统用于调节所述风道内空气的湿度。
27.本实用新型具有以下有益效果：
28.在本实用新型实施例中，通过控制器控制红外加热组件对水箱内的水进行加热，由于红外加热组件不需要与水接触，因此长年运行的红外加热组件上不会结垢，且红外加热组件的更换也更加方便。另外，红外加热组件能在短时间内产生蒸汽，因此在不需要调节空气湿度时，也就不需要红外加热组件对加湿水箱内的水进行加热保温，从而降低了耗电量，达到了节能减排的效果。
附图说明
29.附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。
30.图1为一种示例性的防雾化设备的结构示意图；
31.图2为本实用新型实施例中提供的一种湿度控制系统的结构示意图；
32.图3为本实用新型实施例中提供的另一种湿度控制系统的结构示意图；
33.图4为本实用新型实施例中提供的一种防雾化设备的结构示意图。
具体实施方式
34.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
35.这里用于描述本实用新型的实施例的术语并非旨在限制和/或限定本实用新型的范围。例如，除非另外定义，本实用新型使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。应该理解的是，本实用新型中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件或者物件涵盖出现在“包括”或者“包含”后面列举的元件或者物件及其等同，并不排除其他元件或者物件。
36.图1为一种示例性的防雾化设备的结构示意图，如图1所示，防雾化设备包括加湿水箱1、电加热管2、液位浮子开关3、控制器4、继电器5、蒸汽管道6、风道7和湿度传感器9。控制器4可以为可编程逻辑控制器(plc)。
37.具体的，电加热管2设置在加湿水箱1内，电加热管2开启时，可以对加湿水箱1内的水进行加热，以产生水蒸气，水蒸气通过加湿水箱1上的水蒸气出口，进入蒸汽管道6和风道7，进而与风道7内的待加湿空气汇合，从而调整待加湿空气的湿度。待加湿空气经过湿度调整后，被输送至曝光机8。
38.控制器4与液位浮子开关3、继电器5、湿度传感器9均电连接，继电器5与电加热管2连接。湿度传感器9设置在风道7内部且靠近曝光机8的位置，湿度传感器9实时监测风道7内的湿度，控制器4 根据湿度传感器9监测到的湿度与目标湿度的差值，来控制继电器5 动作，从而实时调节电加热管2的输出功率，以使风道7内的湿度与目标湿度保持基本一致。
39.另外，液位浮子开关3设置在加湿水箱1的侧壁上。当加湿水箱1内的液位低于液位浮子开关3时，液位浮子开关3向控制器4 发送提示信号，控制器4根据该提示信号，控制继电器动作5以使电加热管2处于关闭状态，即，当加湿水箱1内的液位较低时，电加热管2停止加热。
40.在图1所示的防雾化设备中，由于电加热管2直接与水接触，因此电加热管2长年运行后，其管壁容易结垢，进而影响电加热管2 的寿命，并且电加热管2的更换也极不方便。另外，电加热管2的加热响应速度慢，并且，在不需要调节空气湿度时，电加热管2也需要对水箱内的水进行加热保温，从而不断消耗功率。
41.为了解决至少上述技术问题之一，本实用新型提供了一种湿度控制系统，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型提供的湿度控制系统作进一步详细描述。
42.图2为本实用新型实施例中提供的一种湿度控制系统的结构示意图，如图2所示，湿度控制系统包括水箱21、红外加热组件22、湿度检测器23和控制器24。
43.具体的，水箱21用于承载水。红外加热组件22设置在水箱21 顶部，红外加热组件22用于通过红外线加热水箱21中的水，以产生水蒸气。水箱21上设置有水蒸气出口211，水箱21内的水受热后产生的水蒸气通过水蒸气出口211输送至与待加湿空气汇合，以调整待
加湿空气的湿度。湿度检测器23用于检测待加湿空气的湿度。控制器24与湿度检测模块23和红外加热组件22电连接，控制器24用于根据湿度检测模块23检测到的湿度与目标湿度的差值控制红外加热组件22的加热功率。
44.其中，本实用新型实施例对红外加热组件22的结构不做具体限定，只要能够实现红外加热功能即可，例如，红外加热组件22可包括多个红外灯管221。
45.其中，控制器24可以采用可编程逻辑控制器(plc)，湿度检测器23可以为湿度传感器等。
46.在本实用新型实施例中，湿度控制系统的蒸汽出口可以通过蒸汽管道与风道连通，湿度控制系统可以用于调节风道内的空气的湿度。即，湿度检测器23设置风道内，控制器24根据湿度检测模块23检测到的湿度与目标湿度的差值控制红外加热组件22的加热功率。
47.在本实施例中，通过控制器24控制红外加热组件22对水箱21 内的水进行加热，由于红外加热组件22不需要与水接触，因此长年运行的红外加热组件22上不会结垢，且红外加热组件22的更换也更加方便。另外，红外加热组件22能在短时间内产生蒸汽，因此在不需要调节空气湿度时，也就不需要红外加热组件22对加湿水箱内的水进行加热保温，从而降低了耗电量，达到了节能减排的效果。
48.图3为本实用新型实施例中提供的另一种湿度控制系统的结构示意图，图3为图2所示的湿度控制系统的具体化实现方案，如图3 所示，控制器24包括湿控表241和固态继电器242。其中，湿控表 241与湿度检测器23电连接，固态继电器242与湿控表241、红外加热组件22电连接。湿控表241用于根据湿度检测器23检测到的湿度与目标湿度的差值，输出功率控制信号给固态继电器242。固态继电器242用于根据功率控制信号控制红外加热组件22的加热功率。
49.湿度检测器23实时检测待加湿空气的湿度，并产生湿度信号发送给湿控表241，湿控表241根据湿度检测器23反馈湿度信号以及目标湿度，向固态继电器242发送功率控制信号，该功率控制信号具体可以为电流信号。固态继电器242根据功率控制信号实时调节红外加热组件22的输出功率。例如，当湿度检测器23检测到的湿度小于目标湿度，且与目标湿度差异较大时，湿控表241可以向固态继电器 242发送较大的电流信号，从而控制红外加热组件22以较大的功率进行加热。当湿度传感器23监测到的湿度与目标湿度接近时，则湿控表241可以向固态继电器242发送较小的电流信号，从而控制红外加热组件22以较小的功率进行加热。
50.在本实施例中，通过湿控表241和固态继电器242实时调节红外加热组件22的输出功率，可以提高湿度控制的精度，其控湿精度可以达到
±
1％rh。
51.在一些实施例中，如图3所示，水箱21内还设置有液位检测器件25。液位检测器件25可以设置在水箱21的侧壁上，液位检测器件与控制器24相连接，用于检测水箱21内的液位，并在液位未达到第一预设液位时，发出第一控制信号，控制器24收到第一控制信号后控制红外加热组件22关闭。在液位达到第一预设液位时，发出第二控制信号，控制器24收到第二控制信号后控制红外加热组件22 开启。
52.其中，液位检测器件25可以为液位浮子开关。第一预设液位为液位浮子开关所在的位置。
53.其中，当水箱21内的液位低于液位浮子开关所在位置时，即，水箱21内的液位较低时，液位浮子开关向控制器24发送第一控制信号，控制器24收到第一控制信号后控制红外加热组件22关闭。当水箱21内的液位等于或高于液位浮子开关所在位置时，液位浮子开关发送第二控制信号到控制器24，控制器24根据液位浮子开关发送的第二控制信号控制红外加热组件22对水箱21内的水进行加热，水箱 21内的水被加热后产生水蒸气，水蒸气从水箱21的蒸汽出口211排出。
54.在本实施例中，通过设置在水箱21内的液位检测器件25实时检测水箱21内的液位，并发出控制信号给控制器24，控制器24收到控制信号后控制红外加热组件22的工作状态，可防止水箱21水位过低情况下，出现红外灯管221干烧的情况，保证了红外灯管221 的使用寿命。
55.在一些实施例中，如图3所示，水箱21的上部设置有入水口212，水箱21内还设置有液位控制器件26，液位控制器件26设置在水箱 21的入水口212处。液位控制器件26用于在水箱21内的液位达到第二预设液位时，封闭入水口，其中，第二预设液位高于第一预设液位。其中，当水箱21内的液位达到第二预设液位时，液位控制器件 26封闭入水口；当水箱21内的液位低于第二预设液位时，液位控制器件26不再封闭入水口，此时，外部水源可以向入水口212补水。其中，液位控制器件26可以包括浮球阀。在本实施例中，通过设置液位控制器件26，外界水源可以自动对水箱21进行补水。
56.在一些实施例中，如图3所示，水箱21的侧壁上还设置有溢流口27，溢流口27的高度高于第二预设液位，且低于红外加热组件22 的高度。湿度控制系统还包括进水管28、托盘29和漏液传感器30。进水管28与水箱21的入水口212相连通，进水管28上设置有进水阀281，进水阀281可以为电磁阀，并与控制器24电连接。托盘29 设置在水箱21底部，托盘29的底面面积可以大于水箱21的底面面积，托盘29用于承接从水箱21溢流出的水。
57.漏液传感器30设置在托盘29上，并与控制器24电连接。漏液传感器30用于检测托盘29上是否存在漏液，并在检测到漏液时，向控制器24发送漏液信号，控制器24收到漏液信号后，控制红外加热组件22关闭，并控制进水阀281关闭。
58.在湿度控制系统的工作过程中，当液位控制器件26发生故障时，外界水源会从入水口212不停的补水至水箱21，液位到达溢流口27 时，水会从溢流口27溢出，流到托盘29，此时，安装在托盘29上的漏液传感器30向控制器24发送漏液信号，控制器24控制进水阀281关闭进水阀281，并控制红外加热组件22停止加热。可见，即使液位控制器件26发生故障，也能够防止入水口212不断进水，从而提高了湿度控制系统的安全性能。
59.在一些实施例中，如图3所示，水箱21还包括隔热板31，隔热板31设置在水箱21顶壁靠近红外加热组件22的一侧。通过设置隔热板31，一方面可以防止红外加热组件22的加热热量传导到水箱21 外部对其他器件造成影响，另一方面可以将热辐射进行反射，从而实现热量的循环利用，进而提高加热效率，节约了能源。其中，隔热板 31的材料在此不做具体限定，只要能够实现对热量的阻隔和反射即可，例如，隔热板31可为陶瓷隔热板。
60.在一些实施例中，如图3所示，红外加热组件22包括红外灯管 221，红外灯管221靠近水箱21顶壁的表面设置有耐热涂层32，耐热涂层32。通过在红外灯管211靠近水箱21顶壁的表面上设置耐热涂层32，耐热涂层32用于将红外灯管211所发射的光线朝背离水箱 21顶壁的方向反射，从而可以将红外灯管211发出的红外光反射至水面，提高了红外灯管211的
加热效率。
61.在一些实施例中，如图3所示，湿度控制系统还包括排水管33，水箱21底部上还设置有排水口213，排水管33与排水口213连通，排水管33上设置有排水阀331。排水阀331可以为电磁阀，控制器 24还可以与排水阀331连接，从而控制排水阀331定期排水，从而便于水箱21的清洁。
62.第二方面，本实用新型实施例提供一种防雾化设备，如图4所示，防雾化设备包括蒸汽管道34、风道35和上述的湿度控制系统。
63.其中，蒸汽管道34一端与蒸汽出口211连通，另一端与风道35 连通，风道35远离蒸汽管道34的一端可以朝向曝光机39设置。湿度检测器23设置在风道35内，湿度控制系统用于调节35风道内空气的湿度。
64.其中，在湿度控制系统中，红外加热组件22对水箱21内的水进行加热，从而产生水蒸气，水蒸气通过水箱21上的水蒸气出口，进入蒸汽管道34和风道35，进而与风道35内的待加湿空气汇合。风道35内可以设置风机36等吹风结构，从而将待加湿空气吹送至曝光机39。湿度检测器23设置在风道35中，并位于靠近曝光机39的位置，湿度检测器23实时检测风道35内的空气湿度，控制器24根据湿度检测器23检测到的湿度与目标湿度的差值，控制红外加热组件22的加热功率，进而使得湿度检测器23检测到的湿度与目标湿度一致。通过湿度控制系统的控制，可以为曝光机39提供恒湿的空气。
65.在本实施例中，通过控制器24控制红外加热组件22对水箱21 内的水进行加热，由于红外加热组件22不需要与水接触，因此长年运行的红外加热组件22上不会结垢，且红外加热组件22的更换也更加方便。另外，红外加热组件22能在短时间内产生蒸汽，因此在不需要调节空气湿度时，也就不需要红外加热组件22对加湿水箱内的水进行加热保温，从而降低了耗电量，达到了节能减排的效果。
66.可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。