晶圆盒搬运装置、设备及系统的制作方法

技术特征：
1.一种晶圆盒搬运装置，其特征在于，包括：底座，所述底座包括有用于承载物料的储料平台；取料机构，所述取料机构包括机械臂和取料组件，所述机械臂与所述取料组件连接，用于驱动所述取料组件进行取料或放料；升降机构，安装于所述底座并与所述机械臂连接，所述升降机构用于驱动所述机械臂竖直升降，以增加所述机械臂在竖直方向上的行程。2.如权利要求1所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述晶圆盒搬运装置还包括：可竖直伸缩的防尘罩，罩设于所述升降机构外，所述防尘罩在竖直方向上的一端与所述底座连接，所述防尘罩在竖直方向上的另一端与所述机械臂连接，用于防止底座内和升降机构上的污染物外露。3.如权利要求2所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述机械臂包括与所述升降机构连接的安装板；所述底座设有容纳腔和与所述容纳腔连通的窗口，所述升降机构安装于所述容纳腔内，所述升降机构通过所述窗口伸出或缩入所述容纳腔，所述防尘罩在竖直方向上的一端连接于所述容纳腔内壁或所述窗口边缘处，用于遮挡升降机构与底座之间的间隙，所述防尘罩在竖直方向上的另一端连接于所述安装板；或者，所述升降机构安装于底座外，所述底座外壁设有安装所述升降机构的安装面，所述防尘罩在竖直方向上的一端连接于所述安装面，所述防尘罩在竖直方向上的另一端连接于所述安装板。4.如权利要求3所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述升降机构包括驱动组件和伸缩组件，所述驱动组件与所述伸缩组件连接，用于驱动所述伸缩组件进行竖直伸缩；所述伸缩组件包括多个套接件，所述多个套接件的直径沿伸缩组件的上升方向逐渐减小或逐渐增大，且相邻的两个所述套接件中，直径较小的所述套接件可伸缩式的连接于直径较大的所述套接件，位于所述伸缩组件顶部的套接件与所述安装板连接。5.如权利要求3所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述机械臂还包括：基座，安装于所述安装板；第一支臂，可转动的连接于所述基座；第一驱动件，设于所述基座并与所述第一支臂连接，用于驱动所述第一支臂沿水平方向转动；第二支臂，可转动地连接于所述第一支臂，所述取料组件连接于所述第二支臂，所述第二支臂包括有依次连接的若干子支臂，所述若干子支臂两两之间相互可转动式连接；第二驱动件，所述第二驱动件包括有分别连接于所述若干子支臂的若干支部驱动件，用于驱动各个所述子支臂转动。6.如权利要求5所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述晶圆盒搬运装置还包括防护壳，所述防护壳罩设于所述安装板形成防护空间，所述基座位于所述防护空间，所述防护壳顶部开设有开口，所述第一支臂穿过所述开口连接于所述基座。7.如权利要求6所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述防护壳的底部边缘处设有第一卡扣结构，所述安装板的边缘处设有第二卡扣结构，所述第一卡扣结构与所述第二卡扣结构卡扣连接。
8.如权利要求1所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述取料组件包括固定座、第一取料件和第二取料件，所述第一取料件与所述第二取料件分别连接于所述固定座的两侧，所述第一取料件相对所述第二取料件的一侧设有第一托持卡槽，所述第二取料件相对所述第一取料件的一侧设有第二托持卡槽，所述第一托持卡槽与第二托持卡槽围合形成托持物料的托持平台。9.如权利要求8所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述固定座和/或第一取料件和/或第二取料件上设有用于探测所述托持平台是否托持有物料的第一探测器。10.如权利要求1所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述底座包括竖向延伸部，所述升降机构安装于所述竖向延伸部，所述竖向延伸部横向延伸有第一侧端和第二侧端，所述第一侧端和所述第二侧端相背设置，所述第一侧端与所述第二侧端分别设有至少一个所述储料平台。11.如权利要求1所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述储料平台上设有用于检测物料的检测组件，所述检测组件包括设于所述储料平台表面的第二探测器和/或设于所述储料平台侧边的第三探测器，所述第二探测器用于探测所述储料平台表面是否支撑有所述物料，所述第三探测器用于探测所述储料平台上是否装载有所述物料。12.一种晶圆盒搬运设备，其特征在于，包括自动导引车和如权利要求1-11任一项所述的晶圆盒搬运装置，所述晶圆盒搬运装置的底座安装于所述自动导引车，所述自动导引车用于运输所述晶圆盒搬运装置。13.一种晶圆盒搬运系统，其特征在于，包括调度设备和如权利要求12所述的晶圆盒搬运设备，所述晶圆盒搬运设备还包括控制装置，所述控制装置用于控制所述自动导引车、所述机械臂以及所述升降机构的驱动，所述调度设备用于发送取货指令或放货指令至所述控制装置，所述取货指令包括第一指定位置的物料的空间坐标信息，所述放货指令包括待存放物料的第二指定位置的空间坐标信息。

技术总结
本实用新型公开了一种晶圆盒搬运装置、设备及系统，该晶圆盒搬运装置包括底座、取料机构和升降机构；所述底座包括有用于承载物料的储料平台；所述取料机构包括机械臂和取料组件，所述机械臂与所述取料组件连接，用于驱动所述取料组件进行取料或放料；升降机构安装于所述底座并与所述机械臂连接，所述升降机构用于驱动所述机械臂竖直升降，以增加所述机械臂在竖直方向上的行程，从而满足晶圆各加工设备中的取放工位的高度差较大的情况。中的取放工位的高度差较大的情况。中的取放工位的高度差较大的情况。


技术研发人员：潘心宇 张弢 罗邵丹 陈炜越
受保护的技术使用者：深圳优艾智合机器人科技有限公司
技术研发日：2021.08.06
技术公布日：2022/4/6