循环加热式药液槽的制作方法

1.本实用新型涉及一种循环加热式药液槽。


背景技术：

2.在对金属或者晶圆等进行药液处理时(镀镍、镀铜等)需要保持其中的药液温度在合适的范围内，以保证反应活性，现有设备中多是采用加热棒的形式进行加热，但这一加热方式存在诸多弊端，最为致命的是会导致局部加热温度过高，影响药液的正常反应，最终导致产品的良品率下降。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是要提供一种循环加热式药液槽，其加热均匀性好且能够保证药液浓度均匀，进而提高产品的良品率。
4.为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：
5.本实用新型提供了一种循环加热式药液槽，包括槽体、沿槽体底部盘绕设置的加热盘管、设于槽体外部的加热装置和循环泵，所述加热装置的出水口通过水管与所述循环泵相连，循环泵的另一端与所述加热盘管相连，所述加热盘管的另一端连接所述加热装置的进水口，所述循环泵设置于在所述槽体的底部，所述槽体的底部还设置多个吹气口。
6.可选地，所述加热装置处设置有控制器和触控显示屏，所述控制器根据所述触控显示屏处配置的温度及加热时间对所述循环泵及加热器的工作时间进行控制。
7.进一步地，在所述槽体内设置有温度监测器，所述温度监测器与所述加热装置处的控制器通信连接。
8.由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：
9.本实用新型的循环加热式药液槽，其采用底部水管加热，能够控制最高加热浓度低于一百度，从而防止药液活性被高温影响，同时底部鼓气的方式不但能够使得被加热的药液迅速与上层药液混合，同时能够保证药液槽内的药液各个区域的浓度一致，进而提高产品的良品率。
附图说明
10.后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本实用新型的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：
11.图1是根据本实用新型一个实施例中的多功能拼接式保温盒的结构示意图。
12.其中，附图标记说明如下：
13.1、槽体，2、加热盘管，3、加热装置，4、控制器，5、触控显示屏，6、循环泵，7、温度监测器，8、吹气口。
具体实施方式
14.下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
15.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
16.此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
17.本实施例提供了一种循环加热式药液槽，如图1所示，包括槽体 1、沿槽体1底部盘绕设置的加热盘管2、设于槽体1外部的加热装置 3和循环泵6，所述加热装置3的出水口通过水管与所述循环泵6相连，循环泵6的另一端与所述加热盘管2相连，所述加热盘管2的另一端连接所述加热装置3的进水口，所述循环泵6设置于在所述槽体 1的底部，所述槽体1的底部还设置有多个吹气口8。加热装置3内具有加热腔，通过水在加热腔中的加热后与加热盘管2进行水的循环交换进行加热。
18.所述加热装置3处设置有控制器4和触控显示屏5，所述控制器 4根据所述触控显示屏5处配置的温度及加热时间对所述循环泵6及加热器的工作时间进行控制。这就给了用户根据药液特性进行自主编辑设计的区间，能够更好地满足用户的工作需求。
19.另外，在所述槽体1内设置有温度监测器7，所述温度监测器7 与所述加热装置3处的控制器4通信连接。这里是提供了温度反馈，能够根据反馈温度调整加热装置3的工作，使得药液槽内的药液温度维持在设定范围之内。
20.本实用新型的循环加热式药液槽，其采用底部水管加热，能够控制最高加热浓度低于一百度，从而防止药液活性被高温影响，同时底部鼓气的方式不但能够使得被加热的药液迅速与上层药液混合，同时能够保证药液槽内的药液各个区域的浓度一致，进而提高产品的良品率。
21.上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种循环加热式药液槽，其特征在于，包括槽体、沿槽体底部盘绕设置的加热盘管、设于槽体外部的加热装置和循环泵，所述加热装置的出水口通过水管与所述循环泵相连，循环泵的另一端与所述加热盘管相连，所述加热盘管的另一端连接所述加热装置的进水口，所述循环泵设置于在所述槽体的底部，所述槽体的底部还设置多个吹气口。2.根据权利要求1所述的循环加热式药液槽，其特征在于，所述加热装置处设置有控制器和触控显示屏，所述控制器根据所述触控显示屏处配置的温度及加热时间对所述循环泵及加热器的工作时间进行控制。3.根据权利要求1或2所述的循环加热式药液槽，其特征在于，在所述槽体内设置有温度监测器，所述温度监测器与所述加热装置处的控制器通信连接。

技术总结
本实用新型涉及一种循环加热式药液槽，包括槽体、沿槽体底部盘绕设置的加热盘管、设于槽体外部的加热装置和循环泵，所述加热装置的出水口通过水管与所述循环泵相连，循环泵的另一端与所述加热盘管相连，所述加热盘管的另一端连接所述加热装置的进水口，所述循环泵设置于在所述槽体的底部，所述槽体的底部还设置多个吹气口。本申请加热均匀性好且能够保证药液浓度均匀，进而提高产品的良品率。进而提高产品的良品率。进而提高产品的良品率。


技术研发人员：李志涛
受保护的技术使用者：苏州中炎工业科技有限公司
技术研发日：2021.10.30
技术公布日：2022/4/6