一种带进料粉碎机构的单晶炉的制作方法

技术特征：
1.一种带进料粉碎机构的单晶炉，包括炉体和炉盖，其特征在于，还包括进料粉碎机构，所述进料粉碎机构安装于所述炉盖上；所述进料粉碎机构包括粉碎室、搅拌主轴、防尘板和导流管，所述粉碎室呈卧式圆筒状，所述粉碎室的一侧上方水平设有进料口，所述进料口通过倾斜设置的滑槽与粉碎室连通，所述进料口与滑槽连接处的上端转动连接防尘板，所述粉碎室的中心处水平设有搅拌主轴，所述搅拌主轴的一端与粉碎室外的电机输出端连接，所述搅拌主轴上圆周均匀设有多个长搅拌叶，所述搅拌主轴在相邻两个长搅拌叶之间固定有短搅拌叶，所述粉碎室内的上半筒壁均匀固定有多个粉碎块，所述粉碎室靠近炉盖的一侧下部开设出料口，所述粉碎室的出料口通过倾斜向下设置的导流管延伸至炉体内坩埚的上方；所述炉体在坩埚的正下方固定有接液槽。2.如权利要求1所述的一种带进料粉碎机构的单晶炉，其特征在于，所述进料口的竖截面呈矩形，所述进料口的底板长于其顶板；所述防尘板形状与大小与进料口相适应，所述防尘板的底部内嵌磁铁一，所述进料口的底板靠近滑槽的一端内嵌有与磁铁一磁性相反的磁铁二，所述防尘板远离粉碎室的一侧固定有挡块，所述粉碎室通过支架固定于炉盖上。3.如权利要求1所述的一种带进料粉碎机构的单晶炉，其特征在于，所述长搅拌叶的长度为短搅拌叶长度的1.5-3倍；所述短搅拌叶远离搅拌主轴的一侧沿短搅拌叶长度方向形成三角形尖角的切割刃，所述短搅拌叶的两侧面从上到下设有多个切割刀，所述切割刀的截面呈三角形，所述切割刀从切割刃到搅拌主轴方向截面逐渐减小，所述长搅拌叶上也设有切割刃和多个切割刀，所述粉碎块呈三角柱状。4.如权利要求1-3任一项所述的一种带进料粉碎机构的单晶炉，其特征在于，所述接液槽的内径大于坩埚的外径，所述接液槽通过其中心的转杆孔套接在坩埚提升旋转机构的转杆上，所述转杆孔的直径大于坩埚提升旋转机构转杆的直径，所述转杆孔侧壁的高度与接液槽的高度相同。5.如权利要求4所述的一种带进料粉碎机构的单晶炉，其特征在于，所述接液槽的内部从外到内依次设有第一旋转通道、第二旋转通道和第三旋转通道，所述第一旋转通道、第二旋转通道和第三旋转通道的高度均呈螺旋下降，且第一旋转通道的最低处与第二旋转通道的最高处相接，第二旋转通道的最低处与第三旋转通道的最高处相接，所述第三旋转通道的最低处的底部开设出液口，所述第三旋转通道的最低处的出液口通过管道与储液桶连通。6.如权利要求5所述的一种带进料粉碎机构的单晶炉，其特征在于，所述第三旋转通道的最低处的出液口处设有电磁阀，所述第三旋转通道最低端的侧壁上设有液位传感器。7.如权利要求6所述的一种带进料粉碎机构的单晶炉，其特征在于，所述粉碎室的出料口处设有计量电磁阀，所述炉体的外侧安装有控制器，所述控制器与电磁阀、液位传感器、计量电磁阀和进料粉碎机构上的电机电性连接。

技术总结
本实用新型公开了一种带进料粉碎机构的单晶炉，炉盖上安装有进料粉碎机构；进料粉碎机构包括粉碎室、搅拌主轴、防尘板和导流管，粉碎室呈卧式圆筒状，粉碎室一侧上方水平设有进料口，进料口通过倾斜设置的滑槽与粉碎室连通，进料口与滑槽连接处的上端转动连接防尘板，粉碎室的中心处水平设有搅拌主轴，搅拌主轴的一端与粉碎室外的电机输出端连接，搅拌主轴上圆周均匀设有多个长搅拌叶，搅拌主轴在相邻两个长搅拌叶之间固定有短搅拌叶，粉碎室内的上半筒壁均匀固定有多个粉碎块，粉碎室靠近炉盖的一侧下部开设出料口，粉碎室的出料口通过倾斜向下设置的导流管延伸至炉体内坩埚的上方；炉体在坩埚的正下方固定有接液槽。炉体在坩埚的正下方固定有接液槽。炉体在坩埚的正下方固定有接液槽。


技术研发人员：吴亚娟 燕靖 李远田
受保护的技术使用者：徐州美芯半导体材料科技有限公司
技术研发日：2021.10.12
技术公布日：2022/4/5