固定环收纳装置及检测设备的制作方法

1.本实用新型是关于固定环检测领域，特别是关于一种固定环收纳装置及具有该固定环收纳装置的检测设备。


背景技术：

2.在半导体晶圆加工中，会使用到晶圆固定环，而固定环的外形状况良好与否会影响到晶圆的加工质量。因此需要使用固定环检测设备对固定环的外形进行检测，并通过检测设备标记出不良品。然而在现有技术中，用于收纳完成检测后固定环的收纳装置只是一个普通的盒子，完成检测后的固定环不管是良品还是不良品均混装在一起，不利于对固定环进行区分。
3.因此，针对上述技术问题，有必要提供一种新的固定环收纳装置。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种固定环收纳装置，该固定环收纳装置具有两个独立设置的收纳盒，能够分别用于收纳良品固定环和不良品固定环，将固定环分类存放便于区分。
5.为实现上述目的，本实用新型提供的技术方案如下：
6.第一方面，本实用新型提供了一种固定环收纳装置，包括：基架和两收纳盒；其中，所述基架包括上下层叠设置的第一收容空间和第二收容空间；所述两收纳盒分别放置于所述第一收容空间和第二收容空间中，所述两收纳盒其中之一用于收纳良品固定环，其中另一用于收纳不良品固定环，所述收纳盒包括底壁、后壁和两侧壁，所述底壁上设有防刮层，所述后壁上设有减震层。
7.在一个或多个实施方式中，所述基架包括第一支板和位于所述第一支板下方的第二支板，所述第一支板的后端设有第一挡板，所述第一支板和所述第一挡板共同界定所述第一收容空间，所述第二支板的后端设有第二挡板，所述第二支板和所述第二挡板共同界定所述第二收容空间。
8.在一个或多个实施方式中，所述第一支板的上表面设有第一限位块和第一限位销，当所述收纳盒放置于所述第一收容空间中时，所述第一限位块和所述第一限位销能够分别抵持于所述收纳盒的两侧壁上；
9.所述第二支板的上表面设有第二限位块和第二限位销，当所述收纳盒放置于所述第二收容空间中时，所述第二限位块和所述第二限位销能够分别抵持于所述收纳盒的两侧壁上。
10.在一个或多个实施方式中，所述第一限位块固定连接于所述第一支板上，所述第一支板上设有第一限位孔，所述第一限位销可拆卸的插接于所述第一限位孔中；
11.所述第二限位块固定连接于所述第二支板上，所述第二支板上设有第二限位孔，所述第二限位销可拆卸的插接于所述第二限位孔中。
12.在一个或多个实施方式中，所述第一支板和所述第二支板的上表面均设有沿左右方向布置的润滑条，所述润滑条用于减小所述收纳盒与所述第一支板和所述第二支板之间的摩擦力。
13.在一个或多个实施方式中，所述收纳盒的底壁、后壁和两侧壁上均设有减重孔。
14.在一个或多个实施方式中，所述收纳盒的两侧壁上设有把手。
15.第二方面，本实用新型提供了一种固定环检测设备，其特征在于，包括：机座、检测装置、升降装置、控制器和如前所述的固定环收纳装置；所述机座具有能够供固定环通过的检测通道；所述检测装置对应于所述检测通道设置并用于检测经过所述检测通道的固定环的外形信息；所述固定环收纳装置设于所述升降装置上；所述控制器连接所述检测装置和所述升降装置，所述控制器用于根据所述检测装置检测到的所述外形信息控制所述升降装置。
16.在一个或多个实施方式中，所述固定环检测设备还包括与所述控制器连接的传感器，所述传感器用于监测所述收纳盒中所收纳的固定环的数量。
17.在一个或多个实施方式中，所述固定环检测设备还包括与所述控制器连接的警示装置，当所述传感器监测到所述收纳盒中所收纳的固定环的数量达到预设阈值时，所述控制器控制所述警示装置发出警示信号。
18.与现有技术相比，本实用新型提供的固定环收纳装置，通过将两个独立的收纳盒分别放置于基架的第一收容空间和第二收容空间中，用以分开接收良品固定环和不良品固定环，可以避免良品和不良品固定环混装，并于后续进行区分；而且通过防刮层和减震层的设置，可以减少接收固定环时对固定环的损伤。
附图说明
19.图1是本实用新型一实施方式中固定环检测设备的结构示意图；
20.图2是本实用新型一实施方式中固定环收纳装置的结构示意图；
21.图3是图2所示固定环收纳装置中基架的结构示意图；
22.图4是图2所示固定环收纳装置中收纳盒的结构示意图。
23.主要附图标记说明：
24.1-机座，11-检测通道，2-检测装置，3-升降装置，4-控制器，5-固定环收纳装置，51-基架，52-收纳盒，511-第一支板，512-第二支板，513-第一挡板，514-第二挡板，515-第一限位块，516-第一限位销，517-第一限位孔，518-润滑条，521-底壁，522-后壁，523-侧壁，524-收纳腔，525-防刮层，526-减震层，527-减重孔，528-把手。
具体实施方式
25.下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式进行详细描述，但应当理解本实用新型的保护范围并不受具体实施方式的限制。
26.除非另有其它明确表示，否则在整个说明书和权利要求书中，术语“包括”或其变换如“包含”或“包括有”等等将被理解为包括所陈述的元件或组成部分，而并未排除其它元件或其它组成部分。
27.如图1所示，本实用新型一实施方式中的固定环检测设备，其包括机座1、检测装置
2、升降装置3、控制器4和固定环收纳装置5。
28.其中，机座1具有能够供固定环通过的检测通道11。检测装置2对应于检测通道11设置并用于检测经过检测通道11的固定环的外形信息。固定环收纳装置5设于升降装置3上；控制器4连接检测装置2和升降装置3，控制器4用于根据检测装置2检测到的所述外形信息控制升降装置3。
29.一示例性的实施例中，检测通道11被设置成与水平面呈预设夹角的倾斜状，以使得固定环可在重力作用下沿检测通道11滑行。检测通道11的宽度被设置成与待检测的固定环外径相匹配，以避免固定环在检测通道11中滑行时发生偏移。
30.固定环收纳装置5对应于检测通道11的出口设置并用以接收从该出口送出的固定环。固定环完成检测后，可以从检测通道11的出口送出，固定环收纳装置5设于检测通道11的出口处可以接收被送出的固定环实现自动收料。
31.一示例性的实施例中，如图2至图4所示，固定环收纳装置5包括基架 51和两收纳盒52。其中，基架51包括上下层叠设置的第一收容空间和第二收容空间。两收纳盒52分别放置于第一收容空间和第二收容空间中，两收纳盒52其中之一用于收纳良品固定环，其中另一用于收纳不良品固定环。
32.固定环收纳装置5可在升降装置3的驱动下上下移动。控制器4可将检测装置2检测到的固定环的外形参数信息与预设的标准参数进行对比，以判断被检测的固定环是否为良品。
33.当被检测的固定环被控制器4判定为良品时，控制器4控制升降装置3 将用于收纳良品固定环的收纳盒52移动至检测通道11的出口处，以接收良品固定环。当被检测的固定环被控制器4判定为不良品时，控制器4控制升降机装置将用于收纳不良品固定环的收纳盒52移动至检测通道11的出口处，以接收不良品固定环。通过两个收纳盒52将良品和不良品分开存放，可以避免良品和不良品混料。
34.收纳盒52包括底壁521、后壁522和两侧壁523，该底壁521、后壁522 和两侧壁523共同围设形成具有前部开口和顶部开口的收纳腔524，固定环可以从收纳盒52的前部开口进入到收纳腔524中。收纳盒52的底壁521上设有防刮层525，收纳盒52的后壁522上设有减震层526；其中，防刮层525 可以接收固定环时底壁521避免刮伤固定环，减震层526可以避免接收固定环时后壁522磕碰固定环。
35.具体的，防刮层525可以由高聚物自润滑材料制成，如聚酰胺、氟塑料、聚甲醛、聚碳酸酯、高密度聚乙烯、聚砜、聚芳砜、聚酰亚胺、聚苯硫醚以及酚醛塑料等。减震层526可由弹性材料制成，如橡胶、泡沫、泡棉等。
36.一示例性的实施例中，基架51包括第一支板511和位于第一支板511下方的第二支板512，第一支板511的后端设有第一挡板513，第一支板511和第一挡板513共同界定第一收容空间，第二支板512的后端设有第二挡板514，第二支板512和第二挡板514共同界定第二收容空间。
37.第一支板511的上表面设有第一限位块515和第一限位销516，当收纳盒 52放置于第一收容空间中时，第一限位块515和第一限位销516能够分别抵持于收纳盒52的两侧壁523上，以限定收纳盒52在第一收容空间内的位移，避免收纳盒52接收固定环时随意晃动。
38.第二支板512的上表面设有第二限位块和第二限位销，当收纳盒52放置于第二收
容空间中时，第二限位块和第二限位销能够分别抵持于收纳盒52的两侧壁523上，以限定收纳盒52在第一收容空间内的位移，避免收纳盒52 接收固定环时随意晃动。
39.具体的，第一限位块515固定连接于第一支板511上，第一支板511上设有第一限位孔517，第一限位销可拆卸的插接于第一限位孔517中。第二限位块固定连接于第二支板512上，第二支板512上设有第二限位孔，第二限位销可拆卸的插接于第二限位孔中。第一限位销和第二限位销设置成可拆卸的，能够便于收纳盒52在第一收容空间和第二收容空间中的取放。
40.一示例性的实施例中，第一支板511和第二支板512的上表面均设有沿左右方向布置的润滑条518，该润滑条518可用于减小收纳盒52与第一支板 511和第二支板512之间的摩擦力。润滑条518被设置成略微凸出于第一支板 511和第二支板512的上表面，从而减小收纳盒52与第一支板511和第二支板512间的接触面积。润滑条518可由高聚物自润滑材料制成，如聚酰胺、氟塑料、聚甲醛、聚碳酸酯、高密度聚乙烯、聚砜、聚芳砜、聚酰亚胺、聚苯硫醚以及酚醛塑料等。
41.一示例性的实施例中，收纳盒52的底壁521、后壁522和两侧壁523上均设有减重孔527。收纳盒52的两侧壁523上设有把手528。减重孔527的设置可以减小收纳盒52的重量，把手528的设置可以便于工作人员搬运移动收纳盒52。
42.一示例性的实施例中，固定环检测设备还包括与控制器4连接的传感器，该传感器用于监测收纳盒52中所收纳的固定环的数量。控制器4可以根据传感器监测到的固定环的数量来调节升降装置3的升降高度，以改变收纳盒52 相对于检测通道11出口的高度，从而调节固定环的接收高度。例如，在设定好预定接收高度后，在收纳盒52每接收一片固定环，控制器4可以控制升降装置3下降一格高度，使固定环的接收高度始终维持在预定的接收高度，避免固定环堵住或悬空掉落。
43.一示例性的实施例中，固定环检测设备还包括与控制器4连接的警示装置，当传感器监测到收纳盒52中所收纳的固定环的数量达到预设阈值时，控制器4控制警示装置发出警示信号，以提醒工作人员取走完成检测的固定环。
44.综上所述，本实用新型提供的固定环收纳装置5，通过将两个独立的收纳盒52分别放置于基架51的第一收容空间和第二收容空间中，用以分开接收良品固定环和不良品固定环，可以避免良品和不良品固定环混装，并于后续进行区分；而且通过防刮层525和减震层526的设置，可以减少接收固定环时对固定环的损伤。
45.前述对本实用新型的具体示例性实施方案的描述是为了说明和例证的目的。这些描述并非想将本实用新型限定为所公开的精确形式，并且很显然，根据上述教导，可以进行很多改变和变化。对示例性实施例进行选择和描述的目的在于解释本实用新型的特定原理及其实际应用，从而使得本领域的技术人员能够实现并利用本实用新型的各种不同的示例性实施方案以及各种不同的选择和改变。本实用新型的范围意在由权利要求书及其等同形式所限定。