击锤装置、击锤控制电路及晶圆劈裂机的制作方法

1.本实用新型属于晶圆加工技术领域，特别是涉及一种击锤装置、击锤控制电路及晶圆劈裂机。


背景技术：

2.随着电子技术、通信技术的不断发展，晶圆的使用也越来越多，晶圆在使用前，需要经过劈裂机将其劈裂成一粒粒细小的晶粒。晶圆在劈裂之前，会使用到激光切割出切割线，但是，该切割线并没有将晶圆切断，而是保留了约三分之二的厚度相连，接着在晶圆表面贴附一层保护膜进行保护后，送到晶圆劈裂机进行劈裂作业。
3.晶圆劈裂机对晶圆进行劈裂作业时，如果劈刀下刀力度过大时会导致晶圆变形及错位，最终导致晶圆的优良率下降。如果劈刀下刀力过小时则会导致晶圆出现双晶的现象，也会导致晶圆的优良率下降。


技术实现要素：

4.本实用新型针对现有技术中晶圆劈裂机劈裂晶圆时，晶圆的优良率低等技术问题，提供了一种击锤装置、击锤控制电路及晶圆劈裂机。
5.鉴于以上技术问题，本实用新型实施例提供一种击锤装置，包括电源控制器、继电器、控制板以及用于敲击晶圆劈裂机的劈刀的电磁击锤；所述电源控制器输出端连接所述继电器的输入端，且电源控制器用于调节输入所述控制板的电压；所述控制板的输出端通过所述继电器连接所述电磁击锤，且所述控制板用于控制所述继电器的通断，进而在继电器导通时控制所述电磁击锤敲击所述劈刀。
6.可选地，所述击锤装置还包括保护二极管，所述保护二极管的正极连接所述电磁击锤的负极以及所述继电器的输出端，所述保护二极管的负极连接所述电磁击锤的正极。
7.可选地，所述电磁击锤包括固定套筒和用于敲击所述劈刀的电磁击杆，所述固定套筒套接在所述电磁击杆上，且所述电磁击杆的相对两端均伸出所述固定套筒，所述控制板的输出端通过所述继电器连接所述电磁击杆。
8.可选地，所述电磁击锤还包括套接在所述电磁击杆上的弹性件，所述弹性件的一端连接所述电磁击杆远离所述劈刀的一端，所述弹性件的另一端连接所述固定套筒。
9.可选地，所述电磁击杆远离所述劈刀的一端设有连接板，所述弹性件远离所述固定套筒的一端连接所述连接板。
10.可选地，所述弹性件为螺旋弹簧，所述螺旋弹簧的外径至所述劈刀的一端到远离所述劈刀的一端逐渐减小。
11.可选地，所述电源控制器为直流电源控制器，所述直流电源控制器的输入电压为220v的交流电压，所述直流电源控制器的输出电压为0～30v的直流电压。
12.可选地，所述电源控制器包括控制器本体和安装在所述控制器本体中的风扇，所述控制器本体的相对两端分别设有进风口和出风口，所述风扇用于从所述进风口吸取自然
风后，从所述出风口吹出。
13.本实用新型另一实施例还提供了一种击锤控制电路，包括上述的击锤装置；所述电源控制器的正极输出端连接所述控制板输入端，所述控制板的输出端连接所述继电器的输入端，所述继电器的输出端连接所述电磁击锤的正极，所述电磁击锤的负极通过所述控制板连接所述电源控制器的负极输出端。
14.可选地，所述击锤装置还包括保护二极管，所述保护二极管的正极连接所述电磁击锤的负极以及所述继电器的输出端，所述保护二极管的负极连接所述电磁击锤的正极。
15.本实用新型又一实施例还提供了一种晶圆劈裂机，包括劈刀和上述的击锤装置。
16.本技术中，所述电源控制器输出端连接所述继电器的输入端，所述控制板的输出端通过所述继电器连接所述电磁击锤。所述电源控制器可以控制其输出电压的大小，从而可以控制所述电磁击锤敲击所述劈刀的力度；所述控制板通过所述继电器的通断来控制所述电磁击锤是否敲击所述劈刀。具体地，在晶圆劈裂机的劈刀以浅刀深(也即劈刀的下刀力度较小)劈割晶圆时，所述控制板控制所述电磁击锤敲击所述劈刀，瞬间加大所述劈刀的劈割力度，使得所述劈刀劈断晶圆，并且提升了晶圆的劈割质量。另外，该击锤装置还便于工作人员调节其敲击力度，提高了其实用性和适用性；且该击锤装置的结构简单，制造成本低，安装方便。
附图说明
17.下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
18.图1是本实用新型一实施例提供的击锤装置的电路示意图；
19.图2是本实用新型一实施例提供的击锤装置的电磁击锤的结构示意图；
20.图3本实用新型一实施例提供的击锤装置的电源控制器的结构示意图。
21.说明书中的附图标记如下：
22.1、电源控制器；11、控制器本体；111、进风口；112、出风口；113、控制按钮；114、开关按钮；115、电流显示屏；116、电压显示屏；2、继电器；3、控制板；4、电磁击锤；41、固定套筒；42、电磁击杆；421、连接板；43、弹性件；5、保护二极管。
具体实施方式
23.为了使本实用新型所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步的详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
24.需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“中部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为本实用新型的限制。
25.如图1所示，本实用新型实施例提供了一种击锤装置，包括电源控制器1、继电器2、控制板3以及用于敲击晶圆劈裂机的劈刀(图未示)的电磁击锤4；所述电源控制器1输出端连接(电连接)所述继电器2的输入端，且电源控制器1用于调节输入所述控制板3的电压；所述控制板3的输出端通过所述继电器2连接(电连接)所述电磁击锤4，且所述控制板3用于控
制所述继电器2的通断，进而在继电器2导通时控制所述电磁击锤4敲击所述劈刀。可以理解地，所述继电器2相当于一个常开的开关，所述控制板3为一个i/o控制板，当所述控制板3输出高电平信号时，所述控制板3控制所述继电器2导通，从而所述电源控制器1可以对所述电磁击锤4进行供电，所述电磁击锤4可以敲击所述劈刀。当所述控制板3输出低电平信号时，所述继电器2将断开，或者所述继电器2本身就处于断开状态时，所述电源控制器1不能对所述电磁击锤4进行供电，从而所述电磁击锤4不会敲击所述劈刀。
26.本技术中，所述电源控制器1输出端连接所述继电器2的输入端，所述控制板3的输出端通过所述继电器2连接所述电磁击锤4。所述电源控制器1可以控制其输出电压的大小，从而可以控制所述电磁击锤4敲击所述劈刀的力度；所述控制板3通过所述继电器2的通断来控制所述电磁击锤4是否敲击所述劈刀。具体地，在晶圆劈裂机的劈刀以浅刀深(也即劈刀的下刀力度较小)劈割晶圆时，所述控制板3控制所述电磁击锤4敲击所述劈刀，瞬间加大所述劈刀的劈割力度，使得所述劈刀劈断晶圆，并且提升了晶圆的劈割质量。另外，该击锤装置还便于工作人员调节其敲击力度，提高了其实用性和适用性；且该击锤装置的结构简单，制造成本低，安装方便。
27.在一实施例中，如图2所示，所述电磁击锤4包括固定套筒41和用于敲击所述劈刀的电磁击杆42，所述固定套筒41套接在所述电磁击杆42上，且所述电磁击杆42的相对两端均伸出所述固定套筒41，所述控制板3的输出端通过所述继电器2连接所述电磁击杆42。可以理解地，所述固定套筒41可以固定安装在所述劈刀上，利用所述电磁击杆42来敲击所述劈刀。本实施例中，该电磁击锤4的结构简单，安装方便，制造成本低。
28.在一实施例中，如图2所示，所述电磁击锤4还包括套接在所述电磁击杆42上的弹性件43，所述弹性件43的一端连接所述电磁击杆42远离所述劈刀的一端，所述弹性件43的另一端连接所述固定套筒41。可以理解地，所述弹性件43包括但不限于弹簧等。具体地，当所述控制板3控制所述继电器2导通时，所述电磁击杆42将下移并敲击所述劈刀，同时下移的所述电磁击杆将压缩所述弹性件43。当所述控制板3控制所述继电器2处于断开状态，或所述继电器2本身就处于断开状态时，所述弹性件43的反弹力将带动所述电磁击杆42上移，上移的电磁击杆42为下一次敲击劈刀做准备。本实用新型中，所述弹性件43的设计，可以使得所述电磁击锤4不通电时，所述电磁击杆42脱离劈刀，降低了该电磁击锤4的制造成本。
29.且所述电源控制器1输入的电流为直流电时，无需调整所述电磁击杆42的正负极，通过所述弹性件43即可实现电磁击杆42的上移，从而提高了该击锤装置的通用性。
30.在一实施例中，如图2所示，所述电磁击杆42远离所述劈刀的一端设有连接板421，所述弹性件43远离所述固定套筒41的一端连接(抵接、螺钉连接等)所述连接板421。可以理解地，所述连接板421设置在所述电磁击杆42上方的外壁上，所述连接板421可以保证所述弹性件43处于压缩状态，同时保证了所述电磁击杆42可以压缩所述弹性件43。本实施例中，所述连接板421的设计，提高了所述弹性件43安装的便捷性。另外，所述连接板421可以与所述螺旋弹簧充分接触，从而提高了所述螺旋弹簧连接所述电磁击杆42的稳定性。
31.在一实施例中，如图2所示，所述弹性件43可以为螺旋弹簧，所述螺旋弹簧的外径至所述劈刀的一端到远离所述劈刀的一端逐渐减小。可以理解地，从上至下，所述螺旋弹簧的外径逐渐增大。本实施例中，所述螺旋弹簧的结构设计，使得所述电磁击杆42压缩所述螺旋弹簧的稳定性高，并且，所述电磁击杆42下移的距离远大，所述螺旋弹簧单位长度内增加
的反弹力越大，从而避免了所述电磁击杆42敲击力太大，而导致所述劈刀劈坏晶圆的事故。另外，压缩的所述螺旋弹簧可以提供稳定的反弹力，所述电磁击杆42可以稳定的上升。
32.另外，所述连接板421为围绕所述电磁击杆外壁设置的螺旋连接板，该螺旋连接板可以与所述螺旋弹簧充分接触，从而提高了所述螺旋弹簧连接所述电磁击杆42的稳定性。
33.需要说明地，所述电磁击杆42贯穿所述固定套筒41，所述连接板42的一端设有所述连接板421，所述电磁击杆42的另一端为击打部，当所述电磁击杆42通电时，所述电磁击杆42在所述固定套筒41中下移(也即，所述电磁击杆42朝向靠近所述劈刀的一端移动)，并通过其击打部敲击所述劈刀，同时所述连接板421将压缩所述弹性件43；当所述电磁击杆42断电时，所述弹性件43的反弹力将使得所述电磁击杆42在所述固定套筒41中上移(也即，所述电磁击杆42朝向远离所述劈刀的一端移动)，从而为下一次击打所述劈刀做准备。
34.在一实施例中，如图3所示，所述电源控制器1为直流电源控制器，所述直流电源控制器的输入电压为220v的交流电压，所述直流电源控制器的输出电压为0～30v的直流电压。进一步地，所述继电器2的输出电压为0～30v。可以理解地，所述直流电源控制器的输入电压为220v的交流电压，其可适用于中国境内的电路，操作人员可以根据实际需求调节所述直流电源控制器的输出电压，从而来控制所述电磁击锤4的敲击力度。本实施例中，所述直流电源控制器的设计，提高了该击锤装置的通用性。
35.在一实施例中，如图3所示，所述电源控制器1包括控制器本体11和安装在所述控制器本体11中的风扇(图未示)，所述控制器本体11的相对两端分别设有进风口111和出风口112，所述风扇用于从所述进风口111吸取自然风后，从所述出风口112吹出。可以理解地，所述电源控制器1在工作的过程中，其内部控制电路等元器件的温度将会上升，此时，所述风扇从所述进口吸取自然风后，吹向所述电源控制器1的内部电路元器件，并从所述出风口112输出，从而起到了冷却控制器本体11的作用。本实施例中，所述风扇的设计，延长了该电源控制器1的使用寿命。
36.在一实施例中，如图3所示，所述控制器本体11上还设有用于控制所述控制器本体11输出电压的控制按钮113，以及控制所述控制器本体11启停的开关按钮114。可以理解地，所述控制按钮113包括加减按钮等，操作员通过所述控制按钮113可以控制所述电源控制器1输出电压的大小，所述开关按钮114可以控制所述电源控制器1的启停工作。进一步地，所述控制器本体11上还设有电流显示屏115、电压显示屏116等。本实施例中，该电源控制器1便于操作者实用。
37.如图1所示，本实用新型另一实施例还提供了一种击锤控制电路，包括上述的击锤装置；所述电源控制器1的正极输出端连接所述控制板3的输入端，所述控制板3的输出端连接所述继电器2的输入端，所述继电器2的输出端连接所述电磁击锤4的正极，所述电磁击锤4的负极通过所述控制板3连接所述电源控制器1的负极输出端。可以理解地，所述电源控制器1的输入端连接外部供电器，当所述控制板3控制所述继电器2导通时，所述电源控制器1的输出电压可以通过所述控制板3和所述继电器2输入到所述电磁击锤4上，从而控制所述电磁击锤4敲击所述劈刀。本实施例中，该击锤控制电路的结构简单，安装方便。
38.在一实施例中，如图1所示，所述击锤装置还包括保护二极管5，所述保护二极管5的正极连接(电连接)所述电磁击锤4的负极以及所述继电器2的输出端，所述保护二极管5的负极连接(电连接)所述电磁击锤4的正极。具体地，当所述控制板3控制所述继电器2导通
时，所述电源控制器1输出的电压将控制所述电磁击锤4敲击所述劈刀，此时，由于保护二极管5的单向导通性，所述电磁击锤4的电流将不会直接通过所述保护二极管5流入到所述控制板3，也即不会发生短路的事故。若所述电磁击锤4发生短路，所述电源控制器1输出的电压将流入所述保护二极管5，从而所述保护二极管5相当于一个保护电阻，也即，避免了所述电磁击锤4短路时，发生烧坏所述控制板3、所述电源控制器1的风险。本实施例中，所述保护二极管5的设计，提升了该击锤装置以及所述击锤控制电路的安全性，延长了该击锤装置的使用寿命。
39.本实用新型又一实施例还提供了一种晶圆劈裂机，包括劈刀和上述的击锤装置。
40.以上仅为本实用新型的击锤装置的实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。