扫描镜系统的衬底的制作方法

扫描镜系统的衬底


背景技术：

1.在扫描显示设备中，来自光源的光经由可控镜在一个或多个方向上被扫描以产生可视图像。在一些扫描显示设备中，激光被扫描镜系统以不同的角度反射，以将反射的激光投射到整个视场(fov)。扫描镜系统包括扫描镜组件和合适的致动器，诸如微机电系统(mems)致动器，其旋转扫描镜组件的一个或多个扫描镜以实现不同反射角的范围。例如mems致动器可以在水平和垂直方向上围绕轴旋转扫描镜，以在fov中产生可视图像。在不同的示例中，扫描镜系统可以包括在水平和垂直方向上驱动的单个反射镜，或者在水平和垂直方向上分别驱动的两个反射镜。
2.mems扫描镜系统通常包括致动器框架和移动致动器框架的一个或多个致动器(例如压电(pzt)致动器)。扫描镜组件连接到致动器框架，使得致动器框架的运动被转换到扫描镜组件，从而旋转扫描镜。在一些mems扫描镜系统中，致动器框架被安装在衬底上，该衬底为致动器框架、pzt致动器和扫描镜组件提供机械支撑。衬底还可以为mems扫描镜系统的各种组件(例如致动器)提供电接口。
3.已知mems扫描镜系统的衬底由玻璃增强塑料(即玻璃纤维)材料制成，例如fr4。然而，衬底的玻璃增强塑料材料可能会在mems扫描镜系统的操作过程中发生弯曲，这会产生寄生模式，其导致扫描镜的过度和/或意外移动。例如衬底可以充分弯曲，使得mems扫描镜系统的一个或多个其他组件(例如致动器框架、衬底和扫描镜等)以与扫描镜的操作谐振模式相当的幅度谐振。由这种谐振模式引起的扫描镜的过度和/或无意移动可能会降低mems扫描镜系统的功率效率(例如经由寄生模式激发等)和/或甚至引起可听噪声。此外，扫描镜的过度和/或无意的移动可能导致mems扫描镜系统的一个或多个组件的应力失控(stress runaway)，从而降低mems扫描镜系统的可靠性。


技术实现要素：

4.公开了涉及用于微机电系统(mems)扫描镜系统的衬底的示例。在一个示例中，mems扫描镜系统包括具有陶瓷主体的衬底。致动器框架被安装在衬底的陶瓷主体上。致动器框架包括至少一个可移动构件。至少一个致动器操作地连接到所述至少一个可移动构件，使得所述致动器被配置为移动所述至少一个可移动构件。扫描镜组件被安装到至少一个可移动构件，使得至少一个可移动构件的移动使扫描镜组件移动。
5.提供本发明内容是为了以简化形式介绍概念的选择，这些概念将在下面的具体实施方式中进一步描述。本发明内容并非旨在识别所要求保护的主题的关键特征或必要特征，也不旨在用于限制所要求保护的主题的范围。此外，要求保护的主题不限于解决在本公开的任意部分中指出的任意或所有缺点的实现。
附图说明
6.图1是示出了根据本公开的示例的包括微机电系统(mems)扫描镜系统的示例显示设备的示意图。
7.图2是示出了根据本公开的示例的mems扫描镜系统的示例的透视图。
8.图3是图2中所示的mems扫描镜系统的正视图。
9.图4是图2和3中所示的mems扫描镜系统的平面图。
10.图5是示出了图2-4中所示的mems扫描镜系统的运动的另一个正视图。
11.图6是示出根据本公开的示例的示例计算系统的框图。
具体实施方式
12.本文公开的示例涉及用于微机电系统(mems)扫描镜系统的衬底，其减少或消除可能导致mems扫描镜系统的扫描镜过度和/或无意移动的不期望的谐振模式。因此，本文公开的衬底示例减少或消除可听噪声(例如经由寄生模式激发的减少或消除等)和/或保持mems扫描镜系统的功率效率。此外，本文公开的衬底示例保持在mems扫描镜系统的操作和/或组装期间产生的部件应力，从而提高mems扫描镜系统的可靠性。
13.图1示意性地示出了与视频源102通信的示例显示设备100。显示设备100包括操作地耦合到mems扫描镜系统106和光源108的控制器104。控制器104被配置为基于从视频源102接收的视频图像数据来控制mems扫描镜系统106和光源108以发射光。光源108可以包括任意合适的发光元件，诸如但不限于一个或多个激光器和/或类似物。光源108可以输出任意合适波长范围内的光(例如能够产生彩色图像的红色、绿色和蓝色波长范围)。在其他示例中，光源108可以输出基本上单色的光。
14.mems扫描镜系统106包括一个或多个扫描镜(图1中未示出；例如图2-5中示出的扫描镜216)，其可控制(例如可移动等)以改变来自光源108的光被反射从而扫描图像的角度。mems扫描镜系统106可以包括被配置为在水平和垂直方向上扫描光的单个扫描镜，或者用于在水平和垂直方向上分别扫描的单独的扫描镜。在其他示例中，mems扫描镜系统106可以经由任意合适数量的扫描镜以任意其他合适方式扫描光。
15.mems扫描镜系统106包括一个或多个致动器(图1中未示出；例如图2-5中所示的致动器214等)，其可控制以旋转(多个)扫描镜。如下文更详细的描述，(多个)致动器被安装到致动器框架(在图1中未示出；例如图2-5中所示的致动器框架210等)的一个或多个可移动构件(图1中未示出；例如图2-5中示出的可移动构件218等)。由(多个)扫描镜反射的光被导向输出110以显示扫描图像。输出110可以采用任意合适的形式，诸如但不限于投影光学器件、波导光学器件和/或类似物。在不同的示例中，显示设备100可以被配置为完全沉浸式虚拟现实头戴式显示器(hmd)设备、提供真实世界环境视图的混合现实hmd设备和/或任意其他合适的显示设备(例如平视显示器、移动设备屏幕、监视器、电视机等)。
16.图2-5示出了根据本公开示例的示例mems扫描镜系统206。mems扫描镜系统206包括扫描镜组件208、致动器框架210、衬底212和一个或多个致动器214。扫描镜组件208包括扫描镜216。致动器框架210包括一个或多个可移动构件218。在本文所示的示例中，致动器框架210包括两个可移动构件218；然而，致动器框架210可以包括任意数量的可移动构件218。
17.扫描镜组件208被安装到致动器框架210的可移动构件218。具体地，扫描镜组件208包括弯曲部220(在图3和5中不可见)。扫描镜组件208的扫描镜216经由弯曲部220被安装到可移动构件218，如图2和图4所示。弯曲部220可以提供相应的枢轴，扫描镜216可以通
过该枢轴旋转并由此改变扫描镜216的角定向以改变来自光源的光被反射的角度。扫描镜216可以取决于扫描镜系统206被集成到显示设备中的取向，在水平或垂直方向上扫描。
18.扫描镜组件208的弯曲部220被连接到对应的锚定部分222，该锚定部分被固定到致动器框架210的可移动构件218中的对应一些。致动器214被操作地连接到对应的可移动构件218上，使得致动器214被配置为移动对应的可移动构件218。致动器214被控制以引起扫描镜216的对应运动(例如引起扫描镜216的期望振荡和/或旋转)。具体地，扫描镜组件208的弯曲部220将扫描镜216安装到可移动构件218，使得由致动器214驱动的可移动构件218的移动使扫描镜组件208的扫描镜216移动(例如旋转、振荡等)。图5示出了可移动构件218以及因此扫描镜216从图3所示的扫描镜216的静止(例如开始)位置的移动。
19.在图2-5所示的示例中，mems扫描镜系统206包括成对的致动器214，其操作地连接到可移动构件218中的对应一个，如图2和图4中最佳所示。尽管示出了致动器214中的四个，但mems扫描镜系统206可以包括任意数量的致动器214。致动器214可以包括压电(pzt)致动器，该压电(pzt)致动器包括基于施加电压来改变尺寸的pzt材料。例如在接收到具有第一极性(例如正极)的电信号时，致动器214可以将收缩力施加到对应的可移动构件218的部分。具有不同的第二极性(例如负极)的电信号可以使致动器214向对应的可移动构件218施加扩张力。由致动器214施加的力的大小可以通过控制施加到致动器214的电信号的大小来被控制。
20.作为pzt致动器的补充或替代，mems扫描镜系统206可以利用使mems扫描镜系统206能够如本文公开的那样起作用的任意其他类型的致动器。例如致动器214可以包括磁性致动器，其中磁性元件之间的磁力可以经由电信号来改变。在其他示例中，致动器214包括静电致动器，其中电极之间的电场可以变化以调节收缩力或扩张力。作为另一示例，致动器214包括一个或多个双金属条，其中可以利用不同材料的不同热膨胀系数来改变所施加的力。还应当理解，致动器214可以被布置在mems扫描镜系统206中的其他合适的位置。
21.衬底212包括主体224并且致动器框架210被安装在衬底212的主体224上。在图2-5所示的示例中，致动器框架210的中心安装构件226通过间隔件228(在图4中不可见)被安装在衬底212的主体224上，使得致动器框架210的可移动构件218漂浮在衬底212的主体224上方。在其他示例中，致动器框架210的一部分(例如中央安装构件226)被直接安装到衬底212的主体224，其间没有间隔件。
22.在图2-5所示的示例中，致动器框架210包括一个或多个铰链230，其将安装构件226与可移动构件218中的对应的一个连接起来。如最好在图2中看到的，铰链230被定位为与对应的可移动构件218的相对端的距离基本等距。此外，在图2-5所示的示例中，中心安装构件226和可移动构件218包括孔(最好在图2中看到)。应当理解，在其他示例中，中心安装构件226和可移动构件218可以具有包括不同形状、尺寸和/或位置的一个或多个孔的不同配置，或不包括孔的配置。
23.在一些示例中，致动器框架210可以包括金属材料，诸如但不限于钢。作为一种或多种金属材料的补充或替代，致动器框架210可以包括使致动器框架210能够如本文公开的那样起作用的任意(多种)其他材料。
24.衬底212为致动器框架210、扫描镜组件208和致动器214提供机械支撑。在一些示例中，衬底212还为mems扫描镜系统206的各种部件(例如致动器214等)提供电接口。例如衬
底212可以是具有一个或多个电通路、连接和/或类似物的电路板。
25.衬底212不旨在将致动器214的任意移动变换到扫描镜组件208。换句话说，衬底212提供相对刚性的机械支撑，其不旨在对扫描镜216的移动产生任何功能性影响。如上所述，已知的mems扫描镜系统的衬底由玻璃增强塑料(即玻璃纤维)材料(例如fr4等)制成，该材料可以弯曲并由此产生导致扫描镜过度和/或无意移动的寄生模式。由这种寄生模式引起的扫描镜的过度和/或无意的移动可能导致可听噪声和/或降低mems扫描镜系统的功率效率。此外，扫描镜的过度和/或无意移动可能会增加部件应力，从而降低mems扫描镜系统的可靠性。
26.在本公开中，选择衬底212的主体224的各种参数以减少或消除可能导致扫描镜216过度和/或无意移动的不期望的谐振模式。例如主体224的各种参数可以被选择以使主体224比由玻璃增强塑料制成的已知衬底更硬，使得在mems扫描镜系统206的操作过程中，主体224弯曲更少(例如与已知mems扫描镜系统的玻璃增强塑料衬底等相比)或完全没有弯曲。可以被选择以减少或消除可能导致扫描镜216过度和/或无意移动的谐振模式的衬底212的主体224的参数的示例包括但不限于构成主体224的(多种)材料、主体224的弹性模量、主体224的热膨胀系数(cte)、主体224的尺寸(例如主体224的厚度t、主体224的表面积与主体224的厚度t的比率、主体224的长度和/或宽度等)、主体224的形状、主体224的密度和/或类似物。
27.在一些示例中，衬底212的主体224被制造成使得主体224具有弹性模量值，该弹性模量值被配置为减少或消除可能导致扫描镜216过度和/或无意移动的不期望的谐振模式。例如主体224可以被提供有大于或等于大约58吉帕斯卡(gpa)的弹性模量。在一些示例中，衬底212的主体224被制造成使得主体224具有大于或等于大约100gpa、大于或等于大约200gpa、大约60gpa和大约500gpa之间、或在大约200gpa和大约400gpa之间的弹性模量。
28.用于制造主体224的(多种)材料、尺寸(例如厚度t、表面积与厚度t的比率、长度和/或宽度等)、主体224的形状、主体224的密度和/或其他参数可被选择以向主体224提供预定的弹性模量值(例如上述示例性弹性模量值等)。在一些示例中，选择主体224的(多种)材料、尺寸、形状、密度和/或其他参数以减少或保持mems扫描镜系统206的重量。此外，对于给定重量和/或大小(例如厚度、长度、宽度、表面积与厚度的比率等)的mems扫描镜系统206，可选择主体224的(多种)材料、尺寸、形状、密度和/或其他参数以增加主体224的刚度(例如与由玻璃增强塑料等制成的已知衬底相比)。
29.在一些示例中，衬底212的主体224被制造成使得主体224具有如下的cte值：(1)被配置为减少或消除可能导致扫描镜216过度和/或无意移动的不期望的谐振模式；和/或(2)被配置为在mems扫描镜系统206的组装期间减少部件应力。例如主体224可以被提供有小于或等于大约百万分之十(ppm)/k的cte。在一些示例中，衬底212的主体224被制造成使得主体224具有小于或等于大约8ppm/k、小于或等于大约5ppm/k、大约5ppm/k之间、或在大约6ppm/k和8ppm/k之间的cte。用于制造主体224的(多种)材料、尺寸(例如厚度t、表面积与厚度t的比率、长度和/或宽度等)、主体224的形状、主体224的密度和/或其他参数可以被选择以向主体224提供预定的cte值(例如上述示例cte值等)。
30.在一些示例中，衬底212的主体224由一种或多种陶瓷材料制成，使得主体224是陶瓷主体。主体224可以包括任意陶瓷材料，诸如但不限于氧化铝、氧化锆分散的氧化铝、氮化
铝、氮化硅、低温共烧陶瓷(ltcc)、金属陶瓷、陶瓷基复合材料(cmc)、氧化物陶瓷、非氧化物陶瓷和/或包括一种或多种陶瓷材料的复合材料。在本公开的范围内，其他陶瓷材料被设想用于与衬底212的主体224一起使用。
31.在衬底212的主体224是陶瓷主体224的示例中，主体224可以具有任意厚度t并且可以具有主体224的表面积与厚度t的任意比率，其使陶瓷主体224能够以减少或消除可能导致扫描镜216的过度和/或无意移动的不期望的谐振模式。例如陶瓷主体224可以具有至少大约0.5毫米(mm)的厚度t。在一些示例中，陶瓷主体224具有至少大约1.0mm、至少大约2.0mm、大约0.5mm和大约5mm之间、大约0.9mm和大约4mm之间、或大于大约5mm的厚度t。如上所述，可选择陶瓷主体224的厚度t以使主体224能够减少或消除不期望的谐振模式，同时：(1)减少或保持mems扫描镜系统206的重量；和/或对于给定的重量和/或大小(例如厚度、长度、宽度、表面积与厚度的比率等)的mems扫描镜系统206，增加主体224的刚度(例如与由玻璃增强塑料等制成的已知衬底相比)。
32.衬底212的主体224可以由除了一种或多种陶瓷材料之外或替代一种或多种陶瓷材料的任意其他(多种)材料制成，以使主体224能够减少或消除可能导致扫描镜216过度和/或无意移动的不期望的谐振模式。用于制造衬底212的主体224的此类其他材料的示例包括但不限于硅、蓝宝石、金刚石和/或类似物。例如诸如但不限于硅、蓝宝石、金刚石和/或类似物的材料可用于制造主体224以增加主体224的刚度(例如与由玻璃增强塑料等所制造的已知衬底相比)和/或为主体224提供预定的cte值。
33.本文公开的示例提供用于mems扫描镜系统的衬底，其减少或消除可能导致mems扫描镜系统的扫描镜的过度和/或无意移动的不期望的谐振模式。因此，本文所公开的衬底示例减少或消除可听噪声(例如经由寄生模式激发的减少或消除等)和/或增加mems扫描镜系统的功率效率。此外，本文公开的衬底示例降低了在mems扫描镜系统的操作和/或组装期间产生的部件应力，从而提高了mems扫描镜系统的可靠性。
34.图6是示出了计算系统300的示例的示意图，计算系统300可以与本文公开的显示设备和mems扫描镜系统一起被利用和/或并入到本文公开的显示设备和mems扫描镜系统中。计算系统300以简化形式示出。计算系统300可以采用一个或多个虚拟现实hmd设备、混合现实hmd设备、平视显示设备、移动设备屏幕、监视器、电视机、个人计算机、平板计算机、家庭娱乐计算机、游戏设备、移动计算设备、移动通信设备(例如智能手机等)和/或其他计算设备的形式。
35.计算系统300包括逻辑机302和存储机304。计算系统300可选地包括显示子系统306、输入子系统308、通信子系统310和/或图6中未示出的其他组件。
36.逻辑机302包括被配置为执行指令的一个或多个物理设备。例如逻辑机302可以被配置为执行作为一个或多个应用、服务、程序、例程、库、对象、组件、数据结构、其他逻辑构造和/或类似物的一部分的指令。这样的指令可以被实施以执行任务、实现数据类型、转换一个或多个组件的状态、实现技术效果和/或以其他方式达到期望的结果。
37.逻辑机302可以包括被配置为执行软件指令的一个或多个处理器或控制器。附加地或替代地，逻辑机302可以包括一个或多个硬件或固件逻辑机，其被配置为执行硬件或固件指令。逻辑机302的处理器可以是单核或多核，并且在其上执行的指令可以被配置用于顺序、并行和/或分布式处理。逻辑机302的各个组件可选地分布在两个或更多个单独的设备
之间，这些设备可以远程定位和/或被配置用于协调处理。逻辑机302的各方面可以由被配置为云计算配置的远程可访问的联网计算设备虚拟化和执行。
38.存储机304包括一个或多个物理设备，该物理设备被配置为保存可由逻辑机302执行以操作本文公开的显示设备和/或mems扫描镜系统的指令。在本文公开的显示设备和/或mems扫描镜系统的操作期间，存储机304的状态可以被转换——例如以保存不同的数据。
39.存储机304可以包括可移除和/或内置设备。应当理解，存储机304包括一个或多个物理设备。然而，可选地，本文描述的指令的方面可以通过不被物理设备保持有限持续时间的通信介质(例如电磁信号、光信号等)传播。可以使用可由计算系统300访问的任意计算机可读介质来提供计算机可执行指令。计算机可读介质可以包括例如计算机存储介质，诸如存储器和通信介质。诸如存储器的计算机存储介质包括以用于存储诸如计算机可读指令、数据结构、程序模块等的信息的任意方法或技术所实现的易失性和非易失性、可移除和不可移除介质。计算机存储介质包括但不限于ram、rom、eprom、eeprom、闪存或其他存储技术、cd-rom、数字多功能磁盘(dvd)或其他光存储、磁带盒、磁带、磁盘存储或其他磁存储设备、或可用于存储信息以供计算装置访问的任意其他非传输介质。相反，通信介质可以在诸如载波或其他传输机制的调制数据信号中体现计算机可读指令、数据结构、程序模块等。如本文所定义，计算机存储介质不包括通信介质。因此，计算机存储介质不应被解释为传播信号本身。传播的信号本身不是计算机存储介质的示例。
40.逻辑机302和存储机304的方面可以一起集成到一个或多个硬件逻辑组件中。例如此类硬件逻辑组件可能包括现场可编程门阵列(fpga)、程序和专用集成电路(pasic/asic)、程序和专用标准产品(pssp/assp)、片上系统(soc)、复杂可编程逻辑器件(cpld)等。
41.术语“模块”、“程序”和“引擎”可用于描述被实现为执行特定功能的计算系统300的一个方面。在一些示例中，模块、程序和/或引擎可以经由逻辑机302执行由存储机304保持的指令来实例化。应该理解，不同的模块、程序和/或引擎可以从相同的应用、服务、代码块、对象、库、例程、api、函数等实例化。同样，相同的模块、程序和/或引擎可以由不同的应用、服务、代码块、对象、例程、api、函数等实例化。术语“模块”、“程序”和“引擎”可以涵盖单独的或成组的可执行文件、数据文件、库、驱动程序、脚本、数据库记录等。
42.应当理解，如本文所使用的，“服务”是跨多个用户会话可执行的应用程序。服务可用于一个或多个系统组件、程序和/或其他服务。在一些实现中，服务可以在一个或多个服务器计算设备上运行。
43.当被包括时，显示子系统306可用于呈现由存储机器304保持的数据的视觉表示。类似于由存储机304保持的数据如何改变，从而转换存储机304的状态被转换后，显示子系统306的状态同样可以被转换以在视觉上表示底层数据的变化。显示子系统306可以包括利用任意类型技术的一个或多个显示设备。这样的显示设备可以与逻辑机302和/或存储机304组合在共享的外壳中，或者这样的显示设备可以是外围显示设备。
44.当被包括时，输入子系统308可以包括一个或多个用户输入设备或与一个或多个用户输入设备对接，诸如但不限于键盘、鼠标、触摸屏、游戏控制器、其他输入设备等。在一些示例中，输入子系统308可以包括选定的自然用户输入(nui)组件或与选定的自然用户输入(nui)组件对接。这种组件可以是集成的或外围的，输入动作的转换和/或处理可以在板上或板外处理。示例nui组件可以包括用于语音和/或声音识别的麦克风；用于机器视觉和/
或手势识别的红外、彩色、立体和/或深度相机；用于运动检测和/或意图识别的头部跟踪器、眼球跟踪器、加速度计和/或陀螺仪；用于评估大脑活动的电场传感组件；和/或类似物。
45.当被包括时，通信子系统310可以被配置为与一个或多个其他计算设备通信地耦合。通信子系统310可以包括与一种或多种不同通信协议兼容的有线和/或无线通信设备。作为非限制性示例，通信子系统310可以被配置用于经由无线电话网络或者有线或无线局域网或广域网进行通信。在一些实施例中，通信子系统310可以允许计算系统300经由网络(例如互联网等)向和/或从其他设备发送和/或接收消息。
46.替代地或除了本文描述的其他示例之外，示例包括以下各项的任意组合：
[0047]-一种微机电系统(mems)扫描镜系统，包括：
[0048]
衬底，包括陶瓷主体；
[0049]
致动器框架，被安装在所述衬底的所述陶瓷主体上，所述致动器框架包括至少一个可移动构件；
[0050]
至少一个致动器，操作地被连接到所述至少一个可移动构件，使得所述致动器被配置为移动所述至少一个可移动构件；以及
[0051]
扫描镜组件，被安装到所述至少一个可移动构件，使得所述至少一个可移动构件的移动使所述扫描镜组件移动。
[0052]-其中所述衬底的所述陶瓷主体包括以下至少一项：氧化铝、氧化锆分散的氧化铝、氮化铝、氮化硅、低温共烧陶瓷(ltcc)、金属陶瓷、陶瓷基复合材料(cmc)、氧化物陶瓷、非氧化物陶瓷或复合材料。
[0053]-其中所述衬底的所述陶瓷主体包括大于或等于约58吉帕斯卡(gpa)的弹性模量。
[0054]-其中所述衬底的所述陶瓷主体包括至少约0.5毫米(mm)的厚度。
[0055]-其中所述衬底的所述陶瓷主体包括至少约1.0毫米(mm)的厚度。
[0056]-其中所述衬底的所述陶瓷主体包括小于或等于约百万分之十(ppm)/k的热膨胀系数(cte)。
[0057]-其中所述致动器框架包括安装在所述衬底的陶瓷主体上的安装构件，所述安装构件被连接到至少一个可移动构件，使得所述至少一个可移动构件漂浮在所述衬底上方。
[0058]-其中所述至少一个致动器包括压电(pzt)致动器。
[0059]-一种微机电系统(mems)扫描镜系统，包括：
[0060]
衬底，包括弹性模量大于或等于约58吉帕斯卡(gpa)的主体；
[0061]
致动器框架，被安装在所述衬底的所述主体上，所述致动器框架包括至少一个可移动构件；
[0062]
至少一个致动器，操作地被连接到所述至少一个可移动构件，使得所述致动器被配置为移动所述至少一个可移动构件；以及
[0063]
扫描镜组件，被安装到所述至少一个可移动构件，使得所述至少一个可移动构件的移动使所述扫描镜组件移动。
[0064]-其中所述基底的所述主体包括以下至少一项：陶瓷、硅、蓝宝石或金刚石。
[0065]-其中所述基底的所述主体包括至少约0.5毫米(mm)的厚度。
[0066]-其中所述基底的所述主体包括至少约1.0毫米(mm)的厚度。
[0067]-其中衬底主体包括小于或等于大约百万分之十(ppm)/k的热膨胀系数(cte)。
[0068]-其中至少一个致动器包括压电(pzt)致动器。
[0069]-一种显示设备，包括：
[0070]
光源；
[0071]
一种微机电系统(mems)扫描镜系统，包括：
[0072]
衬底，包括陶瓷主体；
[0073]
致动器框架，被安装在所述衬底的所述陶瓷主体上，所述致动器框架包括至少一个可移动构件；
[0074]
至少一个致动器，操作地连接到所述至少一个可移动构件，使得所述致动器被配置为移动所述至少一个可移动构件；以及
[0075]
扫描镜组件，被安装到所述至少一个可移动构件，使得所述至少一个可移动构件的移动使所述扫描镜组件移动；以及
[0076]
控制器，操作地连接到光源和所述mems扫描镜系统，所述控制器被配置为控制所述mems扫描镜系统和所述光源，以基于从视频源接收的视频图像数据来发射光。
[0077]-其中所述mems扫描镜系统的所述衬底的所述陶瓷主体包括以下至少一项：氧化铝、氧化锆分散氧化铝、氮化铝、氮化硅、低温共烧陶瓷(ltcc)、金属陶瓷、陶瓷基复合材料(cmc)、氧化物陶瓷、非氧化物陶瓷或复合材料。
[0078]-其中所述mems扫描镜系统的所述衬底的所述陶瓷主体包括大于或等于大约58吉帕斯卡(gpa)的弹性模量。
[0079]-其中所述mems扫描镜系统的所述衬底的所述陶瓷主体包括至少约0.5毫米(mm)的厚度。
[0080]-其中所述mems扫描镜系统的所述衬底的所述陶瓷主体包括至少约1.0毫米(mm)的厚度。
[0081]-其中所述mems扫描镜系统的所述衬底的所述陶瓷主体包括小于或等于大约百万分之十(ppm)/k的热膨胀系数(cte)。
[0082]
应当理解，以上描述旨在是示意性的，而不是限制性的。例如上述实施例、示例和方面可以彼此组合使用。此外，已经结合目前认为是最实用和优选的实施例描述了本发明，应当理解本发明不限于所公开的实施例，相反，旨在以涵盖包括在本发明的精神和范围内的各种修改和等效布置。此外，任意给定组件的每个独立特征或部件可以构成附加实施例。此外，在不背离其范围的情况下，可以进行许多修改以使特定情况或材料适应本公开的教导。本文描述的各种部件的尺寸、材料类型、取向以及各种部件的数量和位置旨在定义某些实施例的参数，并且绝不是限制性的并且仅仅是示例性实施例。在阅读以上描述后，在权利要求的精神和范围内的许多其他实施例和修改对于本领域技术人员将是显而易见的。因此，本公开的范围应当参照所附权利要求以及这些权利要求所享有的等同物的全部范围来确定。
[0083]
在某些实施例的上述描述中，为了清楚起见，使用了特定术语。然而，本公开不旨在限于如此选择的特定术语，并且应当理解，每个特定术语包括以类似方式操作以实现类似技术目的的其他技术等同物。诸如“顺时针”和“逆时针”、“左”和“右”、“上”、“下”、“前”和“后”、“上”和“下”等术语被用作提供参考点的方便词并且不应被解释为限制性术语。
[0084]
当介绍本公开的方面的元素或其示例时，冠词“一”、“一个”、“该”和“所述”旨在表
示存在一个或多个元素。术语“包括”、“包括”和“具有”旨在具有包容性，并表示可能存在除所列元素之外的其他元素。例如在本说明书中，“包括”一词应理解为“开放”意义，即“包括”的意义，因此不限于其“封闭”意义，即“仅由以下组成”。对应的含义应归属于它们出现的对应词语“包括”、“包括”、“包括”、“具有”、“具有”、“包括”和“包括”。此外，对“一个实施例”的引用并不旨在被解释为排除也包含所述特征的附加实施例的存在。此外，除非明确相反地说明，“包括”或“具有”具有特定属性的一个或多个元件的实施例可以包括不具有该属性的附加元件。术语“示例性”旨在表示“示例”。短语“以下一项或多项：a、b和c”是指“a中的至少一种和/或b中的至少一种和/或c中的至少一种”。此外，在以下权利要求中，术语“第一”、“第二”和“第三”等仅用作标签，并不旨在对它们的对象施加数字要求。此外，以下权利要求的限制不是以装置-加-功能格式，并且不旨在根据35usc
§
112(f)进行解释，除非并且直到此类权利要求限制明确使用短语“用于
…
的装置”后跟没有进一步结构的功能声明。
[0085]
尽管本文中可以使用术语“步骤”和/或“块”来表示所采用的方法的不同要素，但这些术语不应被解释为暗示本文所公开的各个步骤之中或之间的任意特定顺序，除非当明确描述了各个步骤的顺序。除非另有说明，否则本文说明和描述的本公开的示例中的执行顺序或操作的执行不是必需的。除非另有说明，否则操作可以以任意顺序执行，并且本公开的示例可以包括比本文所公开的那些更多或更少的操作。因此预期在另一操作之前、同时或之后执行或执行特定操作在本公开的方面的范围内。
[0086]
已经详细描述了本公开的方面，很明显，在不脱离如所附权利要求中限定的本公开的方面、实施例和示例的范围的情况下，修改和变体是可能的。由于可以在不脱离本公开的各方面的范围的情况下对上述结构、产品、系统和方法进行各种改变，因此上述描述中包含的和附图中所示的所有内容应被解释为示意性的而不是限制性的。