基板的位置对准方法与流程

1.本发明涉及基板的位置对准方法。详细而言，本发明涉及即使对于在周缘产生了翘曲的基板也能够进行准确的中心位置对准、或者能够进行准确的角度对准的基板的位置对准方法。


背景技术：

2.以往，在半导体晶片(以下记为基板)的对准工序中使用的对准器装置中，为了设定基板的准确的位置和朝向而进行载置到载物台上的基板的准确的中心位置对准。另外，进行利用了定向平面、凹口等基准标记或附加到基板表面的各种标记等的角度对准。
3.在这样的对准器装置中，为了应对镜面状、透明、半透明等或在表面附加有激光标记的基板，提出了一种具备对基板的周缘的一部分进行拍摄的照相机的装置(专利文献1)。
4.在专利文献1所公开的对准器装置中，为了对基板周缘进行拍摄而搭载有在极窄的范围内对焦的固定焦点照相机和半透明反射镜。该对准器装置对被照明照射的基板的边缘和基板外进行拍摄，将拍摄到的图像内的亮度相应量显示出显著的变化率的位置作为基板的边缘的位置进行检测。
5.现有技术文献
6.专利文献
7.专利文献1：日本特开2016-63028号公报


技术实现要素：

8.发明所要解决的课题
9.对准器装置在对准工序中使基板旋转来测定处于规定角度的基板的边缘的位置，并使用该测定结果，进行基板的中心位置对准、基准标记的角度对准。例如，使用测定得到的角度θ和距基板旋转中心的距离r，进行基板的中心位置对准、基准标记的角度对准。
10.但是，在处理具有翘曲的基板的情况下，根据翘曲的状态，照相机的镜头与基板之间的距离与没有翘曲的平坦基板的情况下的镜头与基板之间的距离不同。其结果是，拍摄时的光学倍率根据翘曲的状态而变化。由此，边缘的位置的测定值产生差，基板中心位置、基板边缘的角度的计算精度降低。
11.另外，专利文献1所记载的对准器装置在处理在边缘周边存在翘曲的基板的情况下，使载置有基板的载物台升降至在拍摄到的图像中明确地表现出亮度分布的变化率的程度，来校正基板的高度。
12.但是，该对准器装置即使在校正基板的高度而使照相机焦点对焦于基板边缘的情况下，也仅针对使基板每次旋转90
°
时的四个点求出基板的高度的校正量。另外，该对准器装置通过利用基于规定算法的样条曲线进行曲线拟合，仅推定遍及基板的整周的翘曲。
13.这样，在专利文献1所记载的对准器装置中，基板的中心位置对准的精度降低，进而设置于边缘的基准标记的角度位置对准的精度降低。另外，无法准确地掌握遍及基板的
整周的翘曲的状态。
14.因此，本发明的目的在于解决上述现有技术所具有的问题，提供一种能够对周缘产生了翘曲的基板进行准确的中心位置对准的基板的位置对准方法。或者，提供一种能够进行准确的角度对准的基板的位置对准方法。
15.用于解决课题的手段
16.为了实现上述目的，本发明的基板的位置对准方法的特征在于，包括：使用光学单元，遍及载置到载物台上的基板的整周而测定所述基板的边缘各部分的位置，由此取得表示所述边缘各部分的位置的一次位置数据的步骤；
17.使所述载物台在规定方向上移动规定量，使用所述光学单元，遍及所述载物台移动后的所述基板的整周而测定所述基板的边缘各部分的位置，由此取得表示移动后的所述边缘各部分的位置的二次位置数据的步骤；
18.使用所述一次位置数据和所述二次位置数据，计算所述载物台移动前与移动后的所述边缘各部分的位置的差分量的步骤；及
19.根据各个所述差分量和所述载物台的移动量计算所述边缘各部分的光学倍率的比率，并基于计算出的所述边缘各部分的光学倍率的比率来校正所述一次位置数据的所述边缘各部分的位置，取得校正位置数据的步骤。
20.优选为，还包括基于所述校正位置数据，将所述基板的中心位置或设置于所述基板的基准标记的位置对准的步骤。
21.优选为，所述边缘各部分的位置由具备图像传感器的拍摄单元对载置到所述载物台上的所述基板进行了拍摄时的、所述图像传感器上的位置表示。
22.优选为，所述光学倍率的比率为利用所述光学单元使具有翘曲的基板成像时的光学倍率相对于利用所述光学单元使没有翘曲的平板状的基板成像时的光学倍率之比。
23.优选为，所述光学倍率的比率根据在基板产生的翘曲的状态而变化，通过将该光学倍率的比率的倒数与表示所述一次位置数据的所述边缘各部分的位置的坐标相乘，由此求出表示所述校正位置数据的所述边缘各部分的位置的坐标。
24.发明效果
25.根据本发明的结构，能够对周缘产生了翘曲的基板进行准确的中心位置对准。或者，能够进行准确的角度对准。
附图说明
26.图1是示意性地表示使用本发明的实施方式所涉及的基板的位置对准方法的对准器装置的主视图。
27.图2是示意性地表示图1所示的对准器装置的俯视图。
28.图3是利用实施方式所涉及的基板的位置对准方法进行位置对准的偏心的基板的俯视图。
29.图4是计算基板中心位置的处理的流程图。
30.图5是计算基准标记的角度的处理的流程图。
31.图6a是示意性地表示使基板绕θ轴旋转一周时的各旋转角度下的基板，并且连续示意性地表示用图像传感器对该基板进行了拍摄时的图像传感器上的边缘位置的展开图。
32.图6b是图6a所示的边缘位置的放大展开图。
33.图6c是为了表示在图6a所示的基板的边缘的规定部位产生的翘曲的状态而将翘曲量在周向上展开的展开图。
34.图6d是将利用图像传感器对具有翘曲的边缘部分的基板进行了拍摄时的图像传感器上的边缘位置在周向上展开的展开图。
35.图7a是产生翘曲而成为曲面状的基板的俯视图。
36.图7b是将图7a所示的基板的边缘位置在周向上展开的展开图。
37.图8是对翘曲的基板的边缘位置进行拍摄的对准器装置的光学系统的概念图。
38.图9是表示由基板产生的翘曲引起的光学倍率的变化的概念图。
39.图10a是使边缘向上侧翘曲的结果是基板侧距离为du的基板在y方向上移动了规定量的情况下的对准器装置所具备的光学系统的概念图。
40.图10b是使边缘向下侧翘曲的结果是基板侧距离为d
l
的基板在y方向上移动了规定量的情况下的对准器装置所具备的光学系统的概念图。
41.图11是本发明的实施方式所涉及的对准处理的流程图。
42.图12是本发明的实施方式所涉及的位置数据的校正处理的流程图。
43.图13是以3d视觉性地表示在基板产生的翘曲的状态的cg模型图。
具体实施方式
44.以下，参照附图对本发明的基板的位置对准方法的一个实施方式进行说明。
45.图1是通过本发明的实施方式所涉及的基板w的位置对准方法进行基板w的对准的对准器装置10的主视图。图2是其俯视图。另外，在图1中，为了容易理解，除了对准器装置10的外观之外，还示出了内部结构的一部分。
46.在对准器装置10中，内置于装置主体13(以下简称为主体13)的驱动装置(未图示)将基板w载置于从主体13上表面突出的载物台11上表面，载物台11通过吸附该基板w来保持基板w。然后，对准器装置10取得所保持的基板w的边缘位置信息，测定基板w的中心位置和形成于基板w的边缘的凹口等基准标记的位置，进行角度对准。
47.详细而言，未图示的基板输送机器人的臂将基板w输送到对准器装置10，并将该基板w载置到俯视为圆形的载物台11上。此时，如图1、图2中的假想线所示，基板w以其中心与载物台11的旋转轴(即θ轴12)大致一致的方式被载置。然后，基板w被组装到载物台11的公知的真空卡盘等(未图示)吸附，并被保持于载物台11。
48.载物台11通过组装到主体13内的与上述不同的未图示的驱动装置而在图2所示的x、y方向上水平滑动，而且还通过旋转轴(θ轴12)而向正反方向旋转。载物台11根据来自未图示的控制部的指令，通过驱动装置进行动作，由此对吸附保持于载物台11上表面的基板w赋予规定的并行移动、旋转。
49.[对准器装置的结构]
[0050]
如图1所示，对准器装置10为了取得载物台11上的基板w的边缘位置信息，具备对基板w的边缘进行拍摄的照相机20和用于确保拍摄时的光量的照明30。
[0051]
照相机20为了对保持在载物台11上的基板w的边缘进行拍摄，以确保规定距离的方式收容到从主体13立起设置的箱体21内。照相机20使用镜头23的焦点被固定的固定焦点
照相机。该镜头23位于开放的箱体21的下表面。另外，镜头23具有使基板上表面位于景深内的大致中央的程度的焦点距离。而且，在收容镜头23的镜筒的成像面位置配置有图像传感器24，在该图像传感器24，在基板侧设定有规定的工作距离(wd)。在本实施方式中，作为图像传感器24，使用了cmos(complementary metal oxide semiconductor：互补金属氧化物半导体)线性图像传感器(以下，将cmos线性图像传感器简称为图像传感器)。
[0052]
另外，照相机20和上述的驱动装置能够根据来自箱体21内的控制部25的指令，使基板w的拍摄定时、拍摄定时的间隔与拍摄时的基板w的旋转量同步。另外，能够使基板w的拍摄定时与基板w通过载物台11而旋转了规定的旋转量时同步。而且，能够使拍摄的时间间隔成为与基板w的旋转量相应的间隔。
[0053]
另外，照相机20是本说明书、权利要求书中所述的拍摄单元的一例。镜头23是光学单元的一例。
[0054]
另一方面，照明30配置于镜头23与主体13上表面之间，并且配置于保持于载物台11的基板w的边缘的下侧。在本实施方式中，照明30使用了作为面光源发挥功能的led照明。由此，如图2的放大图部分所示，照相机20对被位于下方的照明30照射的基板w的背面(基板上表面)侧进行拍摄。并且，在图像传感器具备呈棒状的受光面时，在该受光面形成由基板w遮住光的暗部和被来自照明装置30的入射光照射的亮部划分的像。
[0055]
[边缘位置信息的取得方法]
[0056]
在此，参照图3～图5对取得作为用于进行基板w的中心位置对准和基准标记的角度对准的基本信息的基板w的边缘位置信息的取得方法、和基板w的中心位置的计算及基准标记的角度计算的过程进行说明。
[0057]
参照图3、图4对使用了基板w的边缘位置信息的中心位置的计算过程进行说明。通常使用基板输送机器人的臂将基板w临时载置到对准器装置10的载物台11上，但此时存在载物台11的旋转轴(θ轴12)与基板w的中心位置稍微偏心的情况。
[0058]
图3是利用实施方式所涉及的基板w的位置对准方法进行位置对准的偏心的基板w的俯视图。另外，在图3中，在基板w上示意性地示出了用于取得基板w的边缘位置信息的位置信息。
[0059]
如图3所示，基板w的中心位置(xw，yw)相对于基板w的旋转中心(xr，yr)、即载物台11的旋转轴(θ轴12)发生了偏移。其结果是，基板w处于从旋转轴(θ轴12)偏心了偏心量(a，b)的状态。
[0060]
在该状态下，如图4的流程图所示，使基板w绕θ轴12旋转360
°
,在该基板w旋转时，利用照相机20拍摄基板w。然后，使用拍摄到的图像来测定边缘的位置。详细而言，以规定的取样数s(例如s＝20000)对基板w进行拍摄。然后，使用拍摄到的图像，取得由极坐标数据表示的边缘位置(ri，θi)(步骤s11)。
[0061]
接着，以基板w为圆形为前提，判别作为基准标记位置的凹口n的范围(例如rn、θn的前后)。由此，取得基准标记位置(rn，θn)(步骤s12)。
[0062]
接着，根据除去这些基准标记位置后的边缘位置(ri，θi)计算基板半径r，并根据在该计算中所使用的边缘位置(ri，θi)和计算出的基板半径r求出偏心量(a，b)。然后，根据所求出的偏心量(a、b)最终计算出基板w的中心位置(xw，yw)(步骤s13)。
[0063]
另外，由于已知各种根据对象体的旋转中心求出对象物的中心坐标的公知方法，
所以当然可以适当地采用本方法以外的计算方法。
[0064]
而且，基准标记的角度计算只要计算图3所示的基准标记位置(rn，θn)与基板中心位置(xw，yw)所成的角度θ
nw
即可(图5所示的步骤s21)。另外，在基板中心位置、基准标记的角度的计算过程中，优选将各坐标值转换为适于运算的坐标系来处理。
[0065]
图6a是示意性地表示使基板w绕θ轴12旋转一周时的各旋转角度下的基板w，并且连续示意性地表示用图像传感器24对该基板w进行了拍摄时的图像传感器24上的边缘位置的展开图。图6b是图6a所示的边缘位置的放大展开图。
[0066]
在图6a所示的状态下，基板w以中心位置从旋转中心偏心的方式载置到载物台11上。因此，当对相对于基板w的绕θ轴12的旋转角度的位置进行标绘时，图像传感器24上的边缘位置如图6b所示那样描绘平滑的曲线。由于该曲线在基准标记(凹口)位置处成为不连续的状态，所以在取得边缘位置信息的情况下，如上所述需要判别该基准标记位置并将其排除。
[0067]
[基板的翘曲的影响]
[0068]
但是，在对准器装置10中，有时会进行具有不妨碍使用的程度的翘曲的基板w的对准。图7a是产生翘曲而成为曲面状的基板w的俯视图。图7b是将图7a所示的基板w的边缘位置在周向上展开的展开图。另外，在图7a中，为了容易理解，除了俯视的基板w之外，还示出了侧视的基板w。
[0069]
图7a所示的具有翘曲的基板w的边缘位置如图7b所示，若将没有翘曲的位置作为基准位置，则从该基准位置向上侧或下侧平滑地变化。另外，在图7a及图7b中，基板w的翘曲在角度90
°
、270
°
的位置向上侧成为最大。另外，与图7b同样地，图6c是为了表示在图6a所示的基板w的边缘的规定部位产生的翘曲的状态而将翘曲量在周向上展开的展开图。
[0070]
图8是对翘曲的基板w的边缘位置进行拍摄的对准器装置10的光学系统的概念图。另外，在图8中，除了具有翘曲的基板w之外，为了进行说明，还示出了没有翘曲的平板状的基板w。另外，关于具有翘曲的基板w，也为了进行说明，除了向上翘曲的基板w之外，还示出了向下翘曲的基板w。其结果是，在图8中，重叠描绘了三种状态的基板w。
[0071]
如图8所示，在具有翘曲的基板w中，从其边缘到镜头23的距离(以下记为基板侧距离)d
l
或du与没有翘曲的平板状的基板w的基板侧距离d0不同。由于对准器装置10采用了固定焦点式的光学系统，所以当基板侧距离d
l
、du与基板侧距离d0不同时，如图8所示，从镜头23的中心到图像传感器24中的基板w的边缘成像的位置为止的距离(以下记为传感器侧距离)也与上述没有翘曲的平板状的基板w的传感器侧距离不同。由此，根据翘曲的有无和翘曲的程度，在图像传感器24上成像的边缘位置发生变化。其结果是，光学倍率发生变动。另外，在图8中，为了容易说明，基板侧距离不是从镜头23的厚度方向的中心(即主点)而是从镜头23的基板侧(物体侧)表面到基板w的距离。
[0072]
参照其他附图来说明该光学倍率的变动。图6d是将用图像传感器24对具有翘曲部分的基板w(参照图6a和图6c)进行了拍摄时的、图像传感器24上的边缘位置在周向上展开的展开图。另外，在图6d中，用虚线表示具有翘曲部分的基板w的边缘位置。
[0073]
如图6d所示，在图像传感器24上，具有翘曲部分的基板w的边缘的位置与没有翘曲的基板w的边缘的位置发生偏移。其结果是，具有翘曲部分的基板w的边缘在图像传感器24上被投影到与没有翘曲的基板w的边缘不同的位置。
[0074]
图9是表示由基板w产生的翘曲引起的光学倍率的变化的概念图。另外，在图9中，为了表示光学倍率的变化，显示了刻度。
[0075]
如图9所示，在向上侧翘曲而在上侧具有边缘的基板w的情况下，光学倍率比平板状的基板w的光学倍率大。另外，在向下侧翘曲而在下侧具有边缘的基板w的情况下，光学倍率比平板状的基板w的光学倍率小。因此，在取得具有翘曲的基板w的边缘的位置信息时，若光学系统的光学倍率恒定，则所取得的位置信息的精度明显降低。
[0076]
[翘曲的影响的去除]
[0077]
(分辨率的定义)
[0078]
在本实施方式中，着眼于光学倍率根据图9所示的基板侧距离的变化而变化这一点。并且，在本实施方式中，对在成为基准的位置(高度)处使基板w例如在水平方向上移动时的基板w的实际的移动量、和此时的投影到图像传感器24上的传感器上的移动量进行测定，并使用所得到的传感器上的移动量相对于实际的移动量的对应关系，根据投影到图像传感器24上的边缘的位置信息推定具有翘曲的基板w的基板侧距离(参照图10a及图10b)。
[0079]
(基准距离处的分辨率)
[0080]
作为去除基板w的翘曲的影响的前提，首先定义分辨率re。即，将从作为镜头23与被摄体之间的基准的距离(以下记为基准距离)起的被摄体端部的移动量、与投影到图像传感器24上的拍摄面(即上述的受光面)的被摄体端部的移动量之比定义为分辨率re。
[0081]
更详细而言，在将被摄体端部的移动量(载物台的移动量)设为a(单位为mm)、将投影到图像传感器的拍摄面的被摄体端部的移动量设为b(单位为像素(pixel))的情况下，分辨率re表示为
[0082]
re＝b/a(pixel/mm)
…
(式1)。
[0083]
因此，使被摄体端部移动(滑动)了δ(mm)时的图像传感器24上的被摄体端部的移动量δ(pixel)为
[0084]
δ＝re
×
δ(pixel)
…
(式2)。
[0085]
(光学倍率比率的设定)
[0086]
图9所示的b状态表示距镜头23为基准距离的被摄体端部移动了规定量δ时的、投影到图像传感器24上的拍摄面的被摄体端部的移动量δ0。并且，在图9中，将该移动量δ0作为基准值，用刻度显示移动量δ0。此时，基准距离处的光学倍率r0为r0＝δ0/δ。并且，在镜头23与被摄体端部之间的距离(被摄体侧距离)未知且被摄体端部移动了δi(mm)时的、图像传感器24的拍摄面上的被摄体端部的移动量为δi(pixel)时，测定值δi(pixel)与基准值δ0(pixel)满足以下关系：
[0087]
δi/δ0＞1
…
被摄体处于比基准距离近的位置(图9所示的a状态)；
[0088]
δi/δ0＝1
…
被摄体处于基准距离的位置(图9所示的b状态)；及
[0089]
δi/δ0小于1
…
被摄体处于比基准距离远的位置(图9所示的c状态)。
[0090]
(位置数据的校正)
[0091]
图10a是使边缘向上侧翘曲的结果是基板侧距离为du的基板w在y方向上移动了规定量δy的情况下的对准器装置10所具备的光学系统的概念图。图10b是使边缘向下侧翘曲的结果是基板侧距离为d
l
的基板w在y方向上移动了规定量δy的情况下的光学系统的概念图。另外，在图10a和图10b中，为了容易理解，还一并示出了使平板状的基板w在y方向上移
动了规定量δy的情况下的光学系统。
[0092]
如图10a所示，在边缘向上侧翘曲的基板w的情况下，在图像传感器24的拍摄面上的移动量δu比平板状的基板w的情况下的移动量δ0大。另外，如图10b所示，在边缘向下侧翘曲的基板w的情况下，在图像传感器24的拍摄面上的移动量δ
l
比平板状的基板w的情况下的移动量δ0小。此时，如果知道根据基准距离d0时的光学倍率和从基准距离d0离开规定距离的距离du(或距离d
l
)时的光学倍率而求出的它们的比率r，则通过使其倒数(1/r)乘以移动前的位置数据，能够校正移动前的位置数据而转换为没有翘曲的状态下的位置数据。
[0093]
[本实施方式的对准的过程]
[0094]
图11是对准处理的流程图，图12是位置数据的校正处理的流程图。如图11及图12所示，在对准处理中，利用上述光学倍率的比率r的关系，遍及周缘具有翘曲的基板w的整周校正位置数据。然后，使用校正后的位置数据进行基板中心位置的计算、基准标记的角度计算。以下，参照图11和图12进行详细说明。
[0095]
首先，虽然未图示，但将具有翘曲的基板w载置到对准器装置10的载物台11上，并保持于载物台11。接着，通过使载物台11的旋转轴(θ轴12)旋转，使基板w绕旋转轴(θ轴12)旋转，在该基板w的旋转过程中，用照相机20拍摄基板w的边缘。然后，在拍摄到的各个图像中，测量拍摄到基板w的边缘的边缘图像部分的图像内坐标。由此，如图11所示，遍及基板w的整周取得一次边缘位置(ri，θi)(步骤s31)。然后，将所取得的位置数据(一次位置数据)保存到存储部。
[0096]
在取得一次边缘位置之后，使保持有基板w的载物台11的旋转轴(θ轴12)在y方向上滑动规定量(δy)(步骤s32，参照图2、图10a及图10b)。在本实施方式中设为δy＝2mm。
[0097]
接着，与步骤s31同样地，使基板w绕移动后的载物台11的旋转轴(θ轴12)旋转，并用照相机20拍摄该旋转的基板w的边缘。然后，在拍摄到的各个图像中，测量边缘图像部分的图像内坐标。由此，遍及基板w的整周取得二次边缘位置(rj，θj)(步骤s33)。将该位置数据(二次位置数据)保存到存储部。
[0098]
接着，基于一次位置数据和二次位置数据来进行位置数据校正(步骤s34)。
[0099]
在该位置数据校正的处理中，如图12所示，从存储部读出一次位置数据和二次位置数据，并遍及整周计算所读出的一次位置数据与二次位置数据的各边缘位置(ri，θi)、(rj，θj)的差分量δ
i＝j
(步骤s341)。
[0100]
接着，计算各位置处的光学倍率的比率(步骤s342)。这里，比率r为r
i＝j
＝(δ
i＝j
/δy)。
[0101]
接着，使用计算出的该比率r，将一次位置数据校正为没有翘曲的状态的数据(步骤s343)。详细而言，使用以下所示的式3，校正一次位置数据的各一次边缘位置(ri，θi)。由此，得到表示没有翘曲的状态的边缘位置的校正位置数据。其结果是，将数据更新。这里，所谓式3的校正边缘位置，是图12所记载的校正位置数据。所谓一次边缘位置，是图12所记载的一次位置数据。由此，位置数据的校正完成。
[0102]
校正边缘位置＝(一次边缘位置
×
1/r)
…
(式3)
[0103]
在位置数据校正完成后，返回到图11的对准处理。接着，使用校正后的位置数据进行基板中心位置的计算(步骤s35)。接着，计算基准标记的角度(步骤s36)。之后，使基板w旋转、滑动，由此修正基板w的位置(步骤s37)。通过以上的步骤，对准处理结束。通过该对准处
理，对于具有翘曲的基板w，能够高精度地进行去除了翘曲的影响的基板w的中心位置对准和基准标记的角度对准。
[0104]
另外，如图13所示，在使用了个人计算机的cg(computer graphics：计算机图形)模型中，用点群表示基板w的边缘，以3d形式描绘翘曲的量，由此能够在视觉上容易地确认翘曲的朝向(产生部位)、翘曲量。在图13中，一并描绘了表示没有翘曲的基板w的边缘的基准高度的点群a和表示具有翘曲的基板w的边缘的高度的点群b。例如，在对作为产品的基板w的翘曲量设定了规定值的情况下的、翘曲量是否满足规定值的检查中，例如根据翘曲量将超过规定值的范围的点群的描绘颜色区分为黄色(容许范围内)
→
红色(容许范围以上)来进行显示，由此能够在视觉上容易地确认、掌握针对翘曲状态的检查结果。由此，能够实现基板w的品质管理的效率化、高精度化。
[0105]
以上，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述实施方式。例如，在上述实施方式中，基板在俯视下为圆形，但在本发明中，基板的俯视形状是任意的。例如，也可以是俯视为矩形那样的俯视为圆形以外的形状。另外，在上述实施方式中，图像传感器具备呈棒状的受光面，但图像传感器的受光面的形状也是任意的。受光面也可以是矩形。
[0106]
本发明能够在不脱离本发明的广义的精神和范围的情况下实现各种实施方式和变形。另外，上述的实施方式是用于说明本发明的实施方式，并不限定本发明的范围。即，本发明的范围不是由实施方式表示，而是由权利要求书表示。并且，在权利要求书及其同等的发明的意义的范围内实施的各种变形被视为在本发明的范围内。
[0107]
本技术基于2019年8月22日申请的日本专利申请特愿2019-152239号。本说明书中引用日本专利申请特愿2019-152239号的说明书、权利要求书、附图整体作为参照。
[0108]
标号说明
[0109]
10 对准器装置
[0110]
11 载物台
[0111]
12 旋转轴(θ轴)
[0112]
20 照相机
[0113]
23 镜头
[0114]
24 图像传感器
[0115]
30 照明
[0116]
w 基板