干燥装置及干燥方法与流程

1.本发明涉及一种干燥装置及干燥方法。


背景技术：

2.目前，作为显示装置使用多种方式的显示装置，代表性地可列举液晶显示装置(liquid crystal display，lcd)及有机发光显示装置(organic light-emitting diode，oled)。液晶显示装置是包括背光单元并通过将从背光单元发出的光阻断或透过来显示图像的方式的显示装置。另外，有机发光显示装置为最近备受瞩目的显示装置，其具有自发光特性，与液晶显示装置不同，不需要额外的光源。
3.在制造这种显示装置用基板时，可能会执行如在有机发光显示装置的基板上沉积多种材料的工艺和以干燥工艺及烘烤工艺为首的热处理工艺等的多种工艺。热处理工艺是为了形成具有所需特性的膜且为了诱导材料的物理变化或化学变化或者去除载体液体而执行的。


技术实现要素：

4.本发明所要解决的技术课题是提供一种干燥装置及干燥方法，该干燥装置及干燥方法能够实时检测干燥腔室内部的溶剂蒸气浓度的分布。
5.本发明所要解决的另一技术课题是提供一种干燥装置及干燥方法，该干燥装置及干燥方法能够以检测到的干燥腔室内部的溶剂蒸气浓度的分布为基础局部控制基板的干燥速度。
6.本发明的技术课题不限于上面提到的技术课题，根据以下的记载，本领域技术人员应能清楚理解未提到的其他技术课题。
7.用于实现上述技术课题的本发明的一实施例的干燥装置可包括：载物台，用于支撑基板，并且包括对所述基板进行加热的多个加热块；以及干燥上板，设置在所述载物台的上部，并且包括在多个位置检测从所述基板产生的溶剂蒸气(solvent vapor)的浓度的多个溶剂传感器。
8.所述多个位置可包括第一位置及第二位置，所述多个溶剂传感器包括：第一溶剂传感器，用于在所述第一位置检测所述溶剂蒸气的第一浓度；以及第二溶剂传感器，用于在所述第二位置检测所述溶剂蒸气的第二浓度，所述多个加热块包括与所述第一位置对应的第一加热块及与所述第二位置对应的第二加热块，在所述第一浓度高于所述第二浓度的情况下，所述第一加热块的加热温度被设定为高于所述第二加热块的加热温度。
9.在所述第一浓度低于所述第二浓度的情况下，所述第一加热块的加热温度可被设定为低于所述第二加热块的加热温度。
10.所述多个溶剂传感器可以在所述干燥上板上沿对角线设置。
11.所述多个溶剂传感器可以在所述干燥上板上以x字形设置。
12.所述多个溶剂传感器可以在所述干燥上板上以十字形设置。
13.所述多个加热块可以在所述载物台上以阵列形设置。
14.所述多个加热块可以在所述载物台上以同心四边形设置。
15.所述多个加热块可以在所述载物台上以同心圆形设置。
16.所述干燥装置可进一步包括与真空泵连接以排出所述溶剂蒸气的真空管路(vacuum line)。
17.用于实现上述技术课题的本发明的一实施例的干燥装置可包括：用于对基板进行加热的多个加热块；多个溶剂传感器，用于在多个位置检测从所述基板产生的溶剂蒸气的浓度；以及干燥速度控制装置，根据由所述多个溶剂传感器测量出的所述浓度来控制所述多个加热块的加热温度，从而调节所述基板的干燥速度。
18.所述多个位置可包括第一位置及第二位置，所述多个溶剂传感器包括：第一溶剂传感器，用于在所述第一位置检测所述溶剂蒸气的第一浓度；以及第二溶剂传感器，用于在所述第二位置检测所述溶剂蒸气的第二浓度，所述多个加热块包括与所述第一位置对应的第一加热块及与所述第二位置对应的第二加热块，在所述第一浓度高于所述第二浓度的情况下，所述干燥速度控制装置以所述第一加热块的加热温度高于所述第二加热块的加热温度的方式进行设定。
19.在所述第一浓度低于所述第二浓度的情况下，所述干燥速度控制装置可以以所述第一加热块的加热温度低于所述第二加热块的加热温度的方式进行设定。
20.所述干燥速度控制装置可包括第一接口及第二接口，所述第一接口用于接收由所述多个溶剂传感器检测出的浓度数据，所述第二接口用于发送用于设定所述多个加热块的加热温度的指令。
21.所述干燥速度控制装置可包括处理器，所述处理器接收由所述多个溶剂传感器检测的浓度数据的输入并计算所述多个加热块的加热温度。
22.所述干燥装置可进一步包括与真空泵连接以排出所述溶剂蒸气的真空管路。
23.用于实现上述技术课题的本发明的一实施例的干燥方法可包括以下步骤：向包括多个加热块的载物台提供基板；向所述载物台的上部提供包括多个溶剂传感器的干燥上板；利用所述多个溶剂传感器，在多个位置检测从所述基板产生的溶剂蒸气的浓度；以及根据由所述多个溶剂传感器测量出的所述浓度来控制所述多个加热块的加热温度，从而调节所述基板的干燥速度。
24.所述多个位置可包括第一位置及第二位置，所述多个溶剂传感器包括：第一溶剂传感器，用于在所述第一位置检测所述溶剂蒸气的第一浓度；以及第二溶剂传感器，用于在所述第二位置检测所述溶剂蒸气的第二浓度，所述多个加热块包括与所述第一位置对应的第一加热块及与所述第二位置对应的第二加热块，在所述第一浓度高于所述第二浓度的情况下，调节所述干燥速度的步骤包括以所述第一加热块的加热温度高于所述第二加热块的加热温度的方式进行设定的步骤。
25.在所述第一浓度低于所述第二浓度的情况下，调节所述干燥速度的步骤可包括以所述第一加热块的加热温度低于所述第二加热块的加热温度的方式进行设定的步骤。
26.调节所述干燥速度的步骤可包括根据预先设定的时间模式检测所述浓度并控制所述加热温度的步骤。
27.根据本发明的实施例，通过将多个溶剂传感器设置于干燥上板上并且实时检测干
燥腔室内部的溶剂蒸气的浓度分布，能够检测基板的按位置干燥速度的差异，并且通过局部控制差异较大的位置的干燥速度，能够均匀地形成发光层的厚度。
28.此外，根据本发明的实施例，具备干燥速度控制装置，该干燥速度控制装置根据由多个溶剂传感器测量出的浓度来控制多个加热块的加热温度，从而调节基板的干燥速度，因此能够自动执行干燥速度调节及发光层的厚度调节。
附图说明
29.图1是用于说明本发明的一实施例的干燥装置的图。
30.图2至图5是用于说明本发明的一实施例的干燥方法的图。
31.图6至图8是用于说明本发明的实施例的干燥上板的图。
32.图9至图11是用于说明本发明的实施例的载物台的图。
33.图12是用于说明本发明的一实施例的干燥装置的图。
34.图13是用于说明本发明的一实施例的干燥方法的流程图。
具体实施方式
35.下面，参照附图对本发明的多种实施例进行详细说明，使得本发明所属技术领域的技术人员能够易于实施。本发明可以以多种不同的形式实现，并不限定于在此说明的实施例。
36.为了明确说明本发明，省略了与说明无关的部分，在说明书全文中对相同或相似的结构要素使用相同的附图标记。
37.此外，为方便起见，任意表示附图所示的各结构的大小及厚度，因此本发明并不一定限定于图示的内容。在附图中，为了明确表达多个层及区域，放大表示厚度。并且，为了方便说明，在附图中夸张地表示部分层及区域的厚度。
38.此外，当提到层、膜、区域、板等部分位于其他部分的“上方”或“上部”时，这不仅包括“直接”位于其他部分的“上方”的情况，还包括在其中间存在又一部分的情况。相反，当提到某部分“直接”位于其他部分的“上方”时，意味着在中间不存在其他部分。此外，位于成为基准的部分的“上方”或“上部”是指位于成为基准的部分的上方或下方，并不意味必须朝向重力相反方向而位于“上方”或“上部”。
39.此外，在说明书全文中，当提到某部分“包括”某结构要素时，在没有特别相反的记载的情况下，这表示并不排除其他结构要素，可进一步包括其他结构要素。
40.此外，在说明书全文中，当提到“俯视上”时，这表示从上方观察对象部分时的情况，当提到“剖面上”时，这表示从侧面观察竖直剖切对象部分后的剖面时的情况。
41.图1是用于说明本发明的一实施例的干燥装置的图。
42.参照图1，本发明的一实施例的干燥装置1在使用喷墨印刷法的情况下，可以考虑发光层用油墨的蒸气浓度的分布来调节油墨的干燥速度，干燥装置1可包括干燥腔室10及真空管路12。喷墨印刷法在喷墨印刷腔室中向基板滴落用于形成发光层的发光层用油墨来对各个像素形成发光层，并且在干燥腔室10中对该基板进行干燥，关于此的详细内容将在后面参照图2至图5进行描述。
43.在喷墨印刷腔室中滴落有发光层用油墨的基板110可运入干燥腔室10，以便对基
板110执行干燥工艺。在本实施例中，干燥腔室10可包括载物台100、多个加热块102、干燥上板120及多个溶剂传感器122。
44.载物台100可在干燥工艺中支撑基板110。载物台100可以是基板托盘或夹盘，但本发明的范围并不限于此，根据需要，载物台100可被实现为能够上下移动，以便调节载物台100与干燥上板120之间的距离。
45.载物台100可包括多个加热块102。多个加热块102可设置为与载物台100的上表面相接或设置为靠近载物台100的上表面，从而对搭载于载物台100的基板110进行加热。多个加热块102以适合调节基板110上的油墨的干燥速度的温度进行加热，一般可被设定为具有比后续的烘烤工艺低的水平的加热温度。
46.特别是，多个加热块102可被设定为对应于不同位置的加热块可具有分别不同的加热温度。换言之，对于多个加热块102来说，针对基板110与干燥上板120之间的多个位置，可分别控制与该位置对应的加热块102。例如，在基板110与干燥上板120之间，多个位置可包括第一位置及第二位置，多个加热块102可包括与第一位置对应的第一加热块及与第二位置对应的第二加热块。根据干燥工艺的进展状况，第一加热块的加热温度可以被设定为高于第二加热块的加热温度，第一加热块的加热温度也可以被设定为低于第二加热块的加热温度，第一加热块的加热温度还可以被设定为与第二加热块的加热温度相同。
47.干燥上板120可设置在载物台100的上部。在载物台100上搭载有基板110的情况下，干燥上板120可设置在基板110的上部。根据需要，干燥上板120可被实现为能够上下移动来调节干燥上板120与载物台100或搭载在载物台100上的基板110之间的距离，或者被实现为通过左右移动来实现干燥上板120与载物台100或搭载在载物台100上的基板110之间的对准。
48.干燥上板120可包括多个溶剂传感器122。多个溶剂传感器122设置为与干燥上板120的下表面相接或设置为靠近干燥上板120的下表面，从而可在基板110与干燥上板120之间的多个位置检测从基板110产生的溶剂蒸气的浓度。根据具体的实现目的，多个溶剂传感器122可具备可供干燥腔室10内的包含从油墨产生的溶剂蒸气在内的气体穿过的孔(hole)或通道，以便使多个溶剂传感器122有效地暴露于溶剂蒸气，多个溶剂传感器122可从流过孔或通道的气体检测溶剂蒸气的浓度。
49.特别是，多个溶剂传感器122可对不同的各个位置分别检测溶剂蒸气的浓度。例如，在基板110与干燥上板120之间，多个位置可包括第一位置及第二位置，多个溶剂传感器122可包括：第一溶剂传感器，用于在第一位置检测溶剂蒸气的第一浓度；以及第二溶剂传感器，用于在第二位置检测溶剂蒸气的第二浓度。
50.真空管路12与真空泵连接，可将干燥腔室10内部的溶剂蒸气排出到外部。为了使溶剂蒸气流动，在真空管路12与真空泵之间可设置有阀门，阀门例如可以是节流阀，但本发明的范围并不限于此。另外，真空泵可以是粗抽泵(roughing pump)、粗抽泵及涡轮泵或粗抽泵及极低温泵(cryogenic pump)，粗抽泵可以是干式泵，例如涡旋泵、隔膜泵、螺杆泵等，但本发明的范围并不限于此。
51.在本实施例中，在基板110上可形成有用于构造显示装置的以显示层、触摸层、防反射层等为首的多种层的半导体材料，本发明的范围并不限于此，在基板110上可形成有用于制造任何显示装置的任何半导体材料。并且，需要注意的是，只要是对应用喷墨印刷法的
显示装置的干燥工艺，不管干燥工艺的对象为何物，均可应用本发明的实施例。此外，本发明的范围覆盖利用油墨来制造薄膜的所有工艺，例如覆盖用于制造印刷oled、太阳能电池、传感器、qd(量子点)滤光片等的所有工艺。
52.为了便于说明，在本实施例中，假设为了形成有机发光显示装置的显示层，在基板110上形成有分隔壁112、由分隔壁112划分且形成像素的绝缘膜114、像素电极116及发光层118。但如前所述，本实施例可应用到在喷墨印刷腔室中滴落有任何发光层用油墨的任何基板。即，虽然在图1中示出显示装置的一例，但本发明的显示装置并不限于此，显示装置例如也可以具有在基板110的整个面上形成绝缘膜114之后在绝缘膜114上形成分隔壁112的结构。
53.基板110可包含塑料以便具有柔韧特性，或者可由不具有柔韧特性的玻璃形成。包含塑料的基板110可包含聚苯乙烯(polystyrene)、聚乙烯醇(polyvinyl alcohol)、聚甲基丙烯酸甲酯(polymethyl methacrylate)、聚醚砜(polyethersulfone)、聚丙烯酸酯(polyacrylate)、聚醚酰亚胺(polyetherimide)、聚萘二甲酸乙二醇酯(polyethylene naphthalate)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(polyethylene terephthalate)、聚苯硫醚(polyphenylene sulfide)、聚芳酯(polyarylate)、聚酰亚胺(polyimide)、聚碳酸酯(polycarbonate)、三醋酸纤维素(triacetate cellulose)和醋酸丙酸纤维素(cellulose acetate propionate)中的至少一种。另外，基板110可进一步包含可弯曲或可折叠的柔性材料，可以是单层或多层。另外，在基板110上可进一步形成有缓冲层、阻挡层等，但本发明的范围并不限于此。
54.在基板110包含塑料材料的情况下，在载物台100的加热块102与基板110之间可进一步包括由玻璃等形成的移动用基板(未图示)。可通过移动用基板来防止基板110的塑料材料被直接加热而改变特性。
55.在基板110上可包括绝缘膜114、像素电极116及发光层118。本实施例的基板110为包含在有机发光显示装置中的基板，虽然未图示，可进一步包括多个晶体管，多个晶体管可进一步包括半导体层、导电层及位于它们之间的绝缘膜。
56.绝缘膜114可为了提高发光层118的发光效率而形成，可包含如聚甲基丙烯酸甲酯(pmma)或聚苯乙烯(ps)的一般的通用高分子、具有酚类基团的高分子衍生物、丙烯酸类高分子、酰亚胺类高分子、聚酰亚胺、丙烯酸类聚合物、硅氧烷类聚合物等的有机绝缘物质，但本发明的范围并不限于此。
57.像素电极116可形成在绝缘膜114上。可对每个像素(pixel)分别提供像素电极116。像素电极116可包含如银(ag)、锂(li)、钙(ca)、铝(al)、镁(mg)、金(au)的金属，也可以包含如氧化铟锡(ito)及氧化铟锌(izo)的透明导电氧化物(tco)，但本发明的范围并不限于此。
58.像素可由分隔壁112限定。分隔壁112可包含如聚甲基丙烯酸甲酯(pmma)或聚苯乙烯(ps)的一般通用高分子、具有酚类基团的高分子衍生物、丙烯酸类高分子、酰亚胺类高分子、聚酰亚胺、丙烯酸类聚合物、硅氧烷类聚合物等的有机绝缘物质。分隔壁112可包含黑色染料而不透光。
59.发光层118可包含固有地发出红色、绿色及蓝色等的基本颜色的光的物质层。另外，发光层118也可以具有层叠有发出不同颜色的光的多个物质层的结构。
60.以上，以有机发光显示装置为基础并将发光层118作为有机物质进行了说明。但是，根据实施例，基板110可以是在液晶显示装置或有机发光显示装置中包含滤色器或颜色变换层的基板，此时，发光层118可以是由有机物质形成的滤色层或颜色变换层。除此之外，根据实施例，发光层118可以是包含多种有机物质、无机物质、量子点的物质层。此外，本发明的实施例不仅可以应用到发光层的干燥，还可以应用到液晶显示装置的取向膜、有机发光显示装置的封装层等通过喷墨来形成的任何层的干燥中。
61.以下，参照图2至图5说明关于发光层118执行的示意性工艺，该工艺为通过喷墨印刷法滴落油墨，使滴落到基板110上的油墨干燥，并进行烘烤。
62.图2至图5是用于说明本发明的一实施例的干燥方法的图。
63.参照图2，在喷墨印刷腔室中，可向形成有绝缘膜114及像素电极116的基板110上滴落用于形成发光层118a的油墨。具体而言，滴落装置14可通过向由分隔壁112限定的像素区域滴落油墨的方式在基板110上涂布油墨。当然，其他层114、116也可以通过与发光层118a相同或相似的方式来形成。
64.在喷墨印刷腔室的内部，为了滴落油墨，可设置有用于搭载基板110的载物台、包括具备至少一个喷嘴的喷墨头的滴落装置14及用于对准滴落装置14的对准传感器等。此外，在喷墨印刷腔室的内部还可以设置有移送装置，该移送装置用于使滴落装置14移动到所需位置。
65.另外，作为由滴落装置14滴落到基板110上的发光层用油墨的溶剂，可使用均三甲苯(mesitylen)、四氢萘(tetralin)或环己酮(cyclohexanone)等有机溶剂，但本发明的范围并不限于此，可使用能够对发光层用油墨带来任意影响的多种溶剂。
66.接着，参照图3，完成油墨滴落工艺的基板110可从喷墨印刷腔室被运出并运入干燥腔室10。在图2及图3的步骤中，发光层118a包含溶剂，发光层118a的溶剂可在后续的干燥工艺中被去除。
67.接着，参照图4，随着在干燥腔室10中执行干燥工艺，从发光层118b产生溶剂蒸气。从发光层118b产生的溶剂蒸气可在沿图4中箭头所示的路径向干燥上板120方向移动之后，经过基板110的左右侧面方向的通道，通过载物台100下部的真空管路12排出到外部。与真空管路12连接的真空泵可促进溶剂蒸气的排出。
68.而在该工艺中，在基板110与干燥上板120之间，溶剂蒸气的浓度可能会按位置不同。即，在基板110与干燥上板120之间，溶剂蒸气的浓度分布可能在图4的左右方向上不均匀。
69.导致溶剂蒸气的浓度分布不均匀的因素可具有多种情况。例如可以列举：在干燥工艺中抽真空速度慢于从基板110产生溶剂蒸气的速度的情况、因某种原因溶剂蒸气在干燥上板120与基板110之间缓慢移动的情况、以及因干燥上板120与基板110之间的间隔窄而一部分发光层118b再次吸收溶剂蒸气的情况等。由此，在发光层118b的干燥速度上可能会产生差异，由此发光层118b的干燥形貌不同，发光层118b的厚度可能会不均匀地形成。
70.例如，在图4中，在基板110的中间区域(以下称为“中心区域”)中的发光层118b的干燥速度可能比在基板110的两端区域(以下称为“边缘区域”)中的发光层118b的干燥速度慢。即，中心区域的干燥可能比边缘区域的干燥以更慢的速度发生。由此，中心区域的发光层118b的干燥形貌和边缘区域的发光层118b的干燥形貌可能会不同。
71.为了防止这种不均匀或使之最小化，多个溶剂传感器122a、122b可在第一位置(例如，边缘区域)及第二位置(例如，中心区域)上检测溶剂蒸气的浓度。即，第一溶剂传感器122a可在边缘区域检测溶剂蒸气的第一浓度，第二溶剂传感器122b可在中心区域检测溶剂蒸气的第二浓度。
72.多个溶剂传感器122a、122b也可以在干燥工艺中的任意时刻检测溶剂蒸气的浓度，也可以按预先确定的时间间隔检测溶剂蒸气的浓度或者按预先确定的时间模式检测溶剂蒸气的浓度。当然，多个溶剂传感器122a、122b还可以实时检测溶剂蒸气的浓度。
73.可对如此由多个溶剂传感器122a、122b收集的按位置溶剂蒸气的浓度数据进行分析并将其应用于工艺改善。例如，可根据收集到的溶剂蒸气的浓度数据，以如下的多种方式来进行操作，使得整个区域中的发光层118b的干燥形貌变得均匀，上述多种方式为：调节真空泵的抽吸速度、调节干燥上板120与基板110之间的间隔、或者调节载物台100的温度等。
74.特别是，对如此由多个溶剂传感器122a、122b收集到的按位置溶剂蒸气的浓度数据进行分析的结果，在与第二溶剂传感器122b相邻的位置的发光层118b的干燥速度与在与第一溶剂传感器122a相邻的位置的发光层118b的干燥速度相差规定范围以上的情况下，可利用多个加热块102a、102b来增强缓慢的干燥速度。
75.具体而言，多个加热块102a、102b可以以促进干燥的程度的适当温度对基板110进行加热，并且可包括彼此独立操作的与第一位置对应的第一加热块102a及与第二位置对应的第二加热块102b。
76.例如，在第一浓度高于第二浓度的情况下，第一加热块102a的加热温度可被设定为高于第二加热块102b的加热温度。由此在邻接于第一加热块102a的位置，发光层118b的溶剂蒸气的排出更活跃，从而干燥速度能够相对增加。相反，在第一浓度低于第二浓度的情况下，第一加热块102a的加热速度可被设定为低于第二加热块102b的加热温度。由此在邻接于第二加热块102b的位置，发光层118b的溶剂蒸气的排出更活跃，从而干燥速度能够相对增加。
77.如此，通过将多个溶剂传感器122a、122b设置在干燥上板120上并实时检测干燥腔室10内部的溶剂蒸气的浓度分布，从而能够检测基板110的按位置干燥速度的差异，例如，可利用能够分别设定加热温度的多个加热块102a、102b，局部控制差异较大的位置的干燥速度，从而均匀地形成发光层的厚度。
78.接着，参照图5，可对完成干燥工艺的基板110执行烘烤工艺。为了烘烤工艺，基板110在被运入设置有加热器16的烘烤腔室之后，从室温被加热至约250℃至约350℃水平的最高温度。在完成烘烤工艺之后，如图5所示，发光层118c可具有上表面扁平的形状的轮廓。
79.图6至图8是用于说明本发明的实施例的干燥上板的图。
80.参照图6，在本发明的一实施例的干燥上板120a上可以以x字形设置有包括溶剂传感器122a的多个溶剂传感器，参照图7，在本发明的另一实施例的干燥上板120b上可沿对角线设置有包括溶剂传感器122b的多个溶剂传感器。另外，参照图8，在本发明的又一实施例的干燥上板120c上可以以十字形设置有包括溶剂传感器122c的多个溶剂传感器。
81.当然，图6至图8所示的溶剂传感器的设置形式只是示例性的，本发明的范围并不限于此，干燥上板的溶剂传感器可被实现为能够高效而精确地控制干燥速度的任意设置形式以便均匀地形成发光层的厚度。
82.图9至图11是用于说明本发明的实施例的载物台的图。
83.参照图9，在本发明的一实施例的载物台100a上可以以阵列形设置有包括加热块102a的多个加热块，参照图10，在本发明的另一实施例的载物台100b上可以以同心四边形设置有包括加热块102b的多个加热块。另外，参照图11，在本发明的又一实施例的载物台100c上可以以同心圆形设置有包括加热块102c的多个加热块。这些多个加热块中的至少两个加热块可被实现为分别独立操作，也可以被实现为同时一起操作。
84.当然，图9至图11所示的加热块的设置形式只是示例性的，本发明的范围并不限于此，载物台的加热块可被实现为能够在基板的所需位置设定被精确控制的加热温度的任意设置形式。
85.图12是用于说明本发明的一实施例的干燥装置的图。
86.参照图12，本发明的一实施例的干燥装置2可包括干燥腔室10、真空管路12及干燥速度控制装置20。关于干燥腔室10及真空管路12的详细内容可参照在前面参照图1至图5说明的内容，在此省略重复说明。
87.干燥速度控制装置20可被构造为根据由多个溶剂传感器122a、122b测量的浓度来控制多个加热块102a、102b的加热温度而调节基板110的干燥速度。
88.例如，第一溶剂传感器122a在第一位置检测溶剂蒸气的第一浓度，第二溶剂传感器122b在第二位置检测溶剂蒸气的第二浓度，第一加热块102a与第一位置对应，第二加热块102b与第二位置对应，在第一浓度高于第二浓度的情况下，干燥速度控制装置20可设定为第一加热块102a的加热温度高于第二加热块102b的加热温度。与此不同地，在第一浓度低于第二浓度的情况下，干燥速度控制装置20可设定为第一加热块102a的加热温度低于第二加热块102b的加热温度。
89.为此，在本实施例中，干燥速度控制装置20可至少包括第一接口及第二接口，该第一接口用于接收由多个溶剂传感器122a、122b检测的浓度数据，该第二接口用于发送用于设定多个加热块102a、102b的加热温度的指令，干燥速度控制装置20可由具备处理器的电子装置实现，该处理器接收由多个溶剂传感器122a、122b检测的浓度数据的输入并计算多个加热块102a、102b的加热温度。当然，本发明的范围并不限于此，干燥速度控制装置20也可以由包括前述结构中的一部分或全部结构的其他硬件实现，也可以由硬件和执行上述功能中的一部分或全部功能的软件的组合来实现，还可以只由执行上述功能中的一部分或全部功能的软件实现。
90.图13是用于说明本发明的一实施例的干燥方法的流程图。
91.参照图13，本发明的一实施例的干燥方法可包括：步骤s1301，向包括多个加热块102a、102b的载物台100提供基板110；以及步骤s1303，向载物台100的上部提供包括多个溶剂传感器122a、122b的干燥上板120。
92.在此，载物台100及干燥上板120可被提供为能够分别上下移动以便调节彼此之间的距离。此外，关于对载物台100及干燥上板120的更为详细的内容可参照前述说明。
93.此外，干燥方法可进一步包括：步骤s1305，利用多个溶剂传感器122a、122b，在多个位置检测从基板110产生的溶剂蒸气的浓度。
94.在此，多个溶剂传感器122a、122b可具备可供干燥腔室10内的包含从油墨产生的溶剂蒸气在内的气体穿过的孔或通道，以便使多个溶剂传感器122a、122b有效地暴露于溶
剂蒸气，多个溶剂传感器122a、122b可从流过孔或通道的气体检测溶剂蒸气的浓度。此外，关于对多个溶剂传感器122a、122b的更为详细的内容可参照前述说明。
95.此外，干燥方法可进一步包括：步骤s1307，根据由多个溶剂传感器122a、122b测量的浓度来控制多个加热块102a、102b的加热温度，从而调节基板110的干燥速度。
96.在此，多个加热块102a、102b可被设定为与不同位置对应的加热块可具有分别不同的加热温度。此外，关于对多个加热块102a、102b的更为详细的内容可参照前述说明。
97.在此，多个位置包括第一位置及第二位置，多个溶剂传感器122a、122b包括：第一溶剂传感器122a，用于在第一位置检测溶剂蒸气的第一浓度；以及第二溶剂传感器122b，用于在第二位置检测溶剂蒸气的第二浓度，多个加热块102a、102b包括与第一位置对应的第一加热块102a及与第二位置对应的第二加热块102b，在第一浓度高于第二浓度的情况下，调节干燥速度的步骤可包括以第一加热块102a的加热温度高于第二加热块102b的加热温度的方式进行设定的步骤。
98.与此不同地，在第一浓度低于第二浓度的情况下，调节干燥速度的步骤可包括以第一加热块102a的加热温度低于第二加热块102b的加热温度的方式进行设定的步骤。
99.另外，调节干燥速度的步骤可包括根据预先确定的时间模式检测浓度并控制加热温度的步骤。不仅如此，调节干燥速度的步骤也可以包括在任意时刻检测浓度并控制加热温度的步骤，或者包括以预先确定的时间间隔控制加热温度的步骤。当然，调节干燥速度的步骤还可以包括实时检测浓度并控制加热温度的步骤。
100.根据到此说明的本发明的实施例，通过将多个溶剂传感器设置在干燥上板上并实时检测干燥腔室内部的溶剂蒸气的浓度分布，能够检测基板的按位置干燥速度的差异，并且通过局部控制差异较大的位置的干燥速度，能够均匀地形成发光层的厚度。
101.此外，根据本发明的实施例，具备干燥速度控制装置，该干燥速度控制装置根据由多个溶剂传感器测量的浓度来控制多个加热块的加热温度，从而调节基板的干燥速度，因此能够自动执行干燥速度调节及发光层的厚度调节。
102.以上对本发明的实施例进行了详细说明，但本发明的权利范围并不限于此，本领域技术人员利用所附的权利要求书中定义的本发明的基本概念进行的各种变形及改良形式也属于本发明的权利范围内。
103.附图标记说明
104.1、2：干燥装置
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10：干燥腔室
105.100：载物台
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102：加热块
106.110：基板
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112：分隔壁
107.114：绝缘膜
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116：像素电极
108.118：发光层
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120：干燥上板
109.122：溶剂传感器
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12：真空管路
110.14：滴落装置
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16：加热器