一种半导体生产用清洁装置的制作方法

技术特征：
1.一种半导体生产用清洁装置，包括底座(1)，所述底座(1)下方四角均安装有支撑腿(2)，其特征在于，所述底座(1)的上方铰接有矩形块(3)，所述矩形块(3)一侧的底座(1)的上方安装有固定块(4)，所述固定块(4)一侧放置有插销(5)，且插销(5)贯穿固定块(4)插入到矩形块(3)内，所述矩形块(3)一面开设有下料孔(6)，所述下料孔(6)内放置有环形清洁块(7)，所述矩形块(3)的底面开设有滑槽(8)，所述滑槽(8)内放置有梯形清洁块(9)，所述梯形清洁块(9)的一侧开设有卡槽(10)，所述滑槽(8)的一侧内壁上安装有限位块(11)，且限位块(11)位于卡槽(10)内；所述底座(1)的一面开设有矩形槽(12)，所述矩形槽(12)一端的底壁上安装有l形支撑块(13)，所述l形支撑块(13)上放置有齿条(14)，所述齿条(14)的末端安装有推板(15)，所述矩形块(3)一侧的底座(1)上安装有推动电机(16)，所述推动电机(16)的输出轴上安装有第一齿轮(17)，且第一齿轮(17)与齿条(14)相啮合，所述矩形槽(12)的底壁上安装有矩形清洁块(18)，所述底座(1)的下方安装有旋转机构。2.根据权利要求1所述的一种半导体生产用清洁装置，其特征在于，所述旋转机构包括放置在环形清洁块(7)内的吸盘(19)，所述底座(1)的下方放置有第二齿轮(20)，所述第二齿轮(20)一侧安装有第三齿轮(21)，所述第二齿轮(20)与第三齿轮(21)的上方均安装有套筒(22)，所述套筒(22)的一端与底座(1)的底面轴承连接，所述第三齿轮(21)下方螺纹连接有螺纹杆(23)，且螺纹杆(23)的一端与吸盘(19)相连，两条所述支撑腿(2)一侧安装有旋转电机(24)，且旋转电机(24)的输出轴与第二齿轮(20)相连。3.根据权利要求1所述的一种半导体生产用清洁装置，其特征在于，所述矩形块(3)的上方对称安装有两块导向块(25)，且两块导向块(25)分别位于环形清洁块(7)的上方两侧。4.根据权利要求1所述的一种半导体生产用清洁装置，其特征在于，所述支撑腿(2)下方安装有防滑垫。5.根据权利要求1所述的一种半导体生产用清洁装置，其特征在于，所述环形清洁块(7)的上方设置有引导倒角。

技术总结
本实用新型涉及半导体生产技术领域，尤其是一种半导体生产用清洁装置，包括底座，所述底座下方四角均安装有支撑腿，所述底座的上方铰接有矩形块，所述矩形块一侧的底座的上方安装有固定块，所述固定块一侧放置有插销，且插销贯穿固定块插入到矩形块内，所述矩形块一面开设有下料孔，所述下料孔内放置有环形清洁块，所述矩形块的底面开设有滑槽，所述滑槽内放置有梯形清洁块，所述梯形清洁块的一侧开设有卡槽，所述滑槽的一侧内壁上安装有限位块，且限位块位于卡槽内。该装置通过环形清洁块来清洁晶圆半导体的外壁，通过矩形清洁块和梯形清洁块来清洁晶圆半导体的顶部和底部，避免了清洁死角，使清洁更加彻底。使清洁更加彻底。使清洁更加彻底。


技术研发人员：ꢀ(74)专利代理机构
受保护的技术使用者：马鞍山思派科创科技有限公司
技术研发日：2021.08.20
技术公布日：2022/3/29