描画系统的制作方法

1.本发明涉及对基板进行描画的描画系统。
2.[参照相关申请]
[0003]
本技术主张于2020年9月23日申请的日本国专利申请jp2020-158775的优先权的利益，该申请的全部公开内容并入本技术中。


背景技术：

[0004]
以往，通过对形成在半导体基板、印刷电路板、有机el显示装置或液晶显示装置用的玻璃基板(以下称为“基板”)上的感光材料照射光来描画图案。此外，有时对基板的两面描画图案。在这种情况下，为了对准基板的两面的图案描画位置，在基板正面描画图案时，在基板背面形成定位标记。
[0005]
在日本特开2016-48273号公报(文献1)的描画装置中，定位标记形成光源内置在载置基板的描画台中，从定位标记形成光源通过设置于描画台上表面的贯通孔向基板背面照射光来形成定位标记。另外，当反转基板在基板背面描画图案时，通过使用该定位标记进行定位处理，来对准基板的两面的图案描画位置。
[0006]
近年来，为了提高描画装置的处理能力提出了如下方案：在1台描画装置中设置两个载物台，在对一个载物台上的基板进行描画期间，对另一个载物台上的基板进行定位处理等。在这样的双载物台式描画装置中对基板的两面进行图案描画时，对基板正面的图案描画和对基板背面的图案描画可以在同一载物台上进行，也可以在不同载物台上进行。
[0007]
另一方面，基板背面上形成的定位标记的位置和基板正面上描画的图案位置之间的关系对于每个载物台(以及载物台移动机构)不同。因此，若对基板正面和基板背面的图案描画在不同的载物台上进行时，进行与对基板正面和基板背面的图案描画在同一载物台上进行时相同的定位处理，则存在基板正面描画的图案与基板背面描画的图案之间的相对位置产生偏差的担忧。


技术实现要素：

[0008]
本发明面向对基板进行描画的描画系统，其目的在于，提高在基板的两侧主面描画的图案的相对的位置精度。
[0009]
本发明的优选的一方式的描画系统，具备：图案描画部，对在下方水平移动的基板的上侧主面照射光来描画图案；第一搬运机构，具备第一基板保持部以及在所述图案描画部的下方水平移动所述第一基板保持部的第一移动机构；第一标记描画部，对由所述第一基板保持部保持的基板的下侧主面照射光，来描画与所述第一搬运机构相关联的第一定位标记；第二搬运机构，具备第二基板保持部以及在所述图案描画部的下方水平移动所述第二基板保持部的第二移动机构；以及第二标记描画部，对由所述第二基板保持部保持的基板的下侧主面照射光，来描画外观与所述第一定位标记不同的与所述第二搬运机构相关联的第二定位标记。
[0010]
根据上述描画系统，可以提高在基板的两侧主面描画的图案的相对的位置精度。
[0011]
优选地，所述描画系统还具备：存储部，预先存储第一位置关系信息和第二位置关系信息，所述第一位置关系信息表示对由所述第一搬运机构搬运的基板由所述图案描画部在上侧主面描画的图案和由所述第一标记描画部在下侧主面描画的所述第一定位标记之间的相对的位置关系，所述第二位置关系信息表示对由所述第二搬运机构搬运的基板由所述图案描画部在上侧主面描画的图案和由所述第二标记描画部在下侧主面描画的所述第二定位标记之间的相对的位置关系；以及描画控制部，控制所述图案描画部。所述描画控制部在由所述图案描画部在描画有所述第一定位标记的主面描画图案时，基于所述第一位置关系信息调整描画位置，在由所述图案描画部在描画有所述第二定位标记的主面描画图案时，基于所述第二位置关系信息调整描画位置。
[0012]
优选地，所述第一标记描画部具备第一掩模部，所述第一掩模部使来自光源的一部分光通过，所述第二标记描画部具备第二掩模部，所述第二掩模部具有与所述第一掩模部不同的开口，使来自光源的一部分光通过。
[0013]
优选地，所述第一定位标记和所述第二定位标记是非相似形状。
[0014]
优选地，所述第一定位标记是表示与所述第一搬运机构相关的信息的条形码，所述第二定位标记是表示与所述第二搬运机构相关的信息的条形码。
[0015]
优选地，所述图案描画部具备：描画头，朝向下方照射光；以及描画头移动机构，将所述描画头在所述第一搬运机构的上方的第一描画位置和所述第二搬运机构的上方的第二描画位置之间移动。
[0016]
上述目的和其他目的、特征、方式和优点，通过参照附图以下进行的本发明的详细的说明进一步得到明确。
附图说明
[0017]
图1是表示一实施方式的描画装置的立体图。
[0018]
图2是表示第一载物台和第二载物台的一部分的俯视图。
[0019]
图3是表示第一标记器的纵剖面图。
[0020]
图4是表示第二标记器的纵剖面图。
[0021]
图5是表示第一定位标记的仰视图。
[0022]
图6是表示第二定位标记的仰视图。
[0023]
图7是表示计算机的结构的图。
[0024]
图8是表示控制部的功能的框图。
[0025]
图9a是表示描画处理的流程图。
[0026]
图9b是表示描画处理的流程图。
[0027]
图10是表示第一载物台和第二载物台的位置的图。
[0028]
图11是表示第一载物台和第二载物台的位置的图。
[0029]
图12是表示第一载物台和第二载物台的位置的图。
[0030]
图13是表示第一载物台和第二载物台的位置的图。
[0031]
图14是表示第一载物台和第二载物台的位置的图。
[0032]
图15是表示第一载物台和第二载物台的位置的图。
[0033]
图16是表示描画装置的另一例的侧视图。
[0034]
其中，附图标记说明如下：
[0035]
1、1a 描画装置
[0036]
2a 第一搬运机构
[0037]
2b 第二搬运机构
[0038]
4 图案描画部
[0039]
9 基板
[0040]
21a 第一载物台
[0041]
21b 第二载物台
[0042]
22a 第一移动机构
[0043]
22b 第二移动机构
[0044]
51 第一标记描画部
[0045]
52 第二标记描画部
[0046]
91 第一主面
[0047]
92 第二主面
[0048]
93 第一定位标记
[0049]
94 第二定位标记
[0050]
111 存储部
[0051]
114 描画控制部
[0052]
514 第一光圈
[0053]
524 第二光圈
[0054]
s11～s19、s21～s29步骤
具体实施方式
[0055]
图1是表示本发明的一实施方式的描画装置1的立体图。描画装置1是双载物台式直接描画系统，其通过将空间调制的大致光束状的光照射在基板9上的感光材料，将该光的照射区域在基板9上进行扫描来描画图案。在图1中，相互正交的三个方向用箭头表示为x方向、y方向和z方向。在图1所示的例子中，x方向和y方向是相互垂直的水平方向，z方向是铅垂方向。这同样适用于其他图。另外，z方向可以与重力方向一致，也可以不一致。
[0056]
基板9是例如俯视时大致矩形状的板状构件。基板9例如是印刷电路板。在基板9的( z)侧和(-z)侧的主面，在铜层上设置有由感光材料形成的抗蚀剂膜。在描画装置1中，在基板9的该抗蚀剂膜上描画(即，形成)电路图案。在以下的说明中，将基板9的一个主面称为“第一主面91”，将基板9的另一个主面称为“第二主面92”。另外，基板9的种类和形状等可以进行多种变更。
[0057]
描画装置1具备第一搬运机构2a、第二搬运机构2b、摄像部3、图案描画部4、框架7、控制部10。控制部10控制第一搬运机构2a、第二搬运机构2b、摄像部3和图案描画部4。
[0058]
框架7是安装描画装置1的各结构的主体基座部。框架7具备大致长方体形的底座71、横跨底座71的门形的第一机架部72和第二机架部73。第二机架部73靠近第一机架部72的( y)侧配置。在以下的说明中，将第一机架部72和第二机架部73统称为“机架部74”。在底
座71上安装第一搬运机构2a和第二搬运机构2b。第一机架部72支撑摄像部3。第二机架部73支撑图案描画部4。框架7载置在省略图示的台座上。
[0059]
第一搬运机构2a和第二搬运机构2b分别是在摄像部3和图案描画部4的下方(即，(-z)侧)保持和移动基板9的机构。第二搬运机构2b在第一搬运机构2a的( x)侧相邻地配置。第一搬运机构2a和第二搬运机构2b具有大致相同的结构。在图1所示的例子中，由第一搬运机构2a和第二搬运机构2b以使第一主面91朝向上侧(即，( z)侧)的状态保持基板9。
[0060]
第一搬运机构2a具备第一载物台21a和第一移动机构22a。第一载物台21a是从下侧保持大致水平状态的基板9的大致平板状的第一基板保持部。第一载物台21a例如是吸附并保持基板9的下表面的真空卡盘。第一载物台21a可以具有真空卡盘以外的结构。载置在第一载物台21a上的基板9的上侧主面(即，第一主面91)相对于z方向(即，上下方向)大致垂直，且与x方向和y方向大致平行。
[0061]
第一移动机构22a是在大致水平方向(即，大致平行于基板9的上侧主面的方向)上相对于摄像部3和图案描画部4移动第一载物台21a的第一载物台移动机构。第一移动机构22a在摄像部3和图案描画部4下方沿着导轨221a在y方向上直线移动被支撑在导轨221a上的第一载物台21a。由此，由第一载物台21a保持的基板9沿y方向移动。在以下的说明中，y方向也被称为“基板移动方向”。第一移动机构22a的驱动源例如是线性伺服电机或带有电机的滚珠丝杠。第一移动机构22a的结构可以进行多种变更。
[0062]
第二搬运机构2b具备第二载物台21b和第二移动机构22b。第二载物台21b是从下侧保持大致水平状态的基板9的大致平板状的第二基板保持部。第二载物台21b在第一载物台21a的侧方(即，( x)侧)相邻地配置。第二载物台21b的上表面位于在上下方向(即，z方向)上与第一载物台21a的上表面相同的高度。第二载物台21b例如是吸附并保持基板9的下表面的真空卡盘。第二载物台21b可以具有真空卡盘以外的结构。载置在第二载物台21b上的基板9的上侧主面(即，第一主面91)相对于z方向大致垂直，且与x方向和y方向大致平行。保持于第二载物台21b的基板9的上侧主面位于在上下方向上与由第一载物台21a保持的基板9的上侧主面大致相同的高度(即，z方向的大致相同位置)。
[0063]
第二移动机构22b是在大致水平方向(即，大致平行于基板9的上侧主面的方向)上相对摄像部3和图案描画部4移动第二载物台21b的第二载物台移动机构。第二移动机构22b在摄像部3和图案描画部4的下方沿着导轨221b在y方向(即，基板移动方向)上直线移动被支撑在导轨221b上的第二载物台21b。由此，由第二载物台21b保持的基板9沿y方向移动。通过第二移动机构22b的第二载物台21b的移动方向与通过第一移动机构22a的第一载物台21a的移动方向大致平行。第二移动机构22b的驱动源例如是线性伺服电机或带有电机的滚珠丝杠。第二移动机构22b的结构可以进行多种变更。
[0064]
第一移动机构22a和第二移动机构22b在与基板移动方向(即，y方向)交叉的方向上并排配置。在图1所示的例子中，第一移动机构22a和第二移动机构22b在x方向上并排配置，第二移动机构22b与第一移动机构22a的( x)侧的一侧相邻。第一移动机构22a和第二移动机构22b位于在上下方向上大致相同的高度。
[0065]
第一移动机构22a和第二移动机构22b由框架7的底座71从下方支撑。第一移动机构22a和第二移动机构22b从比第二机架部73更靠( y)的一侧向(-y)方向延伸，通过由第二机架部73支撑的图案描画部4的下方以及由第一机架部72支撑的摄像部3的下方，从第一机
架部72向(-y)侧突出。第一机架部72在y方向上位于与第一移动机构22a和第二移动机构22b的y方向的中央部大致相同的位置。换言之，机架部74从第一移动机构22a和第二移动机构22b的y方向的中央部的上方向( y)方向延伸。
[0066]
在描画装置1中，在第一载物台21a位于第一机架部72的(-y)侧的状态下，对第一载物台21a进行基板9的搬入搬出。此外，在第二载物台21b位于第一机架部72的(-y)侧的状态下，对第二载物台21b进行基板9的搬入搬出。
[0067]
如上所述，第一机架部72和第二机架部73以横跨第一搬运机构2a和第二搬运机构2b的方式设置。第一机架部72具备在第一搬运机构2a和第二搬运机构2b的x方向两侧沿z方向延伸的两个支柱部，以及连接两个支柱部的上端部的梁部。该梁部在第一搬运机构2a和第二搬运机构2b的上方沿x方向延伸。第一机架部72的两个支柱部在(-z)侧的端部连接到底座71。第二机架部73具备在第一搬运机构2a和第二搬运机构2b的x方向两侧沿z方向延伸的两个支柱部，以及连接两个支柱部的上端部的梁部。该梁部在第一搬运机构2a和第二搬运机构2b的上方沿x方向延伸。第二机架部73的两个支柱部在(-z)侧的端部连接到底座71。
[0068]
摄像部3具备多个(在图1所示的例子中为两个)摄像头31和摄像头移动机构32。多个摄像头31沿x方向排列且可移动地安装到第一机架部72的梁部。摄像头移动机构32安装在梁部，使多个摄像头31沿着梁部在x方向上移动。摄像头移动机构32的驱动源例如是线性伺服电机或带有电机的滚珠丝杠。在图1所示的例子中，可以改变x方向上两个摄像头31之间的间隔。在摄像部3中，摄像头31的数量可以是1个，也可以是3个以上。
[0069]
各摄像头31是包括未图示的摄像传感器和光学系统的照相机。各摄像头31例如是获取2维图像的区域照相机。摄像传感器具备例如排列成矩阵的电荷耦合器件(charge coupled device，ccd)等的多个元件。在各摄像头31中，从未图示的光源引导到基板9的上侧主面的照明光的反射光经由光学系统引导到摄像传感器。摄像传感器接收来自基板9的上侧主面的反射光并获取大致矩形的摄像区域的图像。作为上述光源，可以使用例如发光二极管(light emitting diode，led)等的各种光源。另外，摄像头31可以是其他种类的照相机，例如线条照相机。
[0070]
在描画装置1中，多个摄像头31通过摄像头移动机构32在第一搬运机构2a上方的第一摄像位置和第二搬运机构2b上方的第二摄像位置之间移动。在图1中，多个摄像头31位于第一摄像位置。多个摄像头31在第一摄像位置对第一载物台21a上的基板9的上侧主面进行摄像。此外，多个摄像头31在第二摄像位置对第二载物台21b上的基板9的上侧主面进行摄像。
[0071]
图案描画部4具备多个(在图1所示的例中为6个)描画头41和描画头移动机构42。多个描画头41沿x方向排列且可移动地安装到第二机架部73的梁部。描画头移动机构42安装在梁部，使多个描画头41一体地沿着梁部在x方向上移动。描画头移动机构42的驱动源例如是线性伺服电机或带有电机的滚珠丝杠。另外，在图案描画部4中，描画头41的数量可以是一个，也可以是多个。
[0072]
各描画头41具备未图示的光源、光学系统和空间光调制元件。作为空间光调制元件，可以使用数字微镜器件(digital micro mirror device，dmd)、光栅光阀(grating light valve，glv)(硅光机械公司(silicon light m achines，加利福尼亚州桑尼维尔)的注册商标)等各种元件。作为光源，可以使用激光二极管(laser diode，ld)等的各种光源。
多个描画头41具有大致相同的结构。
[0073]
在描画装置1中，通过描画头移动机构42，多个描画头41在第一搬运机构2a上方的第一描画位置和第二搬运机构2b上方的第二描画位置之间移动。在图1中，多个描画头41位于第二描画位置。多个描画头41在第一描画位置在第一载物台21a上的基板9的上侧主面上描画画案。此外，多个描画头41在第二描画位置在第二载物台21b上的基板9的上侧主面上描画图案。
[0074]
第一描画位置和第二描画位置在y方向上位于与第一移动机构22a和第二移动机构22b的y方向的中央部大致相同的位置。此外，上述第一摄像位置和第二摄像位置也在y方向上位于与第一移动机构22a和第二移动机构22b的中央部大致相同的位置。换言之，图案描画部4的多个描画头41和摄像部3的多个摄像头31在y方向上位于与第一移动机构22a和第二移动机构22b的y方向的中央部大致相同的位置。
[0075]
当在第一描画位置描画图案时，从图案描画部4的多个描画头41朝向下方的第一载物台21a上的基板9照射调制(即，空间调制)的光。而且，与该光的照射并行地，通过第一移动机构22a在y方向(即，基板移动方向)上水平移动基板9。由此，来自多个描画头41的光的照射区域在基板9上沿y方向扫描，并且在基板9上描画图案(例如，电路图案)。第一移动机构22a是使来自各描画头41的光的照射区域在基板9上沿y方向移动的扫描机构。
[0076]
在图1所示的例子中，通过所谓的单程(one-pass)方式对基板9进行描画。具体来说，第一载物台21a通过第一移动机构22a在y方向上相对于多个描画头41移动，来自多个描画头41的光的照射区域在基板9的上侧主面沿y方向仅扫描一次。由此，完成对基板9的描画。另外，在描画装置1中，对基板9的描画可以通过重复向第一载物台21a的y方向的移动和向x方向的步进移动的多程(multi-path)方式来进行。除了将第一载物台21a和第一移动机构22a变更为第二载物台21b和第二移动机构之外，第二描画位置的图案描画与上述第一描画位置的图案描画相同。
[0077]
图2是表示放大第一载物台21a和第二载物台21b的(-y)侧的端部的俯视图。在图2中，用双点划线描绘第一载物台21a和第二载物台21b上的基板9。如图2所示，描画装置1还包括第一标记描画部51和第二标记描画部52。第一标记描画部51配置在第一载物台21a的内部(即，第一载物台21a的上表面和下表面之间)。第一标记描画部51对以覆盖第一标记描画部51的上方的方式由第一载物台21a保持的基板9的下侧主面照射光，并且描画与第一搬运机构2a相关联的第一定位标记。
[0078]
第一标记描画部51包括多个第一标记器511。多个第一标记器511在x方向上配置在第一载物台21a的(-y)侧的边缘附近。在图2所示的例子中，由多个第一标记器511中最靠(-x)侧的第一标记器511和最靠( x)侧的第一标记器511，在基板9的下侧主面的(-x)侧且(-y)侧的角部以及( x)侧且(-y)侧的角部描画第一定位标记。另外，对于具有在x方向上比图2的示例更小的尺寸的基板9，由最靠(-x)侧的第一标记器511和位于该基板9的( x)侧且(-y)侧的角部的下方的第一标记器511，在基板9的下侧主面描画两个第一定位标记。
[0079]
图3是表示一个第一标记器511及其附近的纵向剖面图。上述多个第一标记器511具有基本相同的结构。第一标记器511收容于在第一载物台21a的上表面上设置的大致圆柱形凹部211a中。凹部211a的上端开口可以由具有透光性的大致平板状的盖构件封闭。
[0080]
如图3所示，第一标记器511具备第一光源512、第一光学系统513和第一光圈514。
第一光源512配置在凹槽211a的底部并沿( z)方向出射光。作为第一光源512，例如使用出射紫外光的led等。第一光学系统513配置在第一光源512的( z)侧，将来自第一光源512的光引导至基板9的下侧主面。第一光学系统513具备沿z方向排列的多个透镜(省略图示)。第一光圈514是配置在第一光学系统513的多个透镜之间且仅使来自第一光源512的一部分光通过的第一掩模部。第一光圈514是设置有与上述第一定位标记对应的开口的大致平板状的构件。第一光圈514例如由不锈钢等的金属形成。
[0081]
图2所示的第二标记描画部52配置在第二载物台21b的内部(即，第二载物台21b的上表面和下表面之间)。第二标记描画部52对以覆盖第二标记描画部52的上部的方式由第二载物台21b保持的基板9的下侧表面照射光，描画与第二搬运机构2b相关联的第二定位标记。如后所述，第二定位标记的外观与第一定位标记的外观不同，
[0082]
类似于第一标记描画部51，第二标记描画部52具备多个第二标记器521。多个第二标记器521在第二载物台21b的(-y)侧的边缘附近沿x方向排列。在图2所示的例子中，由多个第二标记器521中的最靠(-x)侧的第二标记器521和最靠( x)侧的第二标记器521，在基板9的下侧主面9的(-x)侧且(-y)侧的角部以及( x)侧且(-y)侧的角部描画第二定位标记。另外，对于具有在x方向上比图2的示例更小的尺寸的基板9，由最靠(-x)侧的第二标记器521和位于该基板9的( x)侧且(-y)侧的角部的下方的第二标记器521，在基板9的下侧主面描画两个第二定位标记。
[0083]
图4是表示一个第二标记器521及其附近的纵向剖视图。上述多个第二标记器521具有大致相同的结构。第二标记器521收容于在第二载物台21b的上表面设置的大致圆柱状凹部211b中。凹部211b的上端开口可以由具有透光性的大致平板状的盖构件封闭。
[0084]
如图4所示，第二标记器521具有与第一标记器511大致相同的结构。第二标记器521具有第二光源522、第二光学系统523和第二光圈524。第二光源522配置在凹槽211b的底部且沿( z)方向出射光。作为第二光源522，例如使用出射紫外光的led等。第二光学系统523配置在第二光源522的( z)侧，将来自第二光源522的光引导至基板9的下侧主面。第二光学系统523具备沿z方向排列的多个透镜(省略图示)。第二光圈524是设置在第二光学系统523的多个透镜之间且仅使来自第二光源522的一部分光通过的第二掩模部。第二光圈524是具有与上述第二定位标记对应的开口的大致平板状的构件。第二光圈524例如由不锈钢等的金属形成。如上所述，第二定位标记具有与第一定位标记不同的外观。因此，第二光圈524具有与第一光圈514不同的开口。换言之，第二光圈524和第一光圈514的开口的数量、形状、尺寸、配置和朝向中的至少一个不同。
[0085]
图5是表示由第一标记器511在基板9的下侧主面上描画的第一定位标记93的仰视图。图6是表示由第二标记器521在基板9的下侧主面上描画的第二定位标记94的仰视图。如上所述，第一定位标记93的外观和第二定位标记94的外观不同。
[0086]
在图5所示的例子中，第一定位标记93具备四个相同大小的圆形的第一标记要素931。四个第一标记要素931位于假想的正方形的四个顶点。换言之，四个第一标记要素931在x方向和y方向上以网格状排列。再换言之，在第一定位标记93中，在x方向上排列的两个第一标记要素931的( y)侧配置位于与该两个第一标记要素931在x方向上的基本相同的位置的另外两个第一标记要素931。在x方向上相邻的两个第一标记要素931之间的距离与y方向上相邻的两个第一标记要素931之间的距离大致相同。
[0087]
在图6所示的例子中，第二定位标记94具备四个相同大小的圆形的第二标记要素941。各第二标记要素941的形状和尺寸与上述第一标记要素931的形状和尺寸相同。第二定位标记94具有使第一定位标记93围绕朝向z方向的旋转轴旋转大约45
°
的外观。具体来说，在第二定位标记94中，一个第二标记要素941配置在最靠(-x)侧，另一个第二标记要素941配置在最靠( x)侧。该两个第二标记要素941配置在y方向上基本相同的位置。此外，在x方向上的该两个第二标记要素941之间，在y方向上并排配置该另外两个第二标记要素941。该另外两个第二标记要素941分别配置在比最靠( x)侧和最靠(-x)侧的两个第二标记要素941更靠( y)侧和更靠(-y)侧。
[0088]
如上所述，第一定位标记93和第二定位标记94具有相同的形状和尺寸，只是基板9上的朝向不同。因此，作为第二标记器521的第二光圈524(参照图4)，将具有与第一标记器511的第一光圈514(参照图3)相同形状的构件(即，开口的数量、形状、尺寸和配置相同的构件)仅通过改变安装朝向就能使用。因此，可以简化描画装置1的制造，并且可以降低描画装置1的制造成本。
[0089]
另外，第一标记要素931的形状不限于圆形，可以进行各种变更，例如三角形、矩形、具有五边形以上的多边形、椭圆形或十字形等。第一标记要素931的配置不限于网格状，可以进行各种变更。第一标记要素931的数量可以进行多种变更，可以是1个，也可以是2个以上。第二标记要素941与第一标记要素931相同。
[0090]
此外，第一标记要素931的形状、配置和数量可以与第二标记要素941的形状、配置和数量相同，也可以不同。例如，第一定位标记93具备上述的四个第一标记要素931，第二定位标记94可以具备省略了上述四个第二标记要素941中的一个第二标记要素941的三个第二标记要素941。在这种情况下，第一定位标记93和第二定位标记94形状不同。
[0091]
图7是表示控制部10具备的计算机100的结构的图。计算机100是具备处理器101、存储器102、输入输出部103和总线104的普通计算机。总线104是连接处理器101、存储器102和输入输出部103的信号电路。存储器102存储程序和各种信息。处理器101根据存储器102中存储的程序等使用存储器102等来执行各种处理(例如，数值计算、图像处理)。输入输出部103具备接收来自操作者的输入的键盘105和鼠标106，以及显示来自处理器101的输出等的显示器107。控制部10可以是可编程逻辑控制器(plc：prog rammable logic controller)、电路板等，也可以是这些与一台以上的计算机的组合。
[0092]
图8是表示由计算机100实现的控制部10的功能的框图。在图8中，还表示了控制部10以外的结构。控制部10具备存储部111、摄像控制部112、检测部113和描画控制部114。存储部111主要由存储器102实现，预先存储要在基板9上描画的预定图案的数据(即，描画用数据)、以及以下说明的第一位置关系信息和第二位置关系信息等的各种信息。
[0093]
第一位置关系信息是表示对由图1所示的第一搬运机构2a(即，第一载物台21a和第一移动机构22a)搬运的基板9，由图案描画部4在上侧主面上描画的图案和由第一标记描画部51(参照图2)在下侧主面上描画的第一定位标记93(参照图5)之间的俯视下的相对位置关系的信息。第二位置关系信息是表示对由第二搬运机构2b(即，第二载物台21b和第二移动机构22b)搬运的基板9，由图案描画部4在上侧主面上描画的图案和由第二标记描画部52(参照图2)在下侧主面上描画的第二定位标记94(参照图6)之间的俯视下的相对位置关系的信息。
[0094]
第一位置关系信息通过在描画装置1的第一搬运机构2a中，进行对试验基板的上侧主面的图案的描画以及对下侧主面的第一定位标记93的描画，并测量该图案和第一定位标记93之间的相对位置来预先获取。第二位置关系信息通过在描画装置1的第二搬运机构2b中，进行对试验基板的上侧主面的图案的描画以及对下侧主面的第二定位标记94的描画，并测量该图案和第二定位标记94之间的相对位置来预先获取。
[0095]
图8所示的摄像控制部112、检测部113和描画控制部114主要由处理器101(见图7)实现。摄像控制部112通过控制摄像部3、第一移动机构22a和第二移动机构22b，使摄像部3拍摄第一载物台21a和第二载物台21b上的基板9的上侧主面来获取图像。该图像发送到存储部111并存储。检测部113使用该图像检测基板9的位置。此外，检测部113判别图像中的定位标记的种类。具体来说，判定定位标记是第一定位标记93、第二定位标记94还是其他定位标记。
[0096]
描画控制部114基于检测部113检测到的基板9的位置、定位标记的种类和预先存储在存储部111中的描画用数据等，控制图案描画部4、第一移动机构22a和第二移动机构22b，使得图案描画部4对第一载物台21a和第二载物台21b上的基板9进行描画。
[0097]
接着，对利用图1所示的描画装置1在基板9上描画图案的流程进行说明。在描画装置1中，大致上，在对保持在第一载物台21a和第二载物台21b中的一个载物台上的基板9进行描画的期间，将基板9搬入到另一个载物台上并进行定位处理等。然后，当对保持在上述一个载物台上的基板9的描画完成时，开始对保持在另一载物台上的基板9进行描画。此外，在对另一个载物台上的基板9进行描画的期间，从一个载物台上搬出描画完的基板9，在该一个载物台上搬入新的基板9并进行对位处理等。在以下说明中，假设由图案描画部4对基板9的第一主面91描画图案。
[0098]
图9a和图9b是表示描画装置1中的描画处理流程的一例的图。图9a和图9b中的左侧的步骤s11至s19示出了对第一载物台21a上的基板9的描画处理的流程，图9a和图9b中的右侧的步骤s21至s29示出了对第二载物台21b上的基板9的描画处理的流程。此外，在图9a和图9b中位于上下方向上相同位置的步骤基本上并行地执行。具体来说，步骤s11和步骤s21至s26基本上并行地执行。此外，步骤s28和步骤s13至s18基本上并行地执行。
[0099]
在图9a和图9b中，从对第一搬运机构2a的第一载物台21a上的基板9描画图案的状态开始进行说明。此外，图10～图15是表示在描画处理中的描画装置1的y方向上的第一载物台21a和第二载物台21b的大致位置的概念图。在图10至图15中，用实线描绘第一载物台21a、第一移动机构22a、第二载物台21b和第二移动机构22b，用虚线描绘摄像头31和描画头41。
[0100]
在以下说明中，关于第一载物台21a在y方向上的位置，将在上下方向上与摄像头31和/或描画头41重叠的位置称为“处理位置”，将在上下方向上与第一移动机构22a的(-y)侧的端部重叠的位置称为“搬入搬出位置”，将在上下方向上与第一移动机构22a的( y)侧的端部重叠的位置称为“待机位置”。此外，关于第二载物台21b在y方向上的位置，将在上下方向上与摄像头31和/或描画头41重叠的位置称为“处理位置”，将在上下方向上与第二载物台21b的(-y)侧的端部重叠的位置称为“搬入搬出位置”，将在上下方向上与第二移动机构22b的( y)侧的端部重叠的位置称为“待机位置”。上述处理位置并不是指y方向的一点的概念，而是指由摄像部3进行基板9的摄像以及由图案描画部4进行图案的描画的y方向的预
定范围(即，处理区域)。
[0101]
在描画装置1中，如图10所示，在第一载物台21a位于处理位置，描画头41位于第一描画位置的状态下，对第一载物台21a上的基板9的上侧主面(即，第一主面91)由图案描画部4进行图案的描画。此外，对第一载物台21a上的基板9的下侧主面(即，第二主面92)由第一标记描画部51(参照图2)进行第一定位标记93的描画(步骤s11)。在步骤s11中，通过由描画控制部114(参照图8)控制图案描画部4和第一移动机构22a，在处理位置对向(-y)方向移动的基板9的上侧主面进行图案的描画。对基板9的下侧主面进行的第一定位标记93的描画，可以与对基板9的上侧主面的图案的描画并行地执行，也可以在该图案的描画之前或之后执行。
[0102]
在描画装置1中，与步骤s11并行地，从位于搬入搬出位置的第二载物台21b搬出描画完的基板9，将新的基板9搬入并保持在第二载物台21b上(步骤s21、s22)。接着，第二载物台21b由第二移动机构22b向( y)方向移动，并位于如图11所示的处理位置(步骤s23)。在图11所示的状态下，第一载物台21a保持位于处理位置，对第一载物台21a上的基板9进行图案的描画。此外，摄像头31位于第二摄像位置。
[0103]
当第二载物台21b位于处理位置时，摄像控制部112(参照图8)控制摄像部3和第二移动机构22b，进行对第二载物台21b上的基板9的上侧主面(即，第一主面91)设置的定位标记(省略图示)的摄像，所获取的图像被发送到检测部113(参照图8)。该定位标记预先设置于在步骤s22中搬入到第二载物台21b上的基板9，例如，第一定位标记93和第二定位标记94具有不同的外观。
[0104]
检测部113针对该图像使用基准图像来执行图案匹配。该图案匹配通过例如已知的图案匹配方法(例如，几何学形状图案匹配、归一化相关搜索(n ormalized correlation search)等)来执行。由此，获得该图像中的定位标记的位置，检测第二载物台21b上的基板9的位置(步骤s24)。
[0105]
由检测部113检测的基板9的位置包括表示第二载物台21b上的基板9的x方向和y方向的坐标、基板9的朝向以及基板9的歪曲等导致的变形的信息。此外，表示基板9的变形的信息是变形的基板9的形状、该基板9上的描画区域的位置等信息。检测部113基于检测到的基板9的位置来调整第二载物台21b上的基板9用的描画数据(即，定位处理)。
[0106]
当第二载物台21b上的基板9的摄像完成时，第二载物台21b由第二移动机构22b向( y)方向移动，位于如图12所示的待机位置(步骤s25)。在图12所示的状态下，第一载物台21a保持位于处理位置，并且对第一载物台21a上的基板9进行图案的描画。第二载物台21b在待机位置待机，直到对第一载物台21a上的基板9的图案的描画结束(步骤s26)。
[0107]
当对第一载物台21a上的基板9的图案和第一定位标记93的描画结束(步骤s11)时，第一载物台21a由第一移动机构22a向(-y)方向移动，位于如图13所示的搬入搬出位置(步骤s12)。此外，与步骤s12并行地，第二载物台21b由第二移动机构22b向(-y)方向移动，位于处理位置(步骤s27)。此外，摄像头31从第二摄像位置向第一摄像位置移动。描画头41从第一描画位置向第二描画位置移动。
[0108]
然后，基于上述定位处理完的描画数据等，通过描画控制部114控制图案描画部4和第二移动机构22b，在处理位置对向(-y)方向移动的第二载物台21b上的基板9的上侧主面(即，第一主面91)进行图案的描画。此外，对第二载物台21b上的基板9的下侧主面(即，第
二主面92)，由第二标记描画部52(参照图2)进行第二定位标记94的描画(步骤s28)。对基板9的下侧主面的第二定位标记94的描画，可以与对基板9的上侧主面的图案的描画并行地执行，也可以在该图案的描画的之前或之后执行。
[0109]
在描画装置1中，与对第二载物台21b上的基板9的图案描画并行地，从位于搬入搬出位置的第一载物台21a搬出描画完的基板9，将新的基板9搬入并保持在第一载物台21a上(步骤s13、s14)。接着，第一载物台21a由第一移动机构22a向( y)方向移动，位于如图14所示的处理位置(步骤s15)。在图14所示的状态下，第二载物台21b保持位于处理位置，并且对第二载物台21b上的基板9进行图案的描画。
[0110]
当第一载物台21a位于处理位置时，摄像控制部112控制摄像部3和第一移动机构22a，由摄像头31摄像第一载物台21a上的基板9的上侧主面(即，第一主面91)设置的定位标记(省略图示)，获取的图像被发送到检测部113。定位标记预先设置于在步骤s14中搬入到第一载物台21a上的基板9，例如第一定位标记93和第二定位标记94具有不同的外观。
[0111]
在检测部113中，以与步骤s24大致相同的方式对该图像执行图案匹配，检测第一载物台21a上的基板9的位置(步骤s16)。检测部113基于检测到的基板9的位置来调整对第一载物台21a上的基板9描画的预定的图案数据(即，定位处理)。
[0112]
当第一载物台21a上的基板9的摄像结束时，第一载物台21a由第一移动机构22a向( y)方向移动，位于如图15所示的待机位置(步骤s17)。在图15所示的状态下，第二载物台21b保持位于处理位置，对第二载物台21b上的基板9进行图案的描画。第一载物台21a在待机位置待机，直到对第二载物台21b上的基板9的图案的描画结束(步骤s18)。
[0113]
当对第二载物台21b上的基板9的图案和第二定位标记94的描画(步骤s28)结束时，第二载物台21b由第二移动机构22b向(-y)方向移动，位于如图10所示的搬入搬出位置(步骤s29)。此外，与步骤s29并行地，第一载物台21a由第一移动机构22a向(-y)方向上移动，位于处理位置处(步骤s19)。此外，摄像头31从第一摄像位置向第二摄像位置移动。描画头41从第二描画位置向第一描画位置移动。
[0114]
然后，从步骤s19返回到步骤s11，基于上述定位处理完的描画数据等，描画控制部114控制图案描画部4和第一移动机构22a，在处理位置对向(-y)方向移动的第一载物台21a上的基板9的上侧主面(即，第一主面91)进行图案的描画。对第一载物台21a上的基板9的下侧主面(即，第二主面92)，由第一标记描画部51进行第一定位标记93的描画(步骤s11)。此外，从步骤s29返回到步骤s21，从位于搬入搬出位置的第二载物台21b搬出描画完的基板9，将新的基板9搬入并保持在第二载物台21b上(步骤s21、s22)。在描画装置1中，重复步骤s11至s19和步骤s21至s29，对多个基板9依次进行描画。
[0115]
接着，对在第一主面91上描画有上述图案的基板9，由图案描画部4在第二主面92上描画图案时的描画装置1的动作进行说明。以下，将参照图9a和图9b说明在由第二载物台21b保持的基板9的第二主面92描画图案的情况。此外，通常，与对第二载物台21b上的基板9描画图案并行地，以与上述基本相同的方式对第一载物台21a上的基板9描画图案，但是为了简化说明，将省略对第一载物台21a上的基板9的处理的说明。
[0116]
在描画装置1中，首先，以与步骤s22大致相同的方式将第二主面92朝向上侧的基板9搬入并保持在第二载物台21b上(步骤s22)。上述图案由描画装置1在该基板9的第一主面91(即，下侧主面)上预先描画。当在第一搬运机构2a进行了对第一主面91的图案描画时，
在基板9的第二主面92描画有第一定位标记93(参照图5)。此外，当在第二搬运机构2b进行了对第一主面91的图案描画时，在基板9的第二主面92描画有第二定位标记94(参照图6)。
[0117]
接着，第二载物台21b由第二移动机构22b从搬入搬出位置向( y)方向移动并位于处理位置(步骤s23)。然后，通过由摄像控制部112(参照图8)控制摄像部3和第二移动机构22b，对第二载物台21b上的基板9的上侧主面(即，第二主面92)设置的定位标记(即，第一定位标记93或第二定位标记94)进行摄像，获取的图像发送至检测部113(参照图8)。
[0118]
检测部113以与上述大致相同的方式对该图像进行图案匹配，并判别该图像中的定位标记的种类。具体来说，判别该定位标记是第一定位标记93还是第二定位标记94。此外，检测部113通过上述图案匹配获得该图像中的定位标记的位置，并检测第二载物台21b上该基板9的位置(步骤s24)。检测部113基于检测到的基板9的位置来调整(即，定位处理)第二载物台21b上的基板9用的描画数据。
[0119]
在步骤s24的图案匹配中，允许第一定位标记93和第二定位标记94的模板的旋转和伸缩，以应对第二载物台21b上的基板9的倾斜(即，与预定朝向的偏差)、基板9的伸缩等。但是，由于基板9的上述倾斜和伸缩很小，因此模板允许的旋转和伸缩也很小。例如，允许旋转角度为10
°
以下，允许伸缩比为30％以下。
[0120]
因此，如图5和图6所例示，当第二定位标记94具有将第一定位标记93旋转较大角度(例如，45
°
)的外观时，在上述图案匹配中，不会误认第一定位标记93和第二定位标记94。从防止该误认的观点来看，当第一定位标记93与第二定位标记94形状相似时，第二定位标记94优选具有至少将第一定位标记93旋转大于10
°
、或者伸缩大于30％的外观。从防止该误认的观点来看，还优选第一定位标记93和第二定位标记94具有非相似形状。
[0121]
当第二载物台21b上的基板9的摄像完成时，第二载物台21b由第二移动机构22b从处理位置移动到待机位置并在待机位置待机(步骤s25、s26)。当第二载物台21b的待机结束时，第二载物台21b由第二移动机构22b从待机位置移动到处理位置(步骤s27)。
[0122]
然后，基于上述定位处理完的描画数据、以及检测部113检测到的定位标记的种类等，通过描画控制部114(参照图8)控制图案描画部4和第二移动机构22b，在处理位置对向(-y)方向移动的第二载物台21b上的基板9的第二主面92(即，描画有第一定位标记93或第二定位标记94的主面)进行图案的描画(步骤s28)。另外，当在第二主面92上描画图案时，不需要在第一主面91(即，下侧主面)上描画定位标记。
[0123]
在步骤s28中，当在基板9的第二主面92描画有第一定位标记93时，描画控制部114判断在第一搬运机构2a上进行了对基板9的第一主面91的图案描画，从存储部111中读出第一位置关系信息。如上所述，第一位置关系信息是表示在第一搬运机构2a上在基板9的第一主面91上描画的图案和在第二主面92上描画的第一定位标记93之间的位置关系的信息。在描画装置1中，基于第一位置关系信息和上述定位处理完的描画数据等，通过描画控制部114控制图案描画部4和第二移动机构22b，从而调整图案相对于第二载物台21b上的基板9的第二主面92的描画位置，在第二主面92上描画该图案。由此，可以使已经描画在基板9的第一主面91的图案和描画在第二主面92的图案之间的相对位置与期望的相对位置大致相同。
[0124]
另一方面，当在基板9的第二主面92描画有第二定位标记94时，描画控制部114判断在第二搬运机构2b上进行了对基板9的第一主面91的图案的描画，从存储部111中读出第
二位置关系信息。如上所述，第二位置关系信息是表示在第二搬运机构2b上在基板9的第一主面91描画的图案和在第二主面92描画的第二定位标记94之间的相对位置关系的信息。在描画装置1中，基于第二位置关系信息和上述定位处理完的描画数据等，通过描画控制部114控制图案描画部4和第二移动机构22b，调整图案相对于第二载物台21b上的基板9的第二主面92的描画位置，在第二主面92描画图案。由此，可以使已经描画在基板9的第一主面91的图案和描画在第二主面92的图案之间的相对位置与期望的相对位置大致相同。
[0125]
如上所述，在基板9上进行描画的描画系统(上述例中的描画装置1)具备图案描画部4、第一搬运机构2a、第一标记描画部51和第二搬运机构2b和第二标记描画部52。图案描画部4通过对在下方水平移动的基板9的上侧主面照射光来描画图案。第一搬运机构2a具备第一基板保持部(即，第一载物台21a)和在图案描画部4下方水平移动第一载物台21a的第一移动机构22a。第一标记描画部51对由第一载物台21a保持的基板9的下侧主面照射光，来描画与第一搬运机构2a相关联的第一定位标记93。第二搬运机构2b具备第二基板保持部(即，第二载物台21b)和在图案描画部4下方水平移动第二载物台21b的第二移动机构22b。第二标记描画部52对由第二载物台21b保持的基板9的下侧主面照射光，来描画与第二搬运机构2b相关联的第二定位标记94。第二定位标记94具有与第一定位标记93不同的外观。
[0126]
因此，可以通过观察在基板9的另一个主面描画的定位标记，在图案描画之后的工序中容易判别图案描画部4在基板9的一个主面进行该图案描画时使用了第一搬运机构2a和第二搬运机构2b中的哪一个搬运机构。由此，可以在考虑描画该一个主面的图案时利用的搬运机构所特有的正面和背面位置关系(即，上表面的图案和下表面的定位标记之间的相对位置关系)来调整描画位置的基础上，在基板9的上述另一个主面描画图案。其结果，可以提高在基板9的两侧主面描画的图案的相对位置精度。
[0127]
如上所述，优选地，描画装置1还具备预先存储第一位置关系信息和第二位置关系信息的存储部111、以及控制图案描画部4的摄像控制部112。第一位置关系信息表示对由第一搬运机构2a搬运的基板9由图案描画部4在上侧主面描画的图案和由第一标记描画部51在下侧主面描画的第一定位标记93之间的相对位置关系。第二位置关系信息表示对由第二搬运机构2b搬运的基板9由图案描画部4在上侧主面描画的图案和由第二标记描画部52在下侧主面描画的第二定位标记94之间的相对位置关系。优选，摄像控制部112在由图案描画部4在描画有第一定位标记93的主面描画图案时，基于第一位置关系信息调整描画位置，在由图案描画部4在描画有第二定位标记94的主面描画图案时，基于第二位置关系信息调整描画位置。由此，可以提供在两侧主面描画的图案的相对位置精度高的基板9。
[0128]
如上所述，优选，第一标记描画部51具备使来自光源512的一部分光通过的第一掩模部(在上述例中为第一光圈514)，第二标记描画部52具备具有与第一掩模部不同的开口，并且使来自光源522的一部分光通过的第二掩模部(在上述例中为第二光圈524)。由此，在不对第一标记描画部51和第二标记描画部52大幅变更结构(即，仅变更第一掩模部和第二掩模部)的情况下，可以使第一定位标记93的外观和第二定位标记94的外观不同。因此，能够抑制描画装置1的结构复杂化，并且提高在基板9的两侧主面描画的图案的相对位置精度。
[0129]
如上所述，还优选，第一定位标记93和第二定位标记94具有非相似形状。由此，即使在上述图案匹配时进行模板的旋转或伸缩的情况下，也可以抑制第一定位标记93和第二
定位标记94的误认，并且高精度地判别定位标记的种类。
[0130]
如上所述，图案描画部4具备朝向下方照射光的描画头41、将描画头41在第一搬运机构2a的上方的第一描画位置和第二搬运机构2b的上方的第二描画位置之间移动的描画头移动机构42。这样，通过使用共同的描画头41进行对第一载物台21a上的基板9的描画和对第二载物台21b上的基板9的描画，能够简化描画装置1的结构，并使描画装置小型化。此外，如上所述，在描画装置1中，可以在该图案描画之后的工序中容易判别由图案描画部4在基板9的一个主面描画图案时使用了第一搬运机构2a和第二搬运机构2b中的哪一个搬运机构。因此，描画装置1的结构特别适用于基板9两侧主面的图案描画可以分别在第一搬运机构2a和第二搬运机构2b中的哪一个搬运机构都能执行的描画装置1。
[0131]
在图5和图6所示的例子中，第一定位标记93和第二定位标记94分别为排列圆形标记元素得到的简单的图形，但并不局限于此。例如，第一定位标记93可以是表示第一搬运机构2a相关的信息的条形码，第二定位标记94可以是表示第二搬运机构2b相关的信息的条形码。在这种情况下，通过由摄像部3对第一定位标记93进行摄像，与在基板9的图案描画中利用的搬运机构的种类(即，第一搬运机构2a或第二搬运机构2b)的判别并行地，可以进行该搬运机构相关的信息获取。
[0132]
当第一定位标记93为条形码时，该条形码所表示的信息包括例如表示第一搬运机构2a的识别编号、第一位置关系信息。当第二定位标记94为条形码时，该条形码所表示的信息包括例如表示第二搬运机构2b的识别编号、第二位置关系信息。作为第一定位标记93和第二定位标记94，可以使用一维条形码，也可以使用二维条形码。
[0133]
另外，第一定位标记93和第二定位标记94可以是包含上述信息的条形码以外的标记。例如，第一定位标记93可以是表示第一搬运机构2a的符号，第二定位标记94可以是表示第二搬运机构2b的符号。
[0134]
可以对上述描画装置1进行各种变更。
[0135]
在上述例中，由第一标记描画部51在基板9的下侧主面描画相同的两个第一定位标记93，由第二标记描画部52在基板9的下侧主面描画相同的两个第二定位标记94，但不限于此。例如，两个第一定位标记93可以在形状、大小或朝向等上彼此不同。相同地，两个第二定位标记94可以在形状、尺寸或取向等上彼此不同。此外，在两个第一定位标记93中的一个第一定位标记93的外观和两个第二定位标记94中的一个第二定位标记94的外观不同的情况下，另一个第一定位标记93和另一个第二定位标记94也可以具有相同的外观。
[0136]
由第一标记描画部51在基板9的下侧主面上描画的两个第一定位标记93和由第二标记描画部52在基板9的下侧主面上描画的两个第二定位标记94在基板9上的配置(即两个定位标记的相对位置)可以不同。例如，两个第一定位标记93可以在基板9的下侧主面的(-y)侧的端部沿x方向排列，两个第二定位标记94可以配置在基板9的下侧主面的(-y)侧的端部和( y)侧的端部。即使在这种情况下，一起观察两个第一定位标记93时的外观和一起观察两个第二定位标记94时的外观彼此不同，因此与上述相同地，可以容易地判别使用第一搬运机构2a和第一搬运机构2a中的哪一个搬运机构进行了对基板9的上侧主面的图案描画。另外，当如上所述配置不同时，各第一定位标记93和各第二定位标记94可以具有相同的形状。
[0137]
在描画装置1中，由第一标记描画部51描画在基板9的下侧主面上的第一定位标记
93的数量可以是3个以上。此外，由第二标记描画部52描画在基板9的下侧主面上的第二定位标记94的数量可以是3个以上。
[0138]
在第一标记器511中，例如，代替第一光圈514，可以在光源512和光学系统513的( z)侧配置描画有对应于第一定位标记93的图案的玻璃掩模件作为第一掩模部。相同地，在第二标记器521中，代替第二光圈524，可以在光源522和光学系统523的( z)侧配置描画有对应于第二定位标记94的图案的玻璃掩模件作为第二掩模部。
[0139]
第一标记描画部51的第一标记器511不一定必须布置在第一载物台21a的内部。例如，第一标记器511在上述处理位置配置在第一载物台21a的移动路径的铅垂下方，在第一载物台21a位于第一标记器511上方的状态下，可以通过在第一载物台21a上设置的贯通孔向基板9的下侧主面照射光来描画第一定位标记93。对第二标记描画部52的第二标记器521也相同。
[0140]
在第一标记描画部51中，可以共用多个第一标记器511的光源。例如，来自共用光源的光可以经由多条光纤分别被引导到多个第一标记器511的光学系统513。对第二标记描画部52也相同。
[0141]
在描画装置1中，除第一定位标记93之外，也可以由第一标记描画部51在基板9的下侧主面上描画包括第一位置关系信息等的与第一搬运机构2a相关联的信息的标记(例如，条形码、数字)。此外，除第二定位标记94之外，也可以由第二标记描画部52在基板9的下侧主面上描画包括第二位置关系信息等的与第二搬运机构2b相关联的信息的标记(例如，条形码、数字)。
[0142]
在描画装置1中，第一搬运机构2a还可以包括使第一载物台21a沿x方向移动的移动机构、使第一载物台21a以沿z方向延伸的旋转轴为中心旋转的旋转机构、以及使第一载物台21a沿z方向移动的升降机构中的一个以上的机构。作为该移动机构和升降机构，例如可以使用线性伺服电机。此外，作为旋转机构，例如可以使用伺服电机。该移动机构、旋转机构和升降机构的结构可以进行多种变更。第二搬运机构2b和第一搬运机构2a相同。
[0143]
在图案描画部4中，可以分别设置有在第一描画位置向第一载物台21a上的基板9照射光的描画头41和在第二描画位置向第二载物台21b上的基板9照射光的描画头41。在这种情况下，可以省略描画头移动机构42。此外，在摄像部3中，可以分别设置有在第一摄像位置对第一载物台21a上的基板9摄像的摄像头31和在第二摄像位置对第二载物台21b上的基板9摄像的摄像头31。在这种情况下，可以省略摄像头移动机构32。此外，在描画装置1中，可以分开设置第一单元和第二单元，所述第一单元具备第一搬运机构2a、第一标记描画部51、在第一摄像位置对第一载物台21a上的基板9摄像的摄像头31以及向第一载物台21a上的基板9照射光的描画头41，所述第二单元具备第二搬运机构2b、第二标记描画部52、在第二摄像位置对第二载物台21b上的基板9摄像的摄像头31以及向第二载物台21b上的基板9照射光的描画头41。
[0144]
在描画装置1中，除了第一搬运机构2a和第二搬运机构2b之外，还可以设置第三载物台和在y方向上移动第三载物台的第三移动机构，对第一载物台21a和第二载物台21b和第三载物台上的基板9可以并行地执行各种处理(定位处理、描画处理和基板9的搬入搬出)。
[0145]
图16是从(-y)侧观察的本发明的另一优选的描画装置1a的侧视图。在图16中，省
略了摄像头31和第一机架部72等的图示。在描画装置1a中，第一载物台21a和第二载物台21b在上下方向上相邻配置。在图16所示的例子中，第二载物台21b分离地配置在第一载物台21a的下侧。第一移动机构22a从侧方(即，(-x)侧)支撑第一载物台21a。第二移动机构22b从侧方(即，( x)侧)支撑第二载物台21b。
[0146]
第一搬运机构2a具备沿上下方向移动第一载物台21a的省略图示的第一升降机构。第二搬运机构2b具备沿上下方向移动第二载物台21b的省略图示的第二升降机构。在通过由第二机架部73支撑的多个描画头41在第一载物台21a上的基板9的上侧主面上描画图案之后，在第二载物台21b上的基板9的上侧主面上描画图案时，第一载物台21a从图16所示的状态下降到图16的第二载物台21b的位置，第二载物台21b上升到图16的第一载物台21a的位置。描画设备1a的其他结构与描画设备1的相应的结构大致相同。
[0147]
与上述的描画装置1大致相同地，第一移动机构22a和第二移动机构22b在与基板移动方向(即，y方向)交叉的方向上并排配置。在图16所示的例子中，第一移动机构22a和第二移动机构22b在x方向上并排配置，第二移动机构22b与第一移动机构22a的( x)侧的一侧相邻。第一移动机构22a和第二移动机构22b位于在上下方向上大致相同的高度。
[0148]
与描画装置1相同地，在描画装置1a中，在由第一载物台21a保持的基板9的下侧主面上描画第一定位标记93，在由第二载物台21b保持的基板9的下侧主面上描画外观与第一定位标记93不同的第二定位标记94。由此，通过观察基板9的另一个主面上描画的定位标记的种类，可以在该图案描画之后的工序中容易判别由图案描画部4在基板9的一个主面上描画图案时使用了第一搬运机构2a和第二搬运机构2b中的哪一个搬运机构。
[0149]
在上述例中，描画系统说明为一个双载物台式的描画装置1，但并不限于此。例如，描画系统可以具备两台单载物台式的描画装置。在这种情况下，一个描画装置具备上述第一搬运机构2a和第一标记描画部51以及在第一载物台21a上的基板9的上侧主面上描画图案的第一图案描画部。此外，另一个描画装置具备上述第二搬运机构2b和第二标记描画部52以及在第二载物台21b上的基板9的上侧主面上描画图案的第二图案描画部。第一图案描画部具备一个或两个以上的描画头41。相同地，第二图案描画部具备一个或两个以上的描画头41。在该描画系统中，组合第一图案描画部和第二图案描画部，构成对在下方水平移动的基板9的上侧主面照射光来描画图案的图案描画部4。
[0150]
与上述描画装置1相同地，在该描画系统中，在由第一载物台21a保持的基板9的下侧主面上描画第一定位标记93，在由第二载物台21b保持的基板9的下侧主面描画外观与第一定位标记93不同的第二定位标记94。由此，通过观察基板9的另一个主面上描画的定位标记的种类，可以在该图案描画之后的工序中容易判别由图案描画部4在基板9的一个主面上描画图案时使用了第一搬运机构2a和第二搬运机构2b中的哪一个搬运机构。
[0151]
上述基板9不一定限于印刷电路板。在描画装置1、1a中，例如可以进行半导体基板、液晶显示装置、有机el显示装置等的平板显示装置用的玻璃基板、光掩模用的玻璃基板、太阳能电池板用的基板等的位置检测。
[0152]
上述实施方式和各变形例中的结构只要不相互矛盾就可以适当地组合。
[0153]
尽管已经详细地描述了本发明，但是上述描述仅是示例性的而不是限制性的。因此，可以说在不脱离本发明的范围，可以有多种变形和方式。