体声波滤波器及滤波器组件的制作方法

技术特征：
1.一种体声波滤波器，其特征在于，包括输入端子、输出端子、接地端子、多个串联的薄膜体声波谐振器和多个并联的薄膜体声波谐振器；所述多个串联的薄膜体声波谐振器包括串联连接在所述输入端子和输出端子之间的第一薄膜体声波谐振器、第二薄膜体声波谐振器、第三薄膜体声波谐振器、第四薄膜体声波谐振器、第五薄膜体声波谐振器、第六薄膜体声波谐振器和第七薄膜体声波谐振器；所述多个并联的薄膜体声波谐振器包括第八薄膜体声波谐振器、第九薄膜体声波谐振器、第十薄膜体声波谐振器和第十一薄膜体声波谐振器，所述第八薄膜体声波谐振器的一端连接在所述第一薄膜体声波谐振器和第二薄膜体声波谐振器之间；所述第九薄膜体声波谐振器和第十薄膜体声波谐振器的一端分别依次连接在所述第三薄膜体声波谐振器至第五薄膜体声波谐振器之间的节点上，所述第九薄膜体声波谐振器的另一端与所述第十薄膜体声波谐振器的另一端连接后，与所述接地端子连接；所述第十一薄膜体声波谐振器的一端连接在所述第六薄膜体声波谐振器和第七薄膜体声波谐振器之间的节点上；所述第八薄膜体声波谐振器和所述第十一薄膜体声波谐振器的另一端分别与所述接地端子连接。2.如权利要求1所述的体声波滤波器，其特征在于，所述多个串联的薄膜体声波谐振器的串联谐振频率和并联谐振频率相同；所述多个并联的薄膜体声波谐振器的串联谐振频率和并联谐振频率相同。3.如权利要求1或2所述的体声波滤波器，其特征在于，所述多个串联的薄膜体声波谐振器的串联谐振频率和所述多个并联的薄膜体声波谐振器的并联谐振频率相同。4.如权利要求1所述的体声波滤波器，其特征在于，所述第一薄膜体声波谐振器的面积为16950μm
2-17050μm2，所述第二薄膜体声波谐振器和所述第三薄膜体声波谐振器的面积为14550μm
2-14650μm2，所述第四薄膜体声波谐振器和所述第七薄膜体声波谐振器的面积为22950μm
2-23050μm2，所述第五薄膜体声波谐振器的面积为18750μm
2-18850μm2，所述第六薄膜体声波谐振器的面积为15950μm
2-16050μm2，所述第八薄膜体声波谐振器的面积为22450μm
2-22550μm2，所述第九薄膜体声波谐振器的面积为19450μm
2-19550μm2，所述第十薄膜体声波谐振器的面积为27550μm
2-27650μm2，所述第十一薄膜体声波谐振器的面积为28650μm
2-28750μm2。5.如权利要求1所述的体声波滤波器，其特征在于，所述薄膜体声波谐振器滤波器的版图主要包括牺牲层、下电极层、上电极层、差频层和孔层，所述差频层与所述多个并联的薄膜体声波谐振器对应，所述多个串联的薄膜体声波谐振器不具有所述差频层；所述孔层中开设有多个释放孔，每个薄膜体声波谐振器均设有多个释放通道，每个所述释放通道至少对应一个释放孔。6.如权利要求5所述的体声波滤波器，其特征在于，所述上电极层的厚度为所述下电极层的厚度为压电层的厚度为所述差频层的厚度为7.如权利要求1所述的体声波滤波器，其特征在于，所述第一薄膜体声波谐振器、所述第二薄膜体声波谐振器、所述第五薄膜体声波谐振器和所述第七薄膜体声波谐振器的中心到输入端子和输出端子所在第一直线的距离小于阈值；所述第三薄膜体声波谐振器、所述第四薄膜体声波谐振器和所述第六薄膜体声波谐振器的中心位于第二直线上，所述第二直
线与所述第一直线平行，且所述第二直线位于所述第一直线的第二侧；所述第八薄膜体声波谐振器和所述第十一薄膜体声波谐振器位于所述第一直线的第一侧，所述第九薄膜体声波谐振器和所述第十薄膜体声波谐振器位于所述第一直线的第二侧，第一侧和第二侧相对；且所述第一薄膜体声波谐振器、所述第二薄膜体声波谐振器和所述第三薄膜体声波谐振器的中心连线构成角度小于90
°
的第一v型结构，所述第一v型结构的开口朝向所述第一直线的第二侧；所述第二薄膜体声波谐振器、所述第三薄膜体声波谐振器和所述第四薄膜体声波谐振器的中心连线构成角度小于90
°
的第二v型结构，所述第二v型结构的开口朝向所述第一直线的第一侧；所述第三薄膜体声波谐振器、所述第四薄膜体声波谐振器和所述第五薄膜体声波谐振器的中心连线构成角度大于90
°
的第三v型结构，所述第三v型结构的开口朝向所述第一直线的第一侧；所述第四薄膜体声波谐振器、所述第五薄膜体声波谐振器和所述第六薄膜体声波谐振器的中心连线构成角度小于90
°
的第四v型结构，所述第四v型结构的开口朝向所述第一直线的第二侧；所述第五薄膜体声波谐振器、所述第六薄膜体声波谐振器和所述第七薄膜体声波谐振器的中心连线构成角度小于90
°
的第五v型结构，所述第五v型结构的开口朝向所述第一直线的第一侧。8.如权利要求5所述的体声波滤波器，其特征在于，所述释放孔的直径为15μm-25μm。9.如权利要求1所述的体声波滤波器，其特征在于，所述薄膜体声波谐振器滤波器的版图包括第一版图区至第十六版图区；第一版图区、第三版图区和第五版图区为接地端子版图区，第二版图区为输入端子版图区，第四版图区为输出端子版图区，所述第三版图区位于所述滤波器的版图的下部，所述第一版图区和第五版图区、所述第二版图区和第四版图区分别设置在所述滤波器的版图的两边；第六版图区至第十二版图区分别为所述第一薄膜体声波谐振器至所述第七薄膜体声波谐振器的版图区；第八版图区、第九版图区和第十一版图区位于所述第六版图区、第七版图区、第十版图区和第十二版图区的下部；第十三版图区至第十六版图区分别为所述第八薄膜体声波谐振器至所述第十一薄膜体声波谐振器的版图区；所述第十三版图区位于所述第六版图区的上部，所述第十三版图区的一端分别与所述第六版图区和第七版图区连接，另一端与所述第一版图区连接；第十四版图区位于所述第八版图区的下部，所述第十四版图区的一端分别与所述第八版图区和第九版图区连接，所述第十四版图区的另一端与第十五版图区的另一端连接后，与所述第三版图区连接；所述第十五版图区位于所述第九版图区的下部，所述第十五版图区的一端分别与所述第九版图区和第十版图区连接；所述第十六版图区位于所述第十二版图区的上部，所述第十六版图区的一端分别与所述第十一版图区和第十二版图区连接，且另一端与所述第五版图区连接。10.一种滤波器组件，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的体声波滤波器。

技术总结
本实用新型涉及滤波器技术领域，提供一种体声波滤波器及滤波器组件，包括串联连接在输入端子和输出端子之间的第一薄膜体声波谐振器、第二薄膜体声波谐振器、第三薄膜体声波谐振器、第四薄膜体声波谐振器、第五薄膜体声波谐振器、第六薄膜体声波谐振器和第七薄膜体声波谐振器；多个并联的薄膜体声波谐振器的一端并联连接在第一薄膜体声波谐振器和第二薄膜体声波谐振器、第三薄膜体声波谐振器至第五薄膜体声波谐振器、第六薄膜体声波谐振器和第七薄膜体声波谐振器之间的节点上，多个并联的薄膜体声波谐振器的另一端分别连接接地端子。上述滤波器可允许特定频率的信号通过。述滤波器可允许特定频率的信号通过。述滤波器可允许特定频率的信号通过。


技术研发人员：张仕强 李丽 王胜福 李宏军 宋学峰 于江涛 张韶华 李亮 梁东升 王小维 汪晓龙 韩易 王晓晶 尹少腾
受保护的技术使用者：中国电子科技集团公司第十三研究所
技术研发日：2021.06.30
技术公布日：2022/3/29