一种防喷溅装置的制作方法

1.本实用新型属于硅片加工技术领域，尤其是涉及一种防喷溅装置。


背景技术：

2.喷砂机是应用于抛光片加工中酸腐蚀后的加工工艺，主要作用是在硅片的背面进行机械损伤使其形成金属吸杂中心。用高压气体将砂浆喷射到硅片表面，部分砂浆会因高压气流的作用产生雾化效果，雾化后的砂浆会经传送带与喷砂机腔室之间的缝隙飞出，如果这部分砂浆落在外部机械手内，就会导致机械手的磨损，另外飞出的砂浆会造成操作环境的污染，易被操作人员吸入体内，危害健康，同时砂浆大量飞出会造成砂浆的浪费，增加生产成本。如果使用挡板不能与传送带贴合，势必会还会存在一定的缝隙，而且挡板还有可能会刮伤传送带上的硅片。


技术实现要素：

3.有鉴于此，本实用新型旨在提出一种防喷溅装置，以解决目前硅片喷砂工艺中砂浆从传送带与喷砂腔室内壁之间的缝隙飞出的问题，进而提高设备的安全性，保证加工环境，降低生产成本。
4.为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：
5.一种防喷溅装置，装置安装于传送带和喷砂机腔室之间的缝隙处，包括风幕枪，所述风幕枪内具有稳压腔，所述风幕枪上开有与稳压腔连通的多个出气孔，多个出气孔喷出气流形成风幕，所述风幕枪上还设有与稳压腔连通的进气管，所述风幕枪与喷砂机腔室相对固定连接。
6.进一步的，所述稳压腔横截面为梯形，所述出气孔均匀分布于稳压腔的底端，所述进气管与快插接头螺纹连接，所述风幕枪与壳体固定连接，所述壳体与传送带的支架配合连接。
7.进一步的，所述风幕枪、壳体均为不锈钢结构件。
8.进一步的，所述风幕枪数量为一个以上。
9.进一步的，所述壳体两侧设有侧板，所述侧板上开有条形通孔，所述传送带的支架上开有与条形通孔对应的螺纹孔，所述条形通孔内侧设有调节螺栓，所述调节螺栓与传送带的支架螺纹连接。
10.进一步的，所述调节螺栓与侧板之间设有限位组件，所述限位组件依次包括固定块、限位块、压缩弹簧、垫片，所述固定块侧面为锯齿结构，所述限位块临近侧板一端开有与固定块对应的凹槽，所述限位块内开有与条形通孔对应的安装孔，所述压缩弹簧直径大于调节螺栓直径且小于垫片直径；所述压缩弹簧安装于调节螺栓外侧，且位于垫片和限位块之间，所述固定块与侧板固定连接，所述限位块的凹槽与固定块配合安装，所述调节螺栓贯穿安装孔和条形通孔与传送带的支架螺纹连接。
11.进一步的，所述限位块两端设有手柄。
12.相对于现有技术，本实用新型所述的一种防喷溅装置具有以下有益效果：
13.(1)本实用新型所述的一种防喷溅装置，高压空气通过出气孔喷出形成风幕对缝隙起到密封作用，阻止了砂浆从缝隙中流出，相较于使用挡板而言，风幕不仅可以和传送带更好的贴合，还能避免刮伤硅片。
14.(2)本实用新型所述的一种防喷溅装置，通过使用限位组件和调节阔螺栓，当需要对不同高度的硅片进行加工时，可以快速调整装置与传送带之间的距离，提高工作效率。
15.(3)本实用新型所述的一种防喷溅装置，风幕枪和壳体均为不锈钢结构件，在保证装置自身强度的同时，还能防止自身产生铁锈，进而防止了铁锈影响硅片的加工质量。
附图说明
16.构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
17.图1为本实用新型实施例所述的装置结构示意图；
18.图2为本实用新型实施例所述的风幕枪结构示意图；
19.图3为本实用新型实施例所述的风幕枪气流示意图；
20.图4为本实用新型实施例所述的风幕枪剖面结构示意图；
21.图5为本实用新型实施例所述的限位组件结构示意图；
22.图6为本实用新型实施例所述的壳体结构示意图；
23.图7为本实用新型实施例所述的限位组件剖面结构示意图；
24.图8为本实用新型实施例所述的限位块结构示意图；
25.图9为本实用新型实施例所述的装置安装示意图。
26.附图标记说明：
27.1-风幕枪；2-壳体；3-快插接头；4-调节螺栓；5-限位组件；6-传送带；101-稳压腔；102-出气孔；103-进气管；201-侧板；202-条形通孔；501-固定块；502-限位块；503-压缩弹簧；504-垫片；505-手柄；506-凹槽。
具体实施方式
28.需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
29.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
30.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安
装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
31.下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
32.如图1至图4及图9所示，本实用新型提供一种防喷溅装置，装置安装于传送带6和喷砂机腔室之间的缝隙处，包括风幕枪1，风幕枪1内具有稳压腔101，风幕枪1上开有与稳压腔101连通的多个出气孔102，多个出气孔102喷出气流形成风幕，风幕对传送带6和喷砂机腔室之间的缝隙起到密封作用，风幕枪1上还设有与稳压腔101连通的进气管103，风幕枪1与喷砂机腔室相对固定连接。稳压腔101横截面为梯形，出气孔102均匀分布于稳压腔101的底端，所述进气管103与快插接头3螺纹连接，所述风幕枪1与壳体2固定连接，所述壳体2与传送带6的支架配合连接。以本公司应用喷砂机过程中存在的问题为例，在喷砂机的实际加工过程中，喷砂机的进料口和出料口与传送带6之间存在缝隙，分别在缝隙处设置两个防喷溅装置，防喷溅装置均安装与传送带6上方，且一侧与喷砂机腔室密封设置。风幕枪1出气孔102的出气方向朝向传送带6，多个出气孔102在稳压腔101底端直线排列，且直线与传送带6的运输方向垂直。将快插接头3与高压气管连接高压空气通过进气管103进入稳压腔101内，高压空气通过直线分布的出气孔102喷出形成风幕，阻止了砂浆从缝隙中流出，相较于使用挡板而言，风幕不仅可以和传送带6更好的贴合，还能避免刮伤硅片。稳压腔101横截面的横截面为梯形，且出气孔102均匀分布于稳压腔101梯形的底端，稳压腔101由稳定压力的作用，使各个出气口的喷出的气体压力更均衡，而梯形结构的稳压腔101还具有引导气流的作用，进一步地保证了各个出气孔102的喷出气体压力的均匀性，进而保证了风幕的防溅效果。优选的风幕枪1数量为3个，可以形成3道风幕能够保证装置的防溅效果。风幕枪1、壳体2均为不锈钢结构件，在保证装置自身强度的同时，还能防止自身产生铁锈，铁锈会影响硅片的加工质量，使用不锈钢材质的风幕枪1和壳体2能够有效地防止铁锈的产生，进而保证了硅片的加工质量。
33.如图5至图8所示，壳体2两侧设有侧板201，侧板201上开有条形通孔202，传送带6的支架上开有与条形通孔202对应的螺纹孔，条形通孔202内侧设有调节螺栓4，调节螺栓4与传送带6的支架螺纹连接。调节螺栓4与侧板201之间设有限位组件5，限位组件5依次包括固定块501、限位块502、压缩弹簧503、垫片504，固定块501侧面为锯齿结构，限位块502临近侧板201一端开有与固定块501对应的凹槽506，凹槽506两侧是可以与固定块501的锯齿结构啮合锯齿结构，限位块502内开有与条形通孔202对应的安装孔，压缩弹簧503直径大于调节螺栓4直径且小于垫片504直径；压缩弹簧503安装于调节螺栓4外侧，且位于垫片504和限位块502之间，固定块501与侧板201固定连接，限位块502的凹槽506与固定块501配合安装，调节螺栓4贯穿安装孔和条形通孔202与传送带6的支架螺纹连接。限位块502两端设有手柄505，通过使用手柄505可以使调节过程更加便捷。实际加工过程中，当需要对不同高度的硅片进行加工时，需要根据硅片的高度以及加工工艺的需求对装置的高度进行调节。需要调节装置高度时，只需要握紧手柄505将限位块502向外侧移动，此时限位块502与固定块501脱离配合，压缩弹簧503发生压缩，调整装置的位置，然后松开手柄505，在压缩弹簧503的作用下，限位块502向固定块501方向移动，凹槽506两侧的锯齿结构和固定快的锯齿结构啮合
起到了限位作用，而且通多调整锯齿结构的齿数和齿距，可以实现相对精确的高度调节。通过使用限位组件5和调节阔螺栓，可以快速调整装置与传送带6之间的距离，提高工作效率。
34.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。
35.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。