一种紫外单色激光物镜的制作方法

技术特征：
1.一种紫外单色激光物镜，其特征在于：包括沿入射方向依次设置第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜；第一透镜为弯月形状的负透镜，第二透镜为弯月形状的正透镜，第三透镜为双凸正透镜，第四透镜为双凸正透镜，第五透镜为弯月形状正透镜，第六透镜为弯月形状正透镜。2.如权利要求1所述的紫外单色激光物镜，其特征在于：沿入射方向，第一透镜的两侧面依次为第一曲面和第二曲面，第二透镜的两侧面依次为第三曲面和第四曲面，第三透镜的两侧面依次为第五曲面和第六曲面，第四透镜的两侧面依次为第七曲面和第八曲面，第五透镜的两侧面依次为第九曲面和第十曲面，第六透镜的两侧面依次为第十一曲面和第十二曲面；第一曲面的曲率半径为-11～-15mm，第二曲面的曲率为250～265mm；第三曲面的曲率半为-60～-70mm，第四曲面的曲率半径为-20～-30mm；第五曲面的曲率半径为490～500mm，第六曲面的曲率半径为-40～-50mm；第七曲面的曲率半径为60～70mm，第八曲面的曲率半径为-150～-155mm；第九曲面的曲率半径为30～35mm，第十曲面的曲率半径为105～115mm；第十一曲面的曲率半径为15～25mm，第十二曲面的曲率半径为25～35mm。3.如权利要求2所述的紫外单色激光物镜，其特征在于：第一曲面的曲率半径为-13.709
±
0.002mm，第二曲面的曲率为258.191
±
0.002mm；第三曲面的曲率半为-67.445
±
0.002mm，第四曲面的曲率半径为-25
±
0.002mm；第五曲面的曲率半径为496.482
±
0.002mm，第六曲面的曲率半径为-44.67
±
0.002mm；第七曲面的曲率半径为65.77
±
0.002mm，第八曲面的曲率半径为-152.183
±
0.002mm；第九曲面的曲率半径为33.73
±
0.002mm，第十曲面的曲率半径为111.34
±
0.002mm；第十一曲面的曲率半径为20.781
±
0.002mm，第十二曲面的曲率半径为31.45
±
0.002mm。4.如权利要求1-3任意一项所述的紫外单色激光物镜，其特征在于：第一透镜的中心厚度为3.3
±
0.1mm；第二透镜的中心厚度为6
±
0.1mm；第三透镜的中心厚度为6
±
0.1mm；第四透镜的中心厚度为5.9
±
0.1mm；第五透镜的中心厚度为5.5
±
0.1mm；第六透镜的中心厚度为5.5
±
0.1mm。5.如权利要求1-3任意一项所述的紫外单色激光物镜，其特征在于：第一透镜与第二透镜的中心间隔为5.5
±
0.2mm，第二透镜和第三透镜之间的中心间隔为2.4
±
0.2mm，第三透镜和第四透镜之间的中心间隔为9.9
±
0.2mm，第四透镜和第五透镜之间的中心间隔为1.3
±
0.2mm，第五透镜和第六透镜之间的中心间隔为0.7
±
0.2mm，后截距长度是23.2
ꢀ±
0.2mm。6.如权利要求1-3任意一项所述的紫外单色激光物镜，其特征在于：所有透镜材料采用紫外熔融石英材料。7.如权利要求1-3任意一项所述的紫外单色激光物镜，其特征在于：物镜参数：波长343nm，焦距20mm，na0.25，共轭距离259.8mm。

技术总结
本实用新型公开了一种紫外单色激光物镜，包括沿入射方向依次设置第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜；第一透镜为弯月形状的负透镜，第二透镜为弯月形状的正透镜，第三透镜为双凸正透镜，第四透镜为双凸正透镜，第五透镜为弯月形状正透镜，第六透镜为弯月形状正透镜。本实用新型紫外单色激光物镜，MTF接近衍射极限，畸变＜0.2％，能完美放大测试目标，激光透过率大于95％，激光损伤阈值在3J/cm2，用于测量高功率超快微米级激光聚焦光斑。聚焦光斑。聚焦光斑。


技术研发人员：严会文 王坚 王国力 朱敏
受保护的技术使用者：南京波长光电科技股份有限公司
技术研发日：2021.08.06
技术公布日：2022/3/25