半导体工厂控挡片管理方法与流程

1.本发明属于挡控片管理技术领域，具体的说是半导体工厂控挡片管理方法。


背景技术：

2.晶圆制程中控片和挡片起监控测试和维持稳定的作用，是必需的部件，随着制程推进，挡控片的需求有扩大趋势。
3.制作晶圆的精细度要求极高，硅片表面的平整度直接关系到芯片的质量，所以要时刻对制造设备的性能进行监测测试以及维持稳定，但是这些测试和维持稳定都是破坏性的，直接使用产品成本较高，所以一般通过挡片和控片来代替使用，控片主要用来监控机台的制程能力是否稳定、生产环境是否洁净，挡片的作用主要是维持机台的稳定性。
4.现有的挡控片来源大多是全新晶圆和再生晶圆，但是再生的挡控片没有经过品质等级划分，使得品质良好的挡控片被应用到后段或是较易污染的制程上，导致挡控片品质受损报废，进而造成挡控片损耗量增大；为此，本发明提供半导体工厂控挡片管理方法。


技术实现要素：

5.为了弥补现有技术的不足，解决现有的挡控片来源大多是全新晶圆和再生晶圆，但是再生的挡控片没有经过品质等级划分，使得品质良好的挡控片被应用到后段或是较易污染的制程上，导致挡控片品质受损报废，进而造成挡控片损耗量增大的问题，本发明提出的半导体工厂控挡片管理方法。
6.本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：本发明所述的半导体工厂控挡片管理方法，所述控挡片的管理方法步骤如下所示：s1：全新晶圆挡控片的检测：通过检测装置检测由全新晶圆生产的挡控片是否合格，如果合格将该挡控片存放至备用库中，如果不合格将该挡控片存放至废料库中；s2：回收处理：将使用过的挡控片全部放入回收站，并在回收站内进行专业的清洗处理；s3：回收检测：通过检测装置检测回收站内处理过的挡控片是否合格，再对合格的挡控片进行品质检测并划分等级；s4：再生利用：根据实际情况，将不同等级的挡控片对应的提供给不同制程使用；s5：数据管理：定期整理数据管理库中挡控片的数据信息，并及时更新；通过将挡控片回收经过专业处理后使得挡控片重新具备测试和稳定机台稳定性的功能，极大地减小了挡控片的损耗，避免了每次都使用全新的挡控片，降低了挡控片的使用成本，且根据对不同品质的挡控片进行等级划分，使得不同品质的挡控片可以应用在不同的制程上，使得挡控片的品质影响可以降到最低，进而使得挡控片可以循环利用更多次，通过定期整理数据管理库，使得数据管理库中的数据信息可以保持准确性和实效性。
7.优选的，所述s1中还包括以下步骤：s11：对合格的挡控片进行刻码并将相关的信息记录，上传至数据管理库中；s12：对不合格的挡控片进行刻码并将相关的信息记录，上传至数据管理库中；通过对挡控片进行检测，成功避免了不合格的挡控片被提供给制程使用，影响制程的稳定性，通过数据管理库记录每一个挡控片的相关信息，使得工作人员可以实
时的了解到对应挡控片的生产数据。
8.优选的，所述s2中还包括以下步骤：s21：对回收的挡控片进行检测，区分挡控片上有膜或无膜，将有膜的集中处理，将无膜的集中处理；s22：通过化学溶液对有膜的挡控片进行去除，再与无膜的挡控片一起进行抛光研磨，最后再进行清洗；通过对回收的挡控片进行有无膜判断，便于工作人员后续的化学腐蚀处理，减少了化学药剂的浪费，通过对回收的挡控片进行化学腐蚀、研磨抛光和清洗等一系列的处理，使得挡控片可以再次被重复使用，降低了挡控片的使用成本。
9.优选的，所述s21中还包括以下步骤：s211：通过挡控片上的刻码与数据管理库中的信息对应，判断该挡控片的循环使用次数，如果能利用再进行有无膜的检测，如果不能再利用，则对该挡控片进行报废处理，并将相关数据记录，上传至数据管理库；通过数据管理库中记录的挡控片信息与挡控片上的刻码相对应，便于工作人员对回收的挡控片的重复使用次数进行了解，进而便于工作人员判断该挡控片是否能够再次使用，降低了工作难度，提高了工作人员的工作效率。
10.优选的，所述s211中在检查时区分挡片和控片，挡片可根据刻码对应数据管理库中的信息进行判断，而控片则根据实际情况对使用在某些特殊制程上的控片可直接进行报废处理；通过数据管理库中记录的挡控片信息与挡控片上的刻码相对应，便于工作人员对回收的控片使用信息进行了解，对于某些特殊制程上的控片可直接进行报废处理，极大地减小了工作人员的工作强度。
11.优选的，所述s22中还包括以下步骤：s221：通过检测将不同膜层的的挡控片进行分类，针对不同膜层的挡控片使用不同的化学试剂进行腐蚀；s222：对去膜后的挡控片进行再次的全面检查，如果无膜则进行后续的抛光研磨，如果有膜则再次通过化学试剂进行去膜；s223：先对抛光后的挡控片进行一次清洗，清洗完成后再检查挡控片是否合格，如果合格则通过检测，如果不合格再次对挡控片进行处理并检查，直至合格为止；通过对不同膜层的挡控片进行分类，便于工作人员通过不同的化学试剂针对不同膜层的挡控片进行去膜处理，进而便于挡控片能够更加快速准确的去膜，减小了化学药剂的浪费，降低了化学药剂的使用成本，通过对清洗后的挡控片进行检测，确保挡控片的表面没有残留的研磨颗粒之后再使用，有效地避免了不合格的挡控片对制程的影响。
12.优选的，所述s3还包括以下步骤：s31：通过检测装置对处理后的挡控片进行检测，合格的挡控片再继续进行品质判断，不合格的挡控片进行报废处理，并向相关的信息记录，上传数据管理库；s32：对处理后的挡控片的品质进行检测，并划分等级a、b、c、d，对不同品质等级的挡控片进行分类处理，并向相关的信息上传数据管理库；通过对挡控片进行等级划分，便于工作人员对挡控片进行分类处理，使得挡控片能够更快更准确被应用到相对应的制程上，避免新的挡控片或者高品质的挡控片被应用到较易污染的制程上后直接报废，减小了挡控片的使用成本。
13.优选的，所述s31中a等级对应一次循环利用的挡控片，b等级对应二次循环利用的挡控片，c等级对应三次循环利用的挡控片，d等级对应四次循环利用的挡控片；通过对挡控片进行明确的等级划分，使得挡控片能够更好的被应用。
14.优选的，所述s4中将回收处理后品质受到影响的挡控片提供给较后段或是较易污染的制程使用，将品质未受影响的挡控片提供给前段或是不易污染的制程使用；通过将回
收处理后品质受到影响的挡控片应用到较后段或是较易污染的制程上，避免了新的或是品质未受影响的挡控片被直接应用到较后段或是较易污染的制程上，导致挡控片受损报废，进而造成使用成本增加。
15.优选的，所述s5中定期整理数据管理库的数据时随机抽取部分挡控片的数据信息与现实中挡控片的使用信息，检查是否一致，判断数据管理库中的数据是否准确；通过定期对数据管理中的信息进行整理检测，判断数据管理库中的数据是否具有时效性，避免工作人员在不知情的情况下使用了错误的数据管理库中的信息，产生不好的影响。
16.本发明的有益效果如下：
17.1.本发明所述的半导体工厂控挡片管理方法，通过对回收的挡控片进行化学腐蚀、研磨抛光和清洗等一系列的处理使得挡控片重新具备测试和稳定机台稳定性的功能，极大地减小了挡控片的损耗，避免了每次都使用全新的挡控片，降低了挡控片的使用成本，且根据对不同品质的挡控片进行等级划分，使得不同品质的挡控片可以应用在不同的制程上，使得挡控片的品质影响可以降到最低，进而使得挡控片可以循环利用更多次，通过定期整理数据管理库，使得数据管理库中的数据信息可以保持准确性和时效性。
18.2.本发明所述的半导体工厂控挡片管理方法，通过对不同膜层的挡控片进行分类，便于工作人员通过不同的化学试剂针对不同膜层的挡控片进行去膜处理，进而便于挡控片能够更加快速准确的去膜，减小了化学药剂的浪费，降低了化学药剂的使用成本，通过对清洗后的挡控片进行检测，确保挡控片的表面没有残留的研磨颗粒之后再使用，有效地避免了不合格的挡控片对制程的影响。
附图说明
19.下面结合附图对本发明作进一步说明。
20.图1是半导体工厂控挡片管理方法的流程图；
具体实施方式
21.为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
22.如图1所示，本发明所述的半导体工厂控挡片管理方法，所述控挡片的管理方法步骤如下所示：s1：全新晶圆挡控片的检测：通过检测装置检测由全新晶圆生产的挡控片是否合格，如果合格将该挡控片存放至备用库中，如果不合格将该挡控片存放至废料库中；s2：回收处理：将使用过的挡控片全部放入回收站，并在回收站内进行专业的清洗处理；s3：回收检测：通过检测装置检测回收站内处理过的挡控片是否合格，再对合格的挡控片进行品质检测并划分等级；s4：再生利用：根据实际情况，将不同等级的挡控片对应的提供给不同制程使用；s5：数据管理：定期整理数据管理库中挡控片的数据信息，并及时更新；工作时，通过将挡控片回收经过专业处理后使得挡控片重新具备测试和稳定机台稳定性的功能，极大地减小了挡控片的损耗，避免了每次都使用全新的挡控片，降低了挡控片的使用成本，且根据对不同品质的挡控片进行等级划分，使得不同品质的挡控片可以应用在不同的制程上，使得挡控片的品质影响可以降到最低，进而使得挡控片可以循环利用更多次，通过定期整理数据管理库，使得数据管理库中的数据信息可以保持准确性和实效性。
23.所述s1中还包括以下步骤：s11：对合格的挡控片进行刻码并将相关的信息记录，上传至数据管理库中；s12：对不合格的挡控片进行刻码并将相关的信息记录，上传至数据管理库中；工作时，通过对挡控片进行检测，成功避免了不合格的挡控片被提供给制程使用，影响制程的稳定性，通过数据管理库记录每一个挡控片的相关信息，使得工作人员可以实时的了解到对应挡控片的生产数据。
24.所述s2中还包括以下步骤：s21：对回收的挡控片进行检测，区分挡控片上有膜或无膜，将有膜的集中处理，将无膜的集中处理；s22：通过化学溶液对有膜的挡控片进行去除，再与无膜的挡控片一起进行抛光研磨，最后再进行清洗；工作时，通过对回收的挡控片进行有无膜判断，便于工作人员后续的化学腐蚀处理，减少了化学药剂的浪费，通过对回收的挡控片进行化学腐蚀、研磨抛光和清洗等一系列的处理，使得挡控片可以再次被重复使用，降低了挡控片的使用成本。
25.所述s21中还包括以下步骤：s211：通过挡控片上的刻码与数据管理库中的信息对应，判断该挡控片的循环使用次数，如果能利用再进行有无膜的检测，如果不能再利用，则对该挡控片进行报废处理，并将相关数据记录，上传至数据管理库；工作时，通过数据管理库中记录的挡控片信息与挡控片上的刻码相对应，便于工作人员对回收的挡控片的重复使用次数进行了解，进而便于工作人员判断该挡控片是否能够再次使用，降低了工作难度，提高了工作人员的工作效率。
26.所述s211中在检查时区分挡片和控片，挡片可根据刻码对应数据管理库中的信息进行判断，而控片则根据实际情况对使用在某些特殊制程上的控片可直接进行报废处理；工作时，通过数据管理库中记录的挡控片信息与挡控片上的刻码相对应，便于工作人员对回收的控片使用信息进行了解，对于某些特殊制程上的控片可直接进行报废处理，极大地减小了工作人员的工作强度。
27.所述s22中还包括以下步骤：s221：通过检测将不同膜层的的挡控片进行分类，针对不同膜层的挡控片使用不同的化学试剂进行腐蚀；s222：对去膜后的挡控片进行再次的全面检查，如果无膜则进行后续的抛光研磨，如果有膜则再次通过化学试剂进行去膜；s223：先对抛光后的挡控片进行一次清洗，清洗完成后再检查挡控片是否合格，如果合格则通过检测，如果不合格再次对挡控片进行处理并检查，直至合格为止；工作时，通过对不同膜层的挡控片进行分类，便于工作人员通过不同的化学试剂针对不同膜层的挡控片进行去膜处理，进而便于挡控片能够更加快速准确的去膜，减小了化学药剂的浪费，降低了化学药剂的使用成本，通过对清洗后的挡控片进行检测，确保挡控片的表面没有残留的研磨颗粒之后再使用，有效地避免了不合格的挡控片对制程的影响。
28.所述s3还包括以下步骤：s31：通过检测装置对处理后的挡控片进行检测，合格的挡控片再继续进行品质判断，不合格的挡控片进行报废处理，并向相关的信息记录，上传数据管理库；s32：对处理后的挡控片的品质进行检测，并划分等级a、b、c、d，对不同品质等级的挡控片进行分类处理，并向相关的信息上传数据管理库；工作时；通过对挡控片进行等级划分，便于工作人员对挡控片进行分类处理，使得挡控片能够更快更准确被应用到相对应的制程上，避免新的挡控片或者高品质的挡控片被应用到较易污染的制程上后直接报废，减小了挡控片的使用成本。
29.所述s31中a等级对应一次循环利用的挡控片，b等级对应二次循环利用的挡控片，
c等级对应三次循环利用的挡控片，d等级对应四次循环利用的挡控片；工作时；通过对挡控片进行明确的等级划分，使得挡控片能够更好的被应用。
30.所述s4中将回收处理后品质受到影响的挡控片提供给较后段或是较易污染的制程使用，将品质未受影响的挡控片提供给前段或是不易污染的制程使用；工作时；通过将回收处理后品质受到影响的挡控片应用到较后段或是较易污染的制程上，避免了新的或是品质未受影响的挡控片被直接应用到较后段或是较易污染的制程上，导致挡控片受损报废，进而造成使用成本增加。
31.所述s5中定期整理数据管理库的数据时随机抽取部分挡控片的数据信息与现实中挡控片的使用信息，检查是否一致，判断数据管理库中的数据是否准确；工作时；通过定期对数据管理中的信息进行整理检测，判断数据管理库中的数据是否具有时效性，避免工作人员在不知情的情况下使用了错误的数据管理库中的信息，产生不好的影响。
32.上述前、后、左、右、上、下均以说明书附图中的图1为基准，按照人物观察视角为标准，装置面对观察者的一面定义为前，观察者左侧定义为左，依次类推。
33.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明保护范围的限制。
34.以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。