物品搬送设备的制作方法

1.本发明涉及作为对物品搬送车的进入进行管理的管理区而设定有包括第一路径、第二路径、第三路径以及连接部的区域的物品搬送设备。


背景技术：

2.在日本特开2005-284779号公报中，公开了如下的物品搬送设备：在行驶路径设定有排他地控制多个物品搬送车的进入的区间（所谓的管理区），由区控制器控制向该管理区进入的物品搬送车的通行（以下，在背景技术中，括弧内所示的符号是所参照的文献的符号。）。例如，在日本特开2005-284779号公报的图2中，示出了如下的示例：设定有点（p1、p2）的第一路径、设定有点（p4）的第二路径以及设定有点（p5）的第三路径在连接部（点（p3））处连接，包括这些点（p1-p5）的区域作为成为由区控制器（30）进行的排他控制的对象的管理区而设定。在区控制器（30）许可在第二路径行驶的物品搬送车从第一路径经由连接部（p3）向管理区进入的情况下，禁止在第三路径行驶的其它物品搬送车向该管理区进入。由此，禁止该其它物品搬送车从第三路径经由连接部向第二路径行驶，因而例如避免如物品搬送车在从连接部（p3）起的第二路径侧彼此接触那样的情况。


技术实现要素：

3.可是，物品搬送车不限于仅单单通过管理区，有时候也停止于管理区中。例如，在利用物品搬送车的物品的搬送源头或搬送目的地设置于管理区中的情况下，为了进行物品的交接，物品搬送车有时候停止于该管理区中。如果物品搬送车存在于管理区中，则其它物品搬送车不能进入至管理区。如果先进入至管理区中的物品搬送车停止于管理区中，则由于由区控制器（30）进行的排他控制而限制其它物品搬送车的通行的时间变长，物品搬送设备的搬送效率下降。
4.鉴于上述背景，在物品搬送车有时候停止于管理区中的物品搬送设备中，期望提供使利用物品搬送车的搬送效率进一步提高的技术。
5.鉴于上述的物品搬送设备，是如下的物品搬送设备：作为搬送物品的物品搬送车的行驶路径，具备端部连接至连接部的第一路径、端部连接至前述连接部的第二路径以及端部连接至前述连接部的第三路径，且包括前述第一路径的至少一部分、前述第二路径的至少一部分、前述第三路径的至少一部分以及前述连接部的区域被设定为对前述物品搬送车的通行进行管理的管理区，物品搬送设备具备进行管理前述物品搬送车在前述管理区中的通行的控制的控制装置，在前述管理区内，设置有前述物品搬送车所停止的车站，前述车站在前述管理区内的前述第一路径中设置于停止于该车站的前述物品搬送车不干涉在前述第二路径和前述第三路径行驶的其它前述物品搬送车的位置，前述控制装置能够执行：基本处理，其在前述管理区内不存在前述物品搬送车的情况下，许可作为先进入至前述管理区内的前述物品搬送车的第一物品搬送车向前述管理区内进入，并且在前述第一物品搬送车存在于前述管理区内的情况下，禁止作为其它前述物品搬送车的第二物品搬送车向前
述管理区进入；和第一例外处理，其即使在前述第一物品搬送车存在于前述管理区内的情况下，前述第一物品搬送车也是停止于前述车站的前述物品搬送车，前述第二物品搬送车经过前述第二路径和前述第三路径且不经过前述第一路径的情况下，许可前述第二物品搬送车向前述管理区进入。
6.依据该构成，通过基本处理来执行排他控制，使得仅一台物品搬送车能够进入至管理区内，因而能够适当地防止管理区内的多个物品搬送车的干涉。而且，通过第一例外处理，即使第一物品搬送车存在于管理区内，也容许第二物品搬送车进入至管理区。在仅进行基本处理的情况下，有必要等待第二物品搬送车进入至管理区，直到停止于管理区内的第一物品搬送车退出管理区为止，妨碍物品搬送设备的搬送效率提高。然而，依据本构成，即使第一物品搬送车停止于管理区内，第二物品搬送车也不会在管理区内干涉第一物品搬送车的情况下，该第二物品搬送车能够通过管理区，因而能够使物品搬送设备的搬送效率提高。即，依据本构成，在物品搬送车有时候停止于管理区中的物品搬送设备中，能够使利用物品搬送车的搬送效率进一步提高。
7.物品搬送设备的进一步的特征和优点从关于参照附图来说明的实施方式的以下的记载变得明确。
附图说明
8.图1是物品搬送设备的俯视图。
9.图2是物品搬送车的侧视图。
10.图3是物品搬送车的主视图。
11.图4是示出由物品搬送车转移物品的示例的图。
12.图5是示出物品搬送设备的系统构成的一个示例的示意性框图。
13.图6是示出在内部配置有车站的管理区的一个示例的图。
14.图7是示出物品搬送车与区管理装置的通信方式的一个示例的图。
15.图8是示出物品搬送车与转移管理装置的通信方式的一个示例的图。
16.图9是示出对通过管理区的物品搬送车进行调停的一个示例的图。
17.图10是示出物品搬送车与转移管理装置的通信数据的一个示例的图。
18.图11是示出将物品搬送车与转移管理装置的通信数据分配至区管理装置的示例的图。
19.图12是示出正停止于车站的物品搬送车与区管理装置的通信的一个示例的时序图。
20.图13是示出设定有多个车站的处理装置与管理区的关系的一个示例的图。
21.图14是示出主路径与副路径的连接部位处的第一路径、第二路径、第三路径以及连接部的一个示例的图。
22.图15是示出主路径与副路径的连接部位处的第一路径、第二路径、第三路径以及连接部的其它示例的图。
23.图16是示出第一路径、第二路径、第三路径、连接部、管理区以及车站的关系的一个示例的概念图。
24.图17是示出在内部配置有车站的管理区的其它示例的图。
25.图18是示出第一路径、第二路径、第三路径、连接部、管理区以及车站的关系的其它示例的概念图。
具体实施方式
26.以下，基于附图来说明物品搬送设备的实施方式。如图1至图5所示，物品搬送设备100具备：行驶轨道2，其被顶棚悬挂支撑，并沿着行驶路径1设置；以及物品搬送车3（vhl），其在行驶轨道2上沿着行驶路径1行驶并搬送物品w。在以下的说明中，将沿着行驶路径1的方向作为行驶方向y，将沿着水平面并且与行驶方向y正交的方向作为宽度方向x。上下方向z是与行驶方向y和宽度方向x正交的方向。
27.物品搬送车3例如将容纳半导体基板的foup（front opening unified pod，前开式统集盒）或容纳光掩模等的掩模版（reticles）作为物品w搬送。在本实施方式中，作为物品w而例示有foup。此外，在物品w中，还包括作为容纳物的光掩模或半导体基板。在物品搬送设备100，还具备多个处理装置eq，该多个处理装置eq对光掩模或半导体基板进行各种处理、或使用光掩模或半导体基板来进行各种处理。
28.如图1所示，行驶路径1具备一个环状主路径1m、经由多个处理装置eq的环状的多个副路径1s以及将这些主路径1m与副路径1s连接的分支汇合部b。分支汇合部b包括从主路径1m朝向副路径1s分支的分支部（例如参照图9的b4）和从副路径1s向主路径1m的连接路径与主路径1m汇合的汇合部（例如参照图9的b1）。另外，分支汇合部b包括向（从环状副路径1s向主路径1m的）连接路径分支的分支部（例如参照图9的b3）和环状副路径1s与从主路径1m向副路径1s的连接路径汇合的汇合部（例如参照图9的b2）。此外，在以下的说明中，在分支汇合部b内，有时候将汇合部（b1、b2）区别而称为“连接部j”。另外，在本实施方式中，如在图1等中以箭头示出那样，行驶路径1是单向通行的，物品搬送车3在行驶路径1从行驶方向上游侧朝向行驶方向下游侧行驶。
29.如图2和图3所示，物品搬送车3具备：行驶部9，其被一对行驶轨道2引导而沿着行驶路径1行驶，所述一对行驶轨道2沿着行驶路径1被顶棚悬挂支撑而配置；搬送车主体10，其位于行驶轨道2的下方并被行驶部9悬挂支撑；以及受电部12，其从沿着行驶路径1配设的馈电线11无接触地接受驱动用电力。另外，在搬送车主体10，具备悬挂并保持物品w的物品保持部13和使物品保持部13升降的升降部14。如图2和图3所示，物品搬送车3在使物品保持部13上升的状态下行驶并搬送物品w。
30.如图4所示，物品搬送设备100具备设置于地板面侧并承载有物品w的承载台104。物品搬送车3在使物品保持部13下降的状态下在与承载台104之间转移物品w。承载台104配置于物品搬送设备100的多个部位。例如，承载台104配置于各个处理装置eq或图1中的图示之外的物品保管库。将设置有这样的承载台104且物品搬送车3在行驶路径1中所停止的地点称为车站st。
31.在本实施方式中，如图3所示，在一台物品搬送车3具备两个行驶部9，由各个行驶部9悬挂支撑共同的搬送车主体10。两个行驶部9是相同的构成，例如在各个行驶部9具备受电部12。各个行驶部9沿着物品搬送车3的行驶方向y并排地配置。
32.如图2和图3所示，在各个行驶部9，具备由电动式行驶用致动器35（参照图5）旋转驱动的一对行驶轮15。行驶轮15在形成于行驶轨道2的各个上表面的行驶面上滚动。另外，
在各个行驶部9，围绕沿着上下方向z的轴心（围绕上下轴心）自由旋转的一对引导轮16以抵接于一对行驶轨道2中的内侧面的状态配备。在搬送车主体10，如图5所示，具备使物品保持部13升降的升降用致动器34、对通过抓握来保持物品w的物品保持部13进行驱动的保持用致动器33等致动器以及对那些致动器进行驱动的驱动电路等。此外，这些致动器是例如马达或螺线管等。
33.物品搬送车3基于来自对物品搬送设备100的整体进行管理的设备控制装置h1（mcp：material control processor，材料控制处理器）的搬送指令，在不同的承载台104之间搬送物品w。在本实施方式中，设备控制装置h1和各个物品搬送车3以能够通过无线通信来通信的方式构成。各个物品搬送车3具备搬送车控制装置30，基于搬送指令来通过自主控制而使物品搬送车3行驶、停止于设定于所指定的承载台104的上方的车站st处，使物品保持部13升降，由此转移物品w。
34.此外，如上所述，行驶路径1具备多个分支汇合部b，在各个分支汇合部b中，一个路径分支成多个，或多个路径汇合成一个路径。例如，某个物品搬送车3在分支部中进行分支的情况下，如果在分支后的两个路径的任一个存在另外的物品搬送车3，则存在通过分支部前后与该另外的物品搬送车3接触的可能性。另外，某个物品搬送车3在汇合部中进行汇合的情况下，如果在汇合前的两个路径的任一个存在另外的物品搬送车3，则存在通过汇合部前后与该另外的物品搬送车3接触的可能性。即，存在多个物品搬送车3在分支汇合部b中互相干涉的可能性。
35.为了避免这样的干涉并对物品搬送车3在分支汇合部b处的通行进行调停，如图6所示，在行驶路径1中包括分支汇合部b的区域设定有对物品搬送车3的通行进行管理的管理区e。另外，如图7所示，物品搬送设备100具备区管理装置h2（zcu：zone control unit，区控制单元）。在行驶路径1，设定有多个管理区e，区管理装置h2配备于各个管理区e。即，管理区e设定于行驶路径1中的分支汇合部b等的有必要对多个物品搬送车3的通行进行调停的区域，多个区管理装置h2对物品搬送车3在各个管理区e中的通行互相独立地进行管理。区管理装置h2相当于对管理物品搬送车3在管理区e中的通行进行控制的控制装置。
36.在本实施方式中，为了检测向管理区e出入的物品搬送车3，沿着行驶路径1配置有路径侧通信部s1。在图6所示的示例中，为了对要进入管理区e的物品搬送车3在向管理区e进入之前进行检测，在比管理区e更靠近行驶方向上游侧，设置有进入检测点sp（第一进入检测点sp1、第二进入检测点sp2）。另外，为了对要从管理区e退出的物品搬送车3在从管理区e退出之后进行检测，在比管理区e更靠近行驶方向下游侧，设置有退出检测点dp（第一退出检测点dp1、第二退出检测点dp2）。路径侧通信部s1配置于各个进入检测点sp和退出检测点或至少配置于各个进入检测点sp。
37.物品搬送车3例如具备能够通过光通信与路径侧通信部s1进行双向通信的搬送车侧通信部s0。如果物品搬送车3暂时停止于进入检测点sp处，则区管理装置h2基于搬送车侧通信部s0与路径侧通信部s1的通信来检测向管理区e进入的物品搬送车3。例如，“到达进入检测点”信号和“要求进入”信号从物品搬送车3发送至区管理装置h2。“搬送车（vhl）检测”信号从区管理装置h2发送至物品搬送车3，向该物品搬送车3通知识别出存在使向管理区e的进入待机的物品搬送车3。在区管理装置h2许可向管理区e进入的情况下，进入许可信息经由路径侧通信部s1传递至搬送车侧通信部s0。例如，“许可通过”信号从区管理装置h2发
送至物品搬送车3。此外，在物品搬送车3例如在进入检测点sp处在向管理区e进入之后停止于管理区e内的车站st处的情况下，优选表示预定停止的信息也发送至区管理装置h2。
38.照此，区管理装置h2对包括该物品搬送车3的多个物品搬送车3在管理区中的通行进行管理。在多台物品搬送车3将要向管理区e进入的情况下，区管理装置h2进行调停，控制成在管理区e中仅存在一台物品搬送车3。即，区管理装置h2作为“基本处理”而执行如下的处理：在管理区e内不存在物品搬送车3的情况下，许可先进入至管理区e内的物品搬送车（作为第一物品搬送车31（参照图9等））向管理区e内进入，并且，在管理区e内存在第一物品搬送车31的情况下，禁止其它物品搬送车3（作为第二物品搬送车32（参照图9））向管理区e进入。
39.随后，如果通过管理区e的物品搬送车3通过退出检测点dp，则区管理装置h2检测到该物品搬送车3从管理区e退出。退出的检测也可以是与进入检测点sp同样地在退出检测点dp处通过路径侧通信部s1与搬送车侧通信部s0的通信（例如光通信）来检测的方式，也可以是通过设置于退出检测点dp的其它传感器等来检测的方式。物品搬送车3也可以不会暂时停止于退出检测点dp处。
40.可是，在本实施方式中，如图6所示，在管理区e内，设置有物品搬送车3停止的车站st。在车站st处，如在上文中参照图4来描述那样，物品搬送车3停止，在与承载台104之间转移物品w。即，与仅通过管理区e的物品搬送车3相比，有时候存在长时间停留于管理区e内的物品搬送车3。如图6所示，由于车站st配置于副路径1s，因而即使被包括在相同的管理区e中，也能够例如经过主路径1m来通过管理区e。即，即使存在停止于车站st的物品搬送车3的情况下，在经过与该正停止的物品搬送车3不干涉的路径的情况下，另外的物品搬送车3也能够通过管理区e。
41.然而，关于上述的“基本处理”，在管理区e内存在物品搬送车3（第一物品搬送车31）的情况下，禁止其它物品搬送车3（第二物品搬送车32）向管理区e进入。与第一物品搬送车31是仅通过管理区e的物品搬送车3的情况相比，第二物品搬送车32有必要长时间待机，物品搬送设备100的搬送效率变得下降。因此，即使在管理区e内存在物品搬送车3（第一物品搬送车31），也优选第二物品搬送车32能够在一定条件下通过管理区e。
42.作为该条件，要求第一物品搬送车31在车站st处停止（更可靠地停止），通过管理区e的第二物品搬送车32不干涉该物品搬送车3（存在于从管理区e的入口到车站st的路径的第一物品搬送车31、至少在车站st处停止的第一物品搬送车31）。第一物品搬送车31与第二物品搬送车32的干涉由管理区e中的行驶路径1的构成和该行驶路径1中的车站st的位置所规定。在本实施方式中，以如下的构成为示例而说明：例如，如图9所示，在作为行驶路径1而具备端部连接至连接部j的第一路径k1、端部连接至连接部j的第二路径k2以及端部连接至连接部j的第三路径k3，且包括第一路径k1的至少一部分、第二路径k2的至少一部分、第三路径k3的至少一部分以及连接部j的区域设定为管理区e的情况下，车站st在管理区e内的第一路径k1中设置于停止于该车站st的物品搬送车3不干涉在第二路径k2和第三路径k3行驶的其它物品搬送车3的位置。
43.在管理区e中的行驶路径1的方式如上述那样的情况下，区管理装置h2执行如以下那样的“例外处理（第一例外处理）”。即，如图9所示，即使在管理区e内存在第一物品搬送车31的情况下，在第一物品搬送车31正停止于车站st，第二物品搬送车32经过第二路径k2和
第三路径k3且不经过第一路径k1的情况下，第二物品搬送车32也执行许可向管理区e进入的第一例外处理。
44.关于第一物品搬送车31停止于车站st处的检测，例如与进入检测点sp处的路径侧通信部s1和搬送车侧通信部s0的通信同样地考虑通过设置于车站st的路径侧通信部s1与搬送车侧通信部s0的通信来检测。然而，在车站st处，有必要将关于在与承载台104之间的转移的信息在处理装置eq的转移控制装置h3（tcu：transfer control unit，转移控制单元）与物品搬送车3之间通信。例如，在车站st处，如图8所示，装置侧通信部s2与搬送车侧通信部s0进行通信。因此，难以在车站st设置将信息传递至区管理装置h2的路径侧通信部s1，区管理装置h2难以得到第一物品搬送车31停止于车站st处这一信息。于是，在本实施方式中，利用在处理装置eq的转移控制装置h3与物品搬送车3的搬送车控制装置30的通信中未使用的信号，进行区管理装置h2与搬送车控制装置30的通信。
45.图10示出处理装置eq的转移控制装置h3与物品搬送车3的搬送车控制装置30的通信方式的一个示例。装置侧通信部s2与转移控制装置h3之间的通信也可以通过利用rj11（模块插孔（modular jack））通信线等的串行通信来实施，也可以通过pio（parallel input/output，并行输入/输出）等并行通信来实施。另外，也可以是通过以太网（注册商标）等有线网络连接来通信的方式。
46.如在上文中参照图4来描述那样，在进行转移时，伴有物品保持部13的上升或下降。物品搬送车3和转移控制装置h3进行关于物品保持部13的上升或下降相关的要求或许可的通信。例如，如图10所示，从物品搬送车3侧发送要求许可物品保持部13的上升或下降的信号，从转移控制装置h3侧发送许可物品保持部13的上升或下降的信号。
47.图11例示如下的方式：使处理装置eq的转移控制装置h3与物品搬送车3的搬送车控制装置30的通信路径分支，区管理装置h2与搬送车控制装置30也进行通信。例如，如图11所示，“位置固定”信号和“要求移动”信号从物品搬送车3向区管理装置h2发送，“vhl检测”信号和“许可通过”信号从区管理装置h2向物品搬送车3发送。
[0048]“位置固定”信号对应于上述的“基本处理”中的“到达进入检测点”信号，“要求移动”信号对应于“基本处理”中的“要求进入”信号，“vhl检测”信号和“许可通过”信号与“基本处理”同样。即，在装置侧通信部s2与搬送车侧通信部s0的通信中，能够收发与路径侧通信部s1和搬送车侧通信部s0的通信相同含义的信号，从而停止于车站st的物品搬送车3也能够与区管理装置h2通信。
[0049]
此外，通过pio等并行通信来实施装置侧通信部s2与转移控制装置h3之间的通信的情况下，不限于使用所有信号线。在存在未使用的信号线的情况下，将该未使用的信号线用于物品搬送车3侧的装置侧通信部s2与区管理装置h2的通信，从而能够使用现有的设备并同时通过简单改造来实现区管理装置h2与搬送车控制装置30的通信。
[0050]
另外，如上所述，从装置侧通信部s2传递至转移控制装置h3侧的多个信号分配至两个路径。因此，从装置侧通信部s2向转移控制装置h3侧的信号传递优选使用pio等并行信号。关于分配后的信号，可以按其原样以pio等并行信号传递至转移控制装置h3，也可以在变换成串行信号之后传递至转移控制装置h3。同样地，向区管理装置h2的信号可以按其原样以pio等并行信号传递，也可以在变换成串行信号之后传递。在此，对向转移控制装置h3发送的信号、向区管理装置h2发送的信号的方式进行了说明，但当然收发以相同方式的通
信方式实施。
[0051]
在此，对能够在现有的物品搬送设备100中执行“第一例外处理”的方式进行说明。例如，在现有的物品搬送设备100中，在装置侧通信部s2是串行信号输出型，装置侧通信部s2与转移控制装置h3由串行通信线连接的情况下，将装置侧通信部s2变更成并行信号输出型。而且，在如上所述地分配信号之后，关于区管理装置h2，按其原样由并行信号线连接。对于转移控制装置h3，追加并行-串行变换器，由与现有的物品搬送设备100相同的串行通信线将转移控制装置h3与并行-串行变换器连接。照此，能够通过简单的机器的变更或追加来将停止于车站st处的物品搬送车3添加至区管理装置h2的管理对象。
[0052]
如上所述，在装置侧通信部s2与转移控制装置h3的通信数据内，未使用的位被利用于区管理装置h2与物品搬送车3的通信，从而包括停止于车站st的物品搬送车3的多个物品搬送车3在管理区e中的通行能够由区管理装置h2管理。即，区管理装置h2基于设置于车站st的装置侧通信部s2与设置于物品搬送车3的搬送车侧通信部s0的通信来检测车站st中的物品搬送车3的停止和出发，并且对包括该物品搬送车3的多个物品搬送车3在管理区e中的通行进行管理。
[0053]
图12的时序图示出区管理装置h2与停止于车站st处的物品搬送车3的通信的一个示例。如图9所示，如果物品搬送车3（第一物品搬送车31）抵达车站st并停止，则在时刻t1“位置固定”信号成为“on”状态。即，“位置固定”信号从物品搬送车3（vhl）向区管理装置h2（zcu）发送。如果确认“位置固定”信号是“on”状态，则区管理装置h2在时刻t2使“vhl检测”信号成为“on”状态。由此，“vhl检测”信号从区管理装置h2发送至第一物品搬送车31。“vhl检测”信号是“on”状态，由此第一物品搬送车31能够确认本车是利用区管理装置h2的管理对象。另外，第一物品搬送车31在时刻t3至时刻t4期间在与承载台104之间进行物品w的转移。
[0054]
在此，如图9所示，如果第二物品搬送车32抵达第一进入检测点sp1，则“到达进入检测点”信号和“要求进入”信号从第二物品搬送车32发送至区管理装置h2。区管理装置h2检测到先进入至管理区e的第一物品搬送车31停止于车站st处。另外，在本示例中，第一路径k1是单向通行的，第二路径k2上的第二物品搬送车32不经过第一路径k1。因此，区管理装置h2将“许可通过”信号发送至第二物品搬送车32。由此，即使第一物品搬送车31存在于管理区e内，第二物品搬送车32也能够通过管理区e。例如，由于第一物品搬送车31能够在进行物品w的转移的时间（时刻t3至时刻t4）不待机地通过管理区e，因而能够使物品搬送设备100的搬送效率提高。
[0055]
如果完成物品w的转移，则第一物品搬送车31将“要求移动”信号发送至区管理装置h2。在接收到“要求移动”信号的时间点，在第二物品搬送车32存在于管理区e内的情况下，区管理装置h2并非立即发送“许可通过”信号，而是按其原样待机。即，区管理装置h2执行如下的第二例外处理：在由于第一例外处理而第二物品搬送车32进入至管理区e内之后，禁止第一物品搬送车31从车站st出发，直到第二物品搬送车32从管理区e退出为止。
[0056]
如果第二物品搬送车32从管理区e退出，则第二物品搬送车32从管理区e退出这一信息从第一退出检测点dp1（参照图6）发送至区管理装置h2。如果区管理装置h2确认第二物品搬送车32已从管理区e退出，则将“许可通过”信号发送至第一物品搬送车31（时刻t6）。
[0057]
接收到“许可通过”信号的第一物品搬送车31通过“vhl检测”信号是“on”状态，“许
可通过”信号是“on”状态，确认本车的移动被许可，并使“位置固定”信号和“要求移动”信号返回至“off”状态（时刻t7）。另外，第一物品搬送车31由于本车的移动被许可而开始移动。“位置固定”信号和“要求移动”信号成为“off”状态，由此区管理装置h2使“vhl检测”信号和“许可通过”信号返回至“off’状态（时刻t8）。
[0058]
可是，对于管理区e而言，有时候多个物品搬送车3同时要求进入。区管理装置h2原则上生成进入优先排序按抵达管理区e的次序、即按在进入检测点sp处接收到对区管理装置h2发送的“要求进入”信号的顺序变高的等待队列。然后，区管理装置h2按等待队列中的优先排序的顺序对物品搬送车3发送“许可通过”信号。基于这样的等待队列的管理被包括在“基本处理”中。
[0059]
例如，在图9所示的示例中，考虑如下的情况：在物品搬送车3的一号车（no.1）存在于管理区e内时，按三号车（no.3）、二号车（no.2）的顺序抵达进入检测点sp。此外，在此，一号车并非停止于车站st处，而是行驶（或完成在车站st处的转移而开始移动）。区管理装置h2将三号车作为第一优先排序并将二号车作为第二排序而生成等待队列。如果一号车从管理区e退出，则区管理装置h2将“许可通过”信号发送至第一优先排序的三号车。
[0060]
接着，考虑一号车停止于车站st处的情况（正进行转移或即使完成转移也不出发的情况）。三号车是经过第一路径k1的物品搬送车3，二号车是经过第二路径k2和第三路径k3且不经过第一路径k1的物品搬送车3。在一号车正停止于车站st处时，区管理装置h2许可二号车向管理区e进入并使二号车通过管理区e。这是“第一例外处理”。
[0061]
在一号车完成在车站st处的转移并开始移动的情况下，如上所述，区管理装置h2依照等待队列的优先排序，在一号车从管理区e退出之后，许可三号车向管理区e进入并使三号车通过管理区e。当然，在二号车比三号车更先抵达进入检测点sp的情况下，关于等待队列的优先排序，二号车一方比三号车更高，因而在一号车从管理区e退出之后，区管理装置h2许可二号车向管理区e进入并使二号车通过管理区e（基本处理）。
[0062]
接着，考虑如下的情况：三号车也是停止于车站st处的物品搬送车3（第一待机搬送车），在一号车（第一物品搬送车31）存在于管理区e内时，二号车（第二待机搬送车）、三号车（第一待机搬送车）抵达进入检测点sp。三号车是经过第一路径k1的物品搬送车3，二号车是经过第二路径k2和第三路径k3且不经过第一路径k1的物品搬送车3。在此，在二号车和三号车要求向管理区e进入时，在一号车停止于车站st处的情况下，无论二号车、三号车抵达于进入检测点sp的顺序如何，区管理装置h2都许可二号车（第二待机搬送车）向管理区e进入并使二号车通过管理区e（第一例外处理）。即，二号车对应于第一例外处理中的第二物品搬送车32。此外，在按三号车、二号车的顺序抵达进入检测点sp的情况下，优选在执行第一例外处理时，变更等待队列的优先排序。
[0063]
另一方面，在二号车和三号车要求向管理区e进入时，在一号车完成在车站st处的转移并开始移动的情况下，无论二号车、三号车抵达于进入检测点sp的顺序如何，在一号车从管理区e退出之后，区管理装置h2都许可三号车（第一待机搬送车）向管理区e进入。在按二号车、三号车的顺序抵达进入检测点sp的情况下，关于等待队列中的优先排序，与三号车相比，二号车一方较高。因此，优选区管理装置h2变更等待队伍的优先排序并执行基本处理。进入至管理区e的三号车停止于车站st处。三号车正停止于车站st处时，区管理装置h2许可二号车（第二待机搬送车）向管理区e进入并使二号车通过管理区e（第一例外处理）。换
而言之，为了执行该第一例外处理，即使伴有等待队列中的优先排序的变更，区管理装置h2也从三号车起使三号车先进入至管理区e。
[0064]
如果在一号车从管理区e退出之后，使二号车先进入至管理区e，则三号车不能进入至管理区e，直到二号车退出管理区e为止。即，二号车和三号车向管理区e的进入由于基本处理而被排他地管理。然而，如果在一号车从管理区e退出之后，使三号车先进入至管理区e，则三号车停止于车站st处，因而在该停止之后，即使由于第一例外处理而三号车存在于管理区e，二号车也能够进入至管理区e。即，二号车和三号车能够同时存在于管理区e内，因而能够使物品搬送设备100的搬送效率提高。
[0065]
即，在停止于车站st处的第一物品搬送车31存在于管理区e内，且行驶于第一路径k1并停止于车站st处的第一待机搬送车（三号车（no.3））和经由连接部j通过第二路径k2和第三路径k3的第二待机搬送车（二号车（no.2））作为使向管理区e的进入待机的物品搬送车3而要求向管理区e进入的情况下，区管理装置h2如以下那样对管理区e中的通行进行管理。在第一物品搬送车31能够从车站st出发以前要求向管理区e进入的情况下，区管理装置h2使第二待机搬送车（二号车（no.2））比第一待机搬送车（三号车（no.3））更先进入至管理区e。另外，在第一物品搬送车31能够从车站st出发之后要求向管理区e进入的情况下，区管理装置h2使第一待机搬送车（三号车（no.3））比第二待机搬送车（二号车（no.2））更先进入至管理区e。
[0066]
可是，如上所述，车站st设定于在与利用由物品搬送车3搬送的对象的物品w的处理装置eq（承载台104）之间交接物品w的位置。在上述中，例示在一个处理装置eq设置有一个车站st的方式而说明，但如图13中所例示那样，也可以在一个处理装置eq设定有多个车站st。另外，在此情况下，也可以一部分车站st设置于管理区e中，另一部分的车站st设置于管理区e外。在照此设置的情况下，如图13所示，多个车站st内的一部分是位于管理区e内的区内车站（第一车站st1、第二车站st2），多个车站st的内的另一部分是位于管理区e外的区外车站（第三车站st3、第四车站st4）。关于这些多个车站st，优选以与区外站相比区内站的利用频率变低的方式被运用。
[0067]
如果物品搬送车3存在于管理区e，则由于基本处理而其它物品搬送车3在管理区e中的通行被限制，因而存在物品搬送设备100的搬送效率下降的可能性。而且，物品搬送车3为了转移物品w而停止于车站st处，因而物品搬送车3在管理区e中的停留时间变长，搬送效率容易下降。在本实施方式中，通过第一例外处理来抑制那样的搬送效率的下降，但能够通过上述的运用来进一步抑制搬送效率的下降。
[0068]
此外，在上述中，如图9所示，例示如下的方式而说明：将从副路径1s向主路径1m汇合的分支汇合部b（b1）作为连接部j，将连接至该连接部j的副路径1s（连接路径）作为第一路径k1，将在行驶路径上游侧连接至连接部j的主路径1m作为第二路径k2，将在行驶路径下游侧连接至连接部j的主路径1m作为第三路径k3。即，如在图14中以实线示出那样，例示设定有第一路径k1、第二路径k2、第三路径k3、连接部j的方式而说明。在此，如图13所示，在存在多个车站st的情况下，第一车站st1、第二车站st2成为配置于第一路径k1且第一物品搬送车31所停止的车站st。
[0069]
然而，还能够在副路径1s与主路径1m的连接部位，如在图15中以实线示出那样设定有第一路径k1、第二路径k2、第三路径k3、连接部j。即，还能够将从主路径1m向副路径1s
的连接路径与环状副路径1s汇合的分支汇合部b（b2）作为连接部j，将相对于该连接部j从行驶方向上游侧连接的环状副路径1s作为第一路径k1，将从主路径1m分支并连接至连接部j的副路径1s（连接路径）作为第二路径k2，将相对于连接部j连接至行驶方向下游侧的环状副路径1s作为第三路径k3。在该情况下，第二车站st2成为配置于第一路径k1且第一物品搬送车31所停止的车站st。
[0070]
此外，行驶路径1能够采用各种方式，但第一路径k1、第二路径k2、第三路径k3、连接部j、管理区e、车站st至少具有如图16的概念图所示的构成即可。即，作为搬送物品w的物品搬送车3的行驶路径1，具备端部连接至连接部j的第一路径k1、端部连接至连接部j的第二路径k2以及端部连接至连接部j的第三路径k3。而且，包括第一路径k1的至少一部分、第二路径k2的至少一部分、第三路径k3的至少一部分以及连接部j的区域设定为对物品搬送车3的通行进行管理的管理区e。另外，在管理区e内，设置有物品搬送车3所停止的车站st。该车站st设置于如下的位置：在管理区e内的第一路径k1中，停止于该车站st的物品搬送车3不干涉在第二路径k2和第三路径k3行驶的其它物品搬送车3。
[0071]
此外，在上述中，参照图6、图9、图14、图15、图16等来以连接部j是汇合部的情况为示例而说明。然而，如图17、图18所示，连接部也可以是分支部。图17对应于图6，示出在内部配置有车站st的管理区e的其它示例。另外，图18的概念图对应于图16，示出第一路径k1、第二路径k2、第三路径k3、连接部j、管理区e以及车站st的关系的其它示例。关于由图17和图18所示的方式中的区管理装置h2进行的控制，能够参照上述的图1-图16来从上述的说明容易地类推，因而省略详细说明。
[0072]
〔其它实施方式〕以下，对其它实施方式进行说明。此外，以下说明的各实施方式的构成不限于分别单独地适用，只要不产生矛盾，也还能够与其它实施方式的构成组合而适用。
[0073]
（1）在上述中，例示在第一物品搬送车31正停止于车站的情况下执行第一例外处理的方式而说明。然而，如上所述，在物品搬送车3例如在进入检测点sp处在向管理区e进入之后停止于管理区e内的车站st处的情况下，表示预定停止的信息有时候也能够发送至区管理装置h2。在这样的情况下，能够比预定停止于车站st处的第一物品搬送车31停止于车站st处之前，（例如，进入至管理区e的时间点），向区管理装置h2通知停止于车站st处。因此，也可以在第一物品搬送车31是预定停止于车站的物品搬送车3的情况下执行第一例外处理。即，“停止于车站的物品搬送车3”包括“正停止于车站的物品搬送车3”和“预定停止于车站的物品搬送车3”双方的概念。
[0074]
（2）在上述中，以行驶路径1是单向通行的构成为示例而说明，但不限于此，行驶路径1的一部分或全部也可以成为能够双向地通行的路径。在该情况下，也作为第一例外处理的条件而包括“第二物品搬送车32经过第二路径k2和第三路径k3，不经过设定有车站st的第一路径k1”，因而即使执行第一例外处理，也避免停止于车站st处的第一物品搬送车31与第二物品搬送车32干涉。
[0075]
（3）在上述中，例示了路径侧通信部s1和区管理装置h2、装置侧通信部s2和转移控制装置h3、装置侧通信部s2和区管理装置h2各自通过缆线等来进行有线连接的方式，但这些也可以是使用各种无线通信的无线连接。
[0076]
（4）在上述中，例示了如下的方式：在装置侧通信部s2与搬送车侧通信部s0的通信
中，能够收发与路径侧通信部s1和搬送车侧通信部s0的通信相同含义的信号，从而停止于车站st的物品搬送车3与区管理装置h2进行通信。然而，不限于该方式，在装置侧通信部s2与搬送车侧通信部s0的通信中，也可以是收发与路径侧通信部s1和搬送车侧通信部s0的通信不同的信号的方式。
[0077]
（5）在上述中，例示了如下的方式：装置侧通信部s2与搬送车侧通信部s0进行通信，装置侧通信部s2与区管理装置h2进行通信，从而停止于车站st的物品搬送车3与区管理装置h2进行通信。然而，物品搬送车3和区管理装置h2也可以不经由设置于车站st的装置侧通信部s2，而是通过例如无线通信等来直接进行通信。即，区管理装置h2可以不经由设置于车站st的装置侧通信部s2，而是与设置于物品搬送车3的搬送车侧通信部s0进行通信，检测车站st中的物品搬送车3的停止和出发，并且对包括该物品搬送车3的多个物品搬送车3在管理区e中的通行进行管理。例如，还能够比预定停止于车站st处的物品搬送车3停止于车站st处之前（例如，进入至管理区e的时间点），向区管理装置h2通知停止于车站st处。
[0078]
（6）在上述中，例示如下的方式而说明：车站st具备用于转移物品w的承载台104，为了在承载台104与物品搬送车3之间转移物品w，物品搬送车3停止于车站st处。然而，物品搬送车3所停止的车站st不限于用于转移物品w的车站，物品搬送车3也可以由于与物品w的转移不同的缘由而停止于车站st处。例如，车站st也可以是具备用于清洗物品搬送车3的洗车机或用于更换行驶轮15或引导轮16等的维护机器人、物品搬送车3的检查装置的地点。另外，可以是进行配备于物品搬送车3的电池等蓄电装置的更换或充电的地点或进行物品搬送车3的控制程序等的更新的地点。另外，物品搬送车3也不限于搬送物品w的车辆，可以是维护车辆或扫除车辆。
[0079]
（7）在上述中，作为物品搬送车3，例示了悬挂支撑于顶棚侧的顶棚搬送车。然而，只要是在行驶路径1设定有管理区的物品搬送设备，物品搬送车3也可以是在地面侧行驶的搬送车。
[0080]
（8）在上述中，作为搬送对象的物品w，例示了foup或掩模版，但物品w不限于这些，也可以是其它物品。
[0081]
〔实施方式的概要〕以下，对在上述中说明的物品搬送设备的概要简单地进行说明。
[0082]
作为一个方式，物品搬送设备是如下的物品搬送设备：作为搬送物品的物品搬送车的行驶路径，具备端部连接至连接部的第一路径、端部连接至前述连接部的第二路径以及端部连接至前述连接部的第三路径，且包括前述第一路径的至少一部分、前述第二路径的至少一部分、前述第三路径的至少一部分以及前述连接部的区域被设定为对前述物品搬送车的通行进行管理的管理区，物品搬送设备具备进行管理前述物品搬送车在前述管理区中的通行的控制的控制装置，在前述管理区内，设置有前述物品搬送车所停止的车站，前述车站在前述管理区内的前述第一路径中设置于停止于该车站的前述物品搬送车不干涉在前述第二路径和前述第三路径行驶的其它前述物品搬送车的位置，前述控制装置能够执行：基本处理，其在前述管理区内不存在前述物品搬送车的情况下，许可作为先进入至前述管理区内的前述物品搬送车的第一物品搬送车向前述管理区内进入，并且在前述第一物品搬送车存在于前述管理区内的情况下，禁止作为其它前述物品搬送车的第二物品搬送车向前述管理区进入；和第一例外处理，其即使在前述第一物品搬送车存在于前述管理区内的
情况下，前述第一物品搬送车也是停止于前述车站的前述物品搬送车，前述第二物品搬送车经过前述第二路径和前述第三路径且不经过前述第一路径的情况下，许可前述第二物品搬送车向前述管理区进入。
[0083]
依据该构成，通过基本处理来执行排他控制，使得仅一台物品搬送车能够进入至管理区内，因而能够适当地防止管理区内的多个物品搬送车的干涉。而且，通过第一例外处理，即使第一物品搬送车存在于管理区内，也容许第二物品搬送车进入至管理区。在仅进行基本处理的情况下，有必要等待第二物品搬送车进入至管理区，直到停止于管理区内的第一物品搬送车退出管理区为止，妨碍物品搬送设备的搬送效率提高。然而，依据本构成，即使第一物品搬送车停止于管理区内，第二物品搬送车也不会在管理区内干涉第一物品搬送车的情况下，该第二物品搬送车能够通过管理区，因而能够使物品搬送设备的搬送效率提高。即，依据本构成，在物品搬送车有时候停止于管理区中的物品搬送设备中，能够使利用物品搬送车的搬送效率进一步提高。
[0084]
在此，优选前述控制装置执行第二例外处理，所述第二例外处理在由于前述第一例外处理而前述第二物品搬送车进入至前述管理区内之后，禁止前述第一物品搬送车从前述车站出发，直到前述第二物品搬送车从前述管理区退出为止。
[0085]
在第一物品搬送车停止于车站处的状态下，第一物品搬送车和第二物品搬送车不可能发生干涉，因而第二物品搬送车由于第一例外处理而在管理区内行驶。在此，如果在第二物品搬送车行驶于管理区内期间，第一物品搬送车从车站出发，则多个物品搬送车变得同时在管理区内行驶，第一物品搬送车和第二物品搬送车有可能发生干涉。通过执行第二例外处理来禁止多个物品搬送车同时在管理区内行驶，因而能够防止第一物品搬送车和第二物品搬送车发生干涉。
[0086]
另外，优选前述控制装置基于沿着前述行驶路径配置的路径侧通信部与设置于前述物品搬送车的搬送车侧通信部的通信来检测向前述管理区进入的前述物品搬送车，并且对包括该物品搬送车的多个前述物品搬送车在前述管理区中的通行进行管理，基于设置于前述车站的装置侧通信部与设置于前述物品搬送车的前述搬送车侧通信部的通信来检测前述物品搬送车在前述车站处的停止和出发，并且对包括该物品搬送车的多个前述物品搬送车在前述管理区中的通行进行管理。
[0087]
在车站处，为了控制停止于车站处的物品搬送车所进行的动作，搬送车侧通信部有时候与装置侧通信部进行通信。控制装置基于路径侧通信部与搬送车侧通信部的通信来检测向管理区进入的物品搬送车。在第一例外处理中，需要物品搬送车正停止于车站等信息，但在车站处，为了控制停止于该车站处的物品搬送车所进行的动作，有必要配置装置侧通信部，有时候难以配置路径侧通信部。依据本构成，控制装置基于装置侧通信部与搬送车侧通信部的通信来检测物品搬送车在车站处的停止等。因此，控制装置能够使用该检测结果来适当地执行第一例外处理。
[0088]
另外，优选前述控制装置基于沿着前述行驶路径配置的路径侧通信部与设置于前述物品搬送车的搬送车侧通信部的通信来检测向前述管理区进入的前述物品搬送车，并且对包括该物品搬送车的多个前述物品搬送车在前述管理区中的通行进行管理，不经由设置于前述车站的装置侧通信部地与设置于前述物品搬送车的前述搬送车侧通信部进行通信，检测前述物品搬送车在前述车站处的停止和出发，并且对包括该物品搬送车的多个前述物
品搬送车在前述管理区中的通行进行管理。
[0089]
在第一例外处理中，需要物品搬送车正停止于车站或物品搬送车要停止于车站处等信息。但是，在车站处，为了控制停止于该车站处的物品搬送车所进行的动作，有必要配置装置侧通信部，有时候难以配置路径侧通信部。依据本构成，控制装置不经由设置于车站的装置侧通信部地与设置于物品搬送车的搬送车侧通信部进行通信，检测物品搬送车在车站处的停止等。因此，控制装置能够使用该检测结果来适当地执行第一例外处理。
[0090]
另外，优选前述车站设定于在与处理装置之间交接前述物品的位置，所述处理装置对由前述物品搬送车搬送的对象的前述物品进行利用，多个前述车站设定于一个前述处理装置，多个前述车站内的一部分是位于前述管理区内的区内车站，多个前述车站内的另一部分是位于前述管理区外的区外车站的情况下，以与前述区外车站相比前述区内车站的利用频率变低的方式被运用。
[0091]
除了基本处理之外，能够执行第一例外处理，由此即使物品搬送车停止于设定于管理区内的车站处，也能够抑制物品搬送设备的搬送效率的下降。然而，在相对于一个处理装置设定有区内车站和区外车站的情况下，优先地利用区外车站，从而能够使进行管理区中的排他控制的频率下降并抑制搬送效率的下降。
[0092]
另外，优选在前述管理区内存在停止于前述车站处的前述第一物品搬送车，行驶于前述第一路径并停止于前述车站处的第一待机搬送车和经由前述连接部通过前述第二路径和前述第三路径的第二待机搬送车作为使向前述管理区的进入待机的前述物品搬送车要求向前述管理区进入的情况下，前述控制装置在前述第一物品搬送车能够从前述车站出发以前要求向前述管理区进入的情况下，使前述第二待机搬送车比前述第一待机搬送车更先进入至前述管理区，在前述第一物品搬送车能够从前述车站出发之后要求向前述管理区进入的情况下，使前述第一待机搬送车比前述第二待机搬送车更先进入至前述管理区。
[0093]
如果在第一物品搬送车从管理区退出之后，使第二待机搬送车先进入至管理区，则第一待机搬送车不能进入至管理区，直到第二待机搬送车退出管理区为止。即，第一待机搬送车和第二待机搬送车向管理区的进入由于基本处理而排他地管理。然而，若在第一物品搬送车从管理区退出之后，使第一待机搬送车先进入至管理区，则第一待机搬送车停止于车站的情况下，即使由于第一例外处理而第一待机搬送车存在于管理区，第二待机搬送车也能够进入至管理区。即，第一待机搬送车和第二待机搬送车能够同时存在于管理区内，因而能够使物品搬送设备的搬送效率提高。
[0094]
符号说明1：行驶路径3：物品搬送车31：第一物品搬送车32：第二物品搬送车100：物品搬送设备e：管理区eq：处理装置j：连接部h2：区管理装置（控制装置）
k1：第一路径k2：第二路径k3：第三路径s0：搬送车侧通信部s1：路径侧通信部s2：装置侧通信部st：车站w：物品。