基于硅片清洗输送用的花篮干燥装置的制作方法

1.本实用新型涉及硅片生产加工技术领域，具体为一种基于硅片清洗输送用的花篮干燥装置。


背景技术：

2.硅片的生产加工中，具有集中一起而进行加工的工序，如硅片的清洗及烘干工序，花篮便是在此类工序中用以集中承载硅片的载体。
3.专利文件cn209279604u提出的一种硅片花篮的自动烘干装置，包括箱体、承载架、烘干器、控制箱、排风口，所述箱体上设有取放花篮的门板，所述承载架安装在所述箱体内，花篮置于所述承载架上，所述烘干器安装在所述箱体内并位于花篮周围，所述控制箱控制所述烘干器工作，所述排风口设置在所述箱体上。本实用新型结合硅片花篮的结构，设计了适用于硅片花篮干燥的自动烘干装置，显著减少了干燥所需的时间；热风烘干干燥效果良好，对于花篮的齿尖、齿根等部位，利用热风的流动性可无死角干燥，能够大幅降低因花篮脏污而造成的电池片el不良降级数量；一次可对多个花篮进行批量干燥，生产作业效率显著提高。
4.由于硅片的烘干过程通常集中作用于硅片上，使得花篮端部的部分表面可能残留水分，这部分水分如果不加以干燥处理，则很可能在后续影响到某一硅片的加工，因此亟需一种基于硅片清洗输送用的花篮干燥装置解决上述问题。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供基于硅片清洗输送用的花篮干燥装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种基于硅片清洗输送用的花篮干燥装置，包括轨道台，所述轨道台上侧设置有吊运架，所述吊运架内设置有两个带轮循环机构，所述带轮循环机构上设置有多个用于干燥硅片花篮端部上表面的吸水布，所述吊运架上端设有用于去除吸水布中水分的热干燥机构。
7.优选的，所述带轮循环机构包括两个上下设置的滚轮，两个所述滚轮上张紧套设有同一个滚动带，所述吸水布固定于滚动带外侧。
8.优选的，两个所述带轮循环机构中位于同一高度的滚轮同轴固定连接有同一个转轴，所述转轴两端部分别与吊运架的两相对侧贯穿铰接。
9.优选的，所述吊运架一外侧壁固定安装有电机，所述电机输出端与其中一个转轴同轴固定连接。
10.优选的，所述热干燥机构包括吊运架上端内部设有的弹簧槽，所述弹簧槽内顶面固定设置有多个弹簧，多个所述弹簧下端固定设置有同一个向下滑动贯穿吊运架内顶面设置的伸缩块，所述伸缩块下端固定设置有用于挤出吸水布中水分的金属压块。
11.优选的，所述金属压块内设置有电热板，所述吊运架上端固定安装有用于控制电
热板发热的控制电源，所述控制电源通过导线与电热板电性连接。
12.优选的，所述轨道台上侧滑动设置有用于承载硅片花篮进行移动的滑板。
13.优选的，所述滑板上对称设置有两个用于定位硅片花篮端部与吸水布上下对应的卡板，两个所述卡板均与滑板滑动连接。
14.优选的，所述卡板外侧设置有连接件，所述连接件上固定设置有滑移销，所述轨道台上对应滑板的两相对侧设置有折板，所述折板上设有与滑移销相匹配滑移槽，所述滑移槽一端弯折设置。
15.优选的，所述吊运架内顶面设置有用于将硅片花篮运送到滑板上的吊钩组件。
16.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
17.该基于硅片清洗输送用的花篮干燥装置通过设置带轮循环机构，可带动多个吸水布循环滚动，进而实现对硅片花篮端部的上表面连续干燥的作用，接着，吸水后变湿的吸水布在带轮循环机构的带动下，而经过热干燥机构时，又可同时受到挤压及加热作用，而将其吸收的水分排出并蒸发掉，从而保证了吸水布时刻以干燥状态来对花篮进行干燥，干燥效果更好。
附图说明
18.图1为本实用新型的正视剖面结构示意图；
19.图2为本实用新型的侧视剖面结构示意图；
20.图3为本实用新型的俯视剖面结构示意图；
21.图4为本实用新型的图1中a处的放大结构示意图。
22.图中：1、轨道台；2、吊运架；3、吸水布；4、滚轮；5、滚动带；6、转轴；7、电机；8、弹簧槽；9、弹簧；10、伸缩块；11、金属压块；12、电热板；13、控制电源；14、导线；15、滑板；16、卡板；17、连接件；18、滑移销；19、折板；20、滑移槽。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
24.请参阅图1-4，本实用新型实施例提供的一种基于硅片清洗输送用的花篮干燥装置，包括轨道台1，轨道台1上侧设置有吊运架2，吊运架2内设置有两个带轮循环机构，带轮循环机构上设置有多个用于干燥硅片花篮端部上表面的吸水布3，吊运架2上端设有用于去除吸水布3中水分的热干燥机构。
25.具体的，轨道台1主要用于将烘干后的硅片从烘干仓内向外运输，吊运架2主要在硅片清洗过程中，向用于吊运硅片及花篮的机构给予支撑及导向，两个带轮循环机构分布在吊运架2内及轨道台1上侧，且对称设置，吸水布3在重力的作用下自由下垂，且每个吸水布3在带轮循环机构的带动下，而移动到带轮循环机构的最低位置时，其最下端高度低于轨道台1上运输的花篮端部上表面的高度，热干燥机构设置于吊运架2上端且对应带轮循环机构上侧的位置，当带轮循环机构带动某一吸水布3经过热干燥机构时，吸水布3会同时受到
热干燥机构给予的挤压及加热作用。使用时，轨道台1上侧运输的花篮会向靠近带轮循环机构的下侧方向进行移动，同时，带轮循环机构带动多个吸水布3滚动，当花篮开始移动经过带轮循环机构的下侧时，由于吸水布3移动至带轮循环机构最低处并自由下垂时的最下端高度低于花篮端部的上表面高度，使得吸水布3就可以与花篮端部的上表面接触，从而将花篮端部上表面上残留的水分吸收，接着，在多个吸水布3的循环滚动下，保证花篮端部上表面残留的水分被吸收得干干净净，然后，吸收了水分的吸水布3在带轮循环机构的带动下继续向上移动而靠近热干燥机构，吸水布3在经过热干燥机构时，就会受到热干燥机构的挤压及加热作用，从而将其吸收的水分排出并蒸发掉，于是，吸水布3可恢复干燥，从而更有效的进行下一次花篮干燥工作。
26.与现有技术相比，本实用新型提出的一种基于硅片清洗输送用的花篮干燥装置通过设置带轮循环机构，可带动多个吸水布3循环滚动，进而实现对硅片花篮端部的上表面连续干燥的作用，接着，吸水后变湿的吸水布3在带轮循环机构的带动下，而经过热干燥机构时，又可同时受到挤压及加热作用，而将其吸收的水分排出并蒸发掉，从而保证了吸水布3时刻以干燥状态来对花篮进行干燥，干燥效果更好。
27.作为本实施例优选的技术方案，带轮循环机构包括两个上下设置的滚轮4，两个滚轮4上张紧套设有同一个滚动带5，吸水布3固定于滚动带5外侧，具体的，两个滚轮4中，上侧滚轮4设置的高度位置保证了滚动带5带动吸水布3向上移动至可与热干燥机构发生作用的高度，下侧滚轮4设置的高度位置保证滚动带5可带动自由下垂的吸水布3移动至可与花篮端部上表面接触而进行擦拭的高度。
28.作为本实施例进一步优选的技术方案，两个带轮循环机构中位于同一高度的滚轮4同轴固定连接有同一个转轴6，转轴6两端部分别与吊运架2的两相对侧贯穿铰接，具体的，转轴6的设置，使得两个带轮循环机构中处于同一高度的滚轮4可同时受到支撑并同步在吊运架2内发生转动。
29.作为本实施例再进一步优选的技术方案，吊运架2一外侧壁固定安装有电机7，电机7输出端与其中一个转轴6同轴固定连接，具体的，电机7启动时，其输出端可带动与之连接的转轴6转动，转轴6则带动滚轮4转动，滚轮4便可带动滚动带5滚动，滚动带5便可带动多个吸水布3循环上下滚动。
30.本发明提出的另一个实施例中，热干燥机构包括吊运架2上端内部设有的弹簧槽8，弹簧槽8内顶面固定设置有多个弹簧9，多个弹簧9下端固定设置有同一个向下滑动贯穿吊运架2内顶面设置的伸缩块10，伸缩块10下端固定设置有用于挤出吸水布3中水分的金属压块11，具体的，弹簧槽8设置于吊运架2上端内部且对应滚动带5上侧的位置，伸缩块10上端向外凸出设置，且伸缩块10上端凸出部分的外壁间距与弹簧槽8内壁间距相匹配，吊运架2内顶面被伸缩块10贯穿的部分设置为通槽，通槽的内壁间距小于伸缩块10上端凸出部分的外壁间距，而与伸缩块10下端的外壁间距相匹配，金属压块11下端设置为圆弧凹面，且该圆弧凹面与滚动带5经过上侧滚轮4时所形成的圆弧相匹配，从而增大了吸水布3在经过滚动带5上侧与金属压块11之间时，可受到挤压的范围，确保水分充分挤出，弹簧9保持推动伸缩块10向下移动，使得金属压块11向下靠近在滚动带5上侧，且金属压块11下端的圆弧凹面与滚动带5上侧之间的间距小于吸水布3蓬松时的厚度，使用时，滚动带5带动含有水分的吸水布3向上移动而开始经过滚动带5上侧与金属压块11下侧的间隙，此时，在弹簧9保持向下
推动的作用下，吸水布3被压缩着移动，从而实现将吸水布3中所含的水分向外挤出。
31.作为本实施例优选的技术方案，金属压块11内设置有电热板12，吊运架2上端固定安装有用于控制电热板12发热的控制电源13，控制电源13通过导线14与电热板12电性连接，具体的，控制电源13可通过导线14控制电热板12发热，由于金属压块11为导热金属制成，电热板12的热量就可传导到整个金属压块11上，此时，按上述过程而经过金属压块11下侧的吸水布3就会在受到挤压作用的同时，受到金属压块11的高温加热，从而使得吸水布3中被挤出的水分升温蒸发，进而使吸水布3恢复干燥。
32.本发明提出的再一个实施例中，轨道台1上侧滑动设置有用于承载硅片花篮进行移动的滑板15，具体的，滑板15与轨道台1内部的驱动机构连接，可承载硅片花篮由硅片烘干仓向外移动。
33.作为本实施例优选的技术方案，滑板15上对称设置有两个用于定位硅片花篮端部与吸水布3上下对应的卡板16，两个卡板16均与滑板15滑动连接，具体的，卡板16设置为“匚”字形，两个卡板16在滑板15上可移动范围内的最小间距与花篮两端部的间距相等，花篮在吊运放置到滑板15上时，需位于两个卡板16之间。
34.作为本实施例进一步优选的技术方案，卡板16外侧设置有连接件17，连接件17上固定设置有滑移销18，轨道台1上对应滑板15的两相对侧设置有折板19，折板19上设有与滑移销18相匹配滑移槽20，滑移槽20一端弯折设置，具体的，折板19设置为“l”字形，连接件17一端与卡板16外侧连接，而另一端固定设置滑移销18，滑移槽20靠近吊运架2的一端向远离卡板16的方向弯折设置，滑移销18在滑移槽20内的移动，可促使两个卡板16在滑板15上移动调节间距。使用时，花篮先被放置到滑板15上且位于两个卡板16之间的位置，但由于吊运可能存在晃动，花篮便会出现一端部与卡板16贴近，而另一端部距离卡板16较远的情况，即发生花篮端部不与吸水布3上下对应的问题，应对于此，本案中的滑板15在受轨道台1内的驱动机构带动时，卡板16也受滑板15带动而发生移动，卡板16通过连接件17带动滑移销18在滑移槽20内移动，此时，由于滑移槽20的弯折设置，便按上述原理促使卡板16向靠近滑板15的中心方向移动，且两侧卡板16同步向内移动相同的距离，最后，两个卡板16移动至最小间距时，则可将花篮自动定位在滑板15中心处，从而保证其端部在后续移动过程中保持与吸水布3上下对应，即保证了花篮干燥工作的稳定进行。
35.本发明提出的再一个实施例中，吊运架2内顶面设置有用于将硅片花篮运送到滑板15上的吊钩组件，具体的，吊钩组件即实现对花篮的升降转运功能，为现有技术，因而在此不加赘述。
36.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。