一种小口径真空调节蝶阀的制作方法

1.本实用新型涉及调节阀技术领域，尤其涉及一种小口径真空调节蝶阀。


背景技术：

2.真空调节蝶阀主要应用于真空腔室的压力调节，通过改变阀板开度以改变管道流导，控制气流大小，从而起到调节作用。真空调节蝶阀当应用于碳化硅晶体生长的真空腔室压力调节时，高频率的阀板摆动会导致蝶阀的使用寿命极其短暂，因为在蝶阀调节中密封圈与阀体摩擦接触，在管道中碳化硅粉尘的研磨作用下，密封圈会很快失效。再者，起调节作用的管道为了实现有效的压力调节，往往通道口径比较小，口径越小越难以优化设计蝶阀的结构，即是不容易实现蝶阀在调节中让阀板脱离阀体以避免摩擦运动的结构。
3.因此需要研发出一种小口径真空调节蝶阀来解决上述问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的就在于为了解决上述问题设计了一种小口径真空调节蝶阀。
5.本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：
6.一种小口径真空调节蝶阀，包括：
7.阀体；阀体内设置有内部通道，内部通道为变径通道，内部通道的变径处形成为过渡曲面；
8.轴；轴的第一端置于阀体外；轴的旋转中心与阀体中心偏心一定距离设置；轴的旋转中心与阀板的密封面偏移一定距离设置；
9.阀板；轴的第二端伸入阀体内且与阀板的第一端面连接；
10.阀板密封圈；阀板密封圈套装在阀板的侧壁上；阀板密封圈用于与过渡曲面密封配合。
11.优选地，内部通道的变径处形成为圆锥面。
12.优选地，内部通道的变径处圆锥面的顶角为50
°
，阀板以完全封闭状态开始转动大于13
°
后，阀板密封圈完全脱离与阀体的接触。
13.具体地，蝶阀还包括执行器，执行器的动力输出端与轴的第一端连接。
14.进一步地，蝶阀还包括连接板、轴承，连接板安装在执行器与阀体之间，轴承内圈套装在轴上，轴承的外圈固定在连接板上。
15.具体地，在阀体上设置有连接孔洞，轴从连接孔洞内穿入阀体内，多个轴密封圈安装在连接孔洞与轴之间。
16.具体地，阀板的侧壁形成为圆锥面，在阀板的侧壁上开设有环形的安装槽，阀板密封圈安装在安装槽内。
17.本实用新型的有益效果在于：
18.通过轴的旋转中心与阀板的密封面偏移一定距离设置，使密封圈有最优的安装空间和结构，同时阀板边缘与阀体的变径处过渡面配合，能使密封圈获得较高的压缩量而实
现高真空密封；
19.通过轴的旋转中心与阀体中心偏心一定距离设置，使调控中阀板密封圈与阀体能完全脱离，只在关阀瞬间密封圈有摩擦，因而有效避免了粉尘对密封圈的加速磨损作用，从而大大延长了产品的使用寿命，特别适用于高粉尘量的真空压力调节环境中；
20.阀体采用大小口变径设计，阀板能轻松拆装维护，安装使用方便。
附图说明
21.图1是本技术的结构示意图，部分剖视；
22.图2是图1中a-a剖视图；
23.图3是本技术中阀板旋转13
°
的结构示意图；
24.图4是本技术中阀板的调节状态图；
25.图5是本技术中阀板的全开状态图；
26.其中相应的附图标记为：1-执行器；2-连接板；3-轴；4-阀体；5-阀板；6-阀板密封圈；7-轴密封圈；8-轴承；9-螺钉。
具体实施方式
27.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
28.因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
29.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
30.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
31.此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
32.在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，“设置”、“连接”等术语应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
33.下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。
34.如图1所示，一种小口径真空调节蝶阀，包括：
35.阀体4；阀体4内设置有内部通道，内部通道为变径通道，内部通道的变径处形成为圆锥面；
36.轴3；轴3的第一端置于阀体4外；轴3的旋转中心与阀体4中心偏心一定距离设置；轴3的旋转中心与阀板5的密封面偏移一定距离设置；
37.阀板5；轴3的第二端伸入阀体4内且与阀板5的第一端面连接；
38.阀板密封圈6；阀板密封圈6套装在阀板5的侧壁上；阀板密封圈6用于与过渡曲面密封配合；
39.执行器1；执行器1的动力输出端与轴3的第一端连接；
40.连接板2、轴承8；连接板2安装在执行器1与阀体4之间，轴承8内圈套装在轴3上，轴承8的外圈固定在连接板2上。
41.内部通道的变径处圆锥面的顶角为50
°
，阀板5以完全封闭状态开始转动大于13
°
后，阀板密封圈6完全脱离与阀体4的接触。
42.在阀体4上设置有连接孔洞，轴3从连接孔洞内穿入阀体4内，多个轴密封圈7安装在连接孔洞与轴3之间。
43.阀板5的侧壁形成为圆锥面，在阀板5的侧壁上开设有环形的燕尾安装槽，阀板密封圈6安装在燕尾安装槽内。
44.如图1所示，阀板5用于调节气流大小，阀板5通过螺钉9与轴3连接，轴3与阀板的连接处非阀板的中心线，当轴3转动时带动阀板摆动，从而起到调节阀门开度的作用。轴3与阀体4的密封通过轴密封圈7实现，数量为三个，以确保可靠性。执行器1用于控制轴3的转动。执行器1通过连接板2与阀体连接。在连接板1的内部装有2个转轴8，转轴8的作用是用于定位轴3的中心与阀体上的连接孔洞中心对齐，能保证轴3稳定可靠地运行。
45.如图2所示，为蝶阀的关阀状态图，阀体的圆锥面与阀板5的圆锥面相结合，且轴的旋转中心与阀板的密封面偏移距离y，能实现高真空密封。同时，轴的旋转中心与阀体中心偏心距离x，使调控中阀板密封圈6与阀体4能快速脱离，只在关阀瞬间密封圈有摩擦，从而减少磨损，延长寿命。
46.如图3所示，当发阀板5旋转至大于13
°
时，密封圈6便完全脱离于阀体4内的圆锥面，气流便可以通过阀体4的通道，实现调节功能。因而在常用的压力调控区间(15
°‑
70
°
)，密封圈与阀体完全无接触，大大地延长了密封圈的使用寿命，减少了维护。
47.如图4所示，是阀板5的调节状态图，可以清楚地看到阀板5调节运转中完全与阀体4分离，实现了阀板5及其密封圈6无摩擦摆动。
48.如图5所示，为阀板5的全开状态图，此时阀板旋转90
°
，气流量最大。
49.本实用新型的技术方案不限于上述具体实施例的限制，凡是根据本实用新型的技术方案做出的技术变形，均落入本实用新型的保护范围之内。