一种使石英舟上硅片入槽到位的校正机构及校正方法与流程

1.本发明涉及一种校正机构，特别涉及一种使石英舟内立式放置的硅片能可靠入槽到位的校正机构及校正方法。


背景技术：

2.太阳能电池片（硅片）生产工艺，大致可以分为：硅片检测、表面制绒及酸洗、扩散制结、去磷硅玻璃、等离子刻蚀及酸洗、镀减反射膜、丝网印刷和快速烧结等工艺；在上述的扩散制结段工艺中，是以石英舟作为硅片的载体进行的；石英舟是由石英棒通过焊接搭接后，组成的一个长方体型的框架结构，框架顶端两个间隔且平行设置的石英棒，作为硅片的架体，在这两个彼此平行的石英棒支架上，等间隔地设置有硅片放置齿槽，硅片呈正方形的片体形状，硅片以立式、间隔、成列的方式，放置在石英舟上的两个彼此平行的石英棒上的对应齿槽中，硅片是以菱形方式放置在齿槽中的，即，硅片的其中一个对角线与舟体底平面平行，硅片的另一个对角线与舟体底平面的垂直平面呈3度角度的微倾斜状态；一个齿槽的宽度约为两张硅片的厚度，两张硅片是贴合在一起，形成一组硅片组后，插接在同一齿槽中的，相邻的两组硅片间隙保持在2.38毫米左右，在一个石英舟中，以成列的方式，约放600组左右的硅片组，放置满硅片的石英舟，被传送到扩散炉中进行高温扩散烘烤；在高温扩散烘烤工艺中，要求石英舟里相邻两组硅片的间隙要保持一致，这样才能保证扩散制结段工艺的质量；由于，石英舟中的硅片组，是通过机械手从上道工艺的花篮中抓取，运载到石英舟正上方后，放置到舟体内的齿槽中的，在此过程中，经常会发生硅片组放入到齿槽中后，存在硅片放置不到位的情况；若硅片在石英舟中放置不到位，硅片组随石英舟进入到扩散炉中进行烘烤时，就会发生硅片表面黑团现象，造成硅片降级，为了解决该问题，现有技术是：在石英舟装片工位的两侧，设置石英舟内硅片校正机构，校正机构包括左右两个支架，在支架上设置沿左右水平方向伸出的校正气缸，在校正气缸的输出轴的轴端上，设置有一个垂直气缸安装块，在安装块上设置有垂直气缸，在垂直气缸的输出轴上端，连接有校正板，通过倾斜校正板，对以菱形方式放置在石英舟上的硅片的下侧面进行顶升及落下动作，来达到使一列硅片入槽到位的目的；这种校正机构存在以下问题：（1）校正气缸支架需要占据石英舟装片工位两侧的一定空间位置，对于并列有多条石英舟传输线的生产线来说，在每条传送线两侧，均需布置校正气缸支架，存在校正机构支架占用空间较大，特别对传输线布置紧凑的生产线，存在并列布置校正机构支架困难的问题；（2）该校正机构结构复杂，左右水平方向的校正需要配置两水平伸出的气缸，完成上下方向的升降，又需要配备两垂直气缸，水平气缸与垂直气缸是通过机械连接结构形式连接在一起的，存在配合误差大，现场调试耗时费力；在设备的使用过程中，由于校正板驱动机构容易发生松动、扭曲和偏位的现象，需要频繁进行校正调试，影响到了生产效率的提高。


技术实现要素：

3.本发明提供了一种使石英舟上硅片入槽到位的校正机构及校正方法，解决了如何
简捷高效地对放置在石英舟上的硅片进行位置调整，使其可靠入槽到位的技术问题。
4.本发明是通过以下技术方案解决以上技术问题的：本发明的总体构思为：利用现有的自动输送线上的龙门架，作为水平悬吊梁的支撑体，在石英舟的硅片装载工位的正上方，设置水平悬吊梁，在水平悬吊梁上设置垂直悬吊板，在垂直悬吊板上设置步进电机和从动轮，在步进电机的输出轴与从动轮之间设置同步带，在从动轮的轮轴上设置水平悬杆，在水平悬杆上连接硅片校正拨板，通过步进电机，控制拨板摆动，实现对硅片的顶升与放下，从而实现石英舟上立式放置的硅片的入槽到位。
5.一种使石英舟上硅片入槽到位的校正机构，包括彼此平行设置的左石英舟和右石英舟，在左石英舟的上端，设置有两根彼此平行的左石英杆，在左石英杆上设置有左硅片插接槽，在左石英舟的装片工位的左硅片插接槽中，装载有左列硅片组，左列硅片组，在左石英舟上，是以菱形方式放置的；在右石英舟的上端，设置有两根彼此平行的右石英杆，在右石英杆上设置有右硅片插接槽，在右石英舟的装片工位的右硅片插接槽中，装载有右列硅片组，右列硅片组，在右石英舟上，是以菱形方式放置的，在左列硅片组和右列硅片组的正上方，设置有水平吊梁，在水平吊梁上，分别设置有左悬吊板、中悬吊板和右悬吊板，在左悬吊板的上端，设置有左步进驱动电机，在左悬吊板的下端，设置有左从动轮，在左步进驱动电机的输出轴与左从动轮之间，设置有左同步带，在左从动轮的前侧面上，连接有随左从动轮一起旋转的左向前水平伸出悬臂杆，在左向前水平伸出悬臂杆上连接有左拨板，左拨板的外侧端活动顶接在左列硅片组的左下方侧面上；在中悬吊板的上端，设置有中步进驱动电机，在中悬吊板的下端设置有中从动轮，在中步进驱动电机的输出轴与中从动轮之间，设置有中同步带，在中从动轮的前侧面上，连接有随中从动轮一起旋转的中向前水平伸出悬臂杆，在中向前水平伸出悬臂杆上连接有中拨板，中拨板的外侧端活动顶接在左列硅片组的右下方侧面上。
6.在右悬吊板的上端，设置有右步进驱动电机，在右悬吊板的下端，设置有右从动轮，在右步进驱动电机的输出轴与右从动轮之间，设置有右同步带，在右从动轮的前侧面上，连接有随右从动轮一起旋转的右向前水平伸出悬臂杆，在右向前水平伸出悬臂杆上连接有右拨板，右拨板的外侧端活动顶接在右列硅片组的右下方侧面上。
7.一种使石英舟上硅片入槽到位的校正机构的校正方法，其特征在于以下步骤：同步控制左步进驱动电机和中步进驱动电机步进式旋转，使左拨板的外侧端，活动顶接在左列硅片组的左下方侧面上，使中拨板的外侧端，活动顶接在左列硅片组的右下方侧面上，将左列硅片组举升一定的高度；然后，同步控制左步进驱动电机和中步进驱动电机反向步进式旋转，使左列硅片组落下后，放置到对应的两左硅片插接槽中；反复上述动作若干次，使左列硅片组整齐排列在左石英舟的装片工位的两对应的左硅片插接槽中为止；同步控制中步进驱动电机和右步进驱动电机步进式旋转，使中拨板的外侧端，活动顶接在右列硅片组的左下方侧面上，使右拨板的外侧端，活动顶接在右列硅片组的右下方侧面上，将右列硅片组举升一定的高度；然后，同步控制中步进驱动电机和右步进驱动电机反向步进式旋转，使右列硅片组落下后，放置到对应的两右硅片插接槽中；反复上述动作若干次，使右列硅片组整齐排列在右石英舟的装片工位的两对应的右硅片插接槽中为止。
8.本发明基本不占据底面上的空间，结构简单，成本低廉，只需要通过两个步进电机，通过步进电机带动两旋转拨杆，即可完成一列硅片的位置校正，校正速度快，校正效率
高；两石英舟之间的步进电机可实现共用，进一步缩减设备的成本，并节省了设备安装空间。
附图说明
9.图1是本发明的结构示意图。
具体实施方式
10.下面结合附图对本发明进行详细说明：一种使石英舟上硅片入槽到位的校正机构，包括彼此平行设置的左石英舟1和右石英舟6，在左石英舟1的上端，设置有两根彼此平行的左石英杆2，在左石英杆2上设置有左硅片插接槽3，在左石英舟1的装片工位的左硅片插接槽3中，装载有左列硅片组4，左列硅片组4，在左石英舟1上，是以菱形方式放置的；在右石英舟6的上端，设置有两根彼此平行的右石英杆7，在右石英杆7上设置有右硅片插接槽8，在右石英舟6的装片工位的右硅片插接槽8中，装载有右列硅片组12，右列硅片组12，在右石英舟6上，是以菱形方式放置的，在左列硅片组4和右列硅片组12的正上方，设置有水平吊梁5，在水平吊梁5上，分别设置有左悬吊板9、中悬吊板10和右悬吊板11，在左悬吊板9的上端，设置有左步进驱动电机13，在左悬吊板9的下端，设置有左从动轮14，在左步进驱动电机13的输出轴与左从动轮14之间，设置有左同步带15，在左从动轮14的前侧面上，连接有随左从动轮一起旋转的左向前水平伸出悬臂杆16，在左向前水平伸出悬臂杆16上连接有左拨板17，左拨板17的外侧端活动顶接在左列硅片组4的左下方侧面上；在中悬吊板10的上端，设置有中步进驱动电机18，在中悬吊板10的下端设置有中从动轮19，在中步进驱动电机18的输出轴与中从动轮19之间，设置有中同步带20，在中从动轮19的前侧面上，连接有随中从动轮一起旋转的中向前水平伸出悬臂杆21，在中向前水平伸出悬臂杆21上连接有中拨板22，中拨板22的外侧端活动顶接在左列硅片组4的右下方侧面上。
11.在右悬吊板11的上端，设置有右步进驱动电机23，在右悬吊板11的下端，设置有右从动轮24，在右步进驱动电机23的输出轴与右从动轮24之间，设置有右同步带25，在右从动轮24的前侧面上，连接有随右从动轮一起旋转的右向前水平伸出悬臂杆26，在右向前水平伸出悬臂杆26上连接有右拨板27，右拨板27的外侧端活动顶接在右列硅片组12的右下方侧面上。
12.一种使石英舟上硅片入槽到位的校正机构的校正方法，其特征在于以下步骤：同步控制左步进驱动电机13和中步进驱动电机18步进式旋转，使左拨板17的外侧端，活动顶接在左列硅片组4的左下方侧面上，使中拨板22的外侧端，活动顶接在左列硅片组4的右下方侧面上，将左列硅片组4举升一定的高度；然后，同步控制左步进驱动电机13和中步进驱动电机18反向步进式旋转，使左列硅片组4落下后，放置到对应的两左硅片插接槽3中；反复上述动作若干次，使左列硅片组4整齐排列在左石英舟1的装片工位的两对应的左硅片插接槽3中为止；同步控制中步进驱动电机18和右步进驱动电机23步进式旋转，使中拨板22的外侧端，活动顶接在右列硅片组12的左下方侧面上，使右拨板27的外侧端，活动顶接在右列硅片组12的右下方侧面上，将右列硅片组12举升一定的高度；然后，同步控制中步进驱动电机18
和右步进驱动电机23反向步进式旋转，使右列硅片组12落下后，放置到对应的两右硅片插接槽8中；反复上述动作若干次，使右列硅片组12整齐排列在右石英舟6的装片工位的两对应的右硅片插接槽8中为止。