激光二极管的均匀冷却的制作方法

1.本公开涉及激光二极管的均匀冷却。


背景技术：

2.激光二极管在工作过程中会产生热量。在各种应用中，将激光二极管安装到散热器上是有用的，以去除由激光二极管产生的热量并保持激光二极管的高效运行。


技术实现要素：

3.一般来说，在一些方面，本公开的主题包括激光二极管散热器，其包括：多个平面箔片，其中，多个平面箔片中的每个平面箔片包括第一面和与第一面相反的第二面，多个平面箔片被沿着堆叠方向布置成堆叠件，多个平面箔片中的每个平面箔片的第二面被布置在堆叠件中的相应的前一平面箔片的第一面上。多个平面箔片中的每个平面箔片的第一面包括相应的细长沟槽，该细长沟槽基本上沿着垂直于堆叠方向的第二方向延伸，并且对于多个平面箔片中的每个平面箔片，相应沟槽的深度延伸穿过小于平面箔片的整个厚度。
4.在此公开的激光二极管散热器的实施方式可以包括以下特征中的一个或多个。例如，在一些实施方式中，堆叠件的第一侧提供激光二极管安装区域，其中，对于多个平面箔片中的每个平面箔片，沟槽的一部分在第二方向上基本上沿着激光二极管安装区域延伸。
5.在一些实施方式中，堆叠件包括共用流体入口端口，多个平面箔片中的每个平面箔片的相应的沟槽被流体联接到该共用流体入口端口，其中，共用流体输入端口沿着堆叠方向延伸穿过该堆叠件。该堆叠件可以包括共用流体输出端口，多个平面箔片中的每个平面箔片的相应的沟槽被流体联接到该共用流体输出端口。共用流体输出端口可以沿着堆叠方向延伸穿过该堆叠件。
6.在一些实施方式中，该堆叠件包括：至少两个共用流体入口，多个平面箔片中的每个平面箔片的相应沟槽被流体地联接到这至少两个共用流体入口；以及共用流体输出端口，多个平面箔片中的每个平面箔片的相应沟槽被流体地联接到该共用流体输出端口，其中，至少两个共用流体输入端口和共用流体输出端口中的每一个沿着堆叠方向延伸穿过该堆叠件。
7.在一些实施方式中，激光二极管散热器包括位于堆叠件的第一侧上的介电层。介电层可以包括氮化铝层。激光二极管散热器可以包括位于介电层上的至少一个激光二极管安装垫片。至少一个激光二极管安装垫片可以包括金属层。激光二极管散热器可以包括多个激光二极管安装垫片，其中，多个激光二极管安装垫片中的每个激光二极管安装垫片与相邻的激光二极管安装垫片间隔开相应的间隙。每个间隙可以在堆叠方向上沿着该堆叠件的第一侧是细长的。
8.在一些实施方式中，对于多个平面箔片中的每个平面箔片，沟槽的深度小于或等于约150微米。沟槽的宽度可以小于或等于约1毫米。
9.在一些实施方式中，对于多个平面箔片中的每个平面箔片，平面箔片的厚度小于
或等于约300微米。
10.在一些实施方式中，堆叠件中的多个平面箔片被彼此叠置地对齐，使得每个箔片的沟槽与堆叠件中的相邻的平面箔片的沟槽对齐并与之重叠。
11.在一些实施方式中，对于多个平面箔片中的每个平面箔片，该沟槽具有由在其中形成沟槽的平面箔片限定的底面和由堆叠件中的相邻平面箔片的面限定的顶面。
12.在一些实施方式中，多个平面箔片中的每个平面箔片是铜箔片。
13.在一些实施方式中，多个平面箔片被焊接在一起。
14.一般来说，在一些其他方面，本公开的主题可被具体体现在激光二极管器件中，该激光二极管器件包括：第一散热器；第二散热器；和至少一个激光二极管，其被安装在第一散热器和第二散热器之间，其中，第一散热器和第二散热器中的每一个都包括被沿着第一方向布置成堆叠件的相应的多个箔片。第一散热器和第二散热器中的多个箔片中的每个箔片都包括大致呈平面状的第一面和与该第一面相反的大致呈平面状的第二面，其中，每个箔片的第二面均被布置在堆叠件中的相应的前一箔片的面上。第一散热器和第二散热器中的多个箔片中的每个箔片的第一面均包括相应的细长沟槽，并且对于第一散热器和第二散热器中的多个箔片中的每个箔片，相应沟槽的深度延伸穿过小于该箔片的整个厚度。
15.一般来说，在一些方面，本技术的主题可被具体体现在形成激光二极管散热器的方法中，其中，该方法包括：提供多个箔片，多个箔片中的每个箔片包括大致呈平面状的第一面和与第一面相反的大致呈平面状的第二面，并且第一面和第二面之间的距离限定箔片的厚度。该方法进一步包括在多个箔片中的每个箔片的第一面中形成相应的沟槽，其中，相应沟槽的深度延伸穿过小于箔片的厚度。该方法还包括将多个箔片一起沿着第一方向安装成堆叠件，其中，多个箔片中的每个箔片的第二面被布置在堆叠体中的相应的前一箔片的面上。对于多个箔片中的每个箔片，沟槽基本上沿着垂直于第一方向的第二方向延伸。
16.这些方法的实施可以包括在堆叠件中形成至少一个共用流体输入端口，其中，多个箔片中的每个箔片的相应沟槽被流体地联接到至少一个共用流体输入端口，并且至少一个共用流体输入端口沿着第一方向延伸穿过该堆叠件。这些方法的实施可以包括在堆叠件中形成至少一个共用流体输出端口，其中，多个箔片中的每个箔片的相应沟槽被流体地联接到至少一个共用流体输出端口，并且至少一个共用流体输出端口沿着第一方向延伸穿过该堆叠件。
17.在此公开的装置和方法的各种实施方式可以包括以下优点中的一个或多个。例如，在一些实施方式中，激光二极管散热器可被用于沿着激光二极管器件建立基本均匀的温度，这又可以允许激光二极管器件在光输出中保持窄的波长分布。在一些实施方式中，本文公开的激光二极管散热器允许在入口冷却剂温度和出口冷却剂温度之间存在较大的差异并由此增强了热传递。在一些实施方式中，所公开的激光二极管散热器不需要比安装到散热器的激光二极管阵列大得多的安装面积。例如，在一些情况下，安装面积可以是被安装到散热器的激光二极管阵列的占用面积的101％、102％、103％、104％或105％。在一些实施方式中，第一激光二极管散热器中的冷却剂流相对于安装到散热器的激光二极管阵列沿着一个方向传播，而第二激光二极管散热器中的冷却剂流相对于激光二极管阵列沿着相反的第二方向传播，因此，即使入口冷却剂温度和出口冷却剂温度相差超过5摄氏度，也能改善越过激光二极管阵列的温度均匀度。
18.在附图和下面的描述中阐述了本发明的一个或多个实施例的细节。本发明的其他特征、目的和优点将通过说明书和附图以及权利要求书而是显而易见的。
附图说明
19.图1是示出了激光二极管散热器的示例的透视图的示意图。
20.图2是示出了激光二极管散热器的示例的侧视图的示意图。
21.图3a是示出了激光二极管散热器堆叠件的示例的分解图的示意图。
22.图3b是示出了被组合在一起以形成激光二极管散热器的堆叠件的示例性平面箔片的透视图的示意图。
23.图4是示出了激光二极管的双侧散热器安装座的示例的透视图的示意图。
24.图5是示出了示例性平面箔片的侧视图的示意图。
25.图6是示出了激光二极管的双侧散热器安装座和联接到激光二极管散热器的流体歧管的示例的透视图的示意图。
具体实施方式
26.图1是示出了激光二极管散热器100的示例的透视图的示意图。激光二极管散热器100被形成为多个平面箔片的堆叠件101，这多个平面箔片被沿着堆叠方向102(例如，沿着平行于如图1中所示的z轴的方向)堆叠。当被堆叠时，激光二极管散热器100包括至少一个流体输入端口104和至少一个流体输出端口106。流体输入端口104和流体输出端口106中的每一个均包括沿着堆叠方向102延伸穿过堆叠件101的开口。虽然流体输入端口104和流体输出端口106被示出为完全延伸穿过该堆叠件，但是在一些实施方式中，流体输入端口104和/或流体输出端口106部分地延伸穿过堆叠件101(即，并非一直穿过该堆叠件)是可能的。此外，尽管端口104、106在本文中被称为“流体输入端口”和“流体输出端口”，但这些术语是可互换的且并不取决于端口的特定位置。例如，端口104可以是流体输出端口并且端口106可以是流体输入端口。
27.堆叠件101中的每个平面箔片的第一侧包括相应的细长沟槽108。图1中仅示出了用于第一平面箔片的沟槽108，但是堆叠件101中的其他平面箔片的面也包括相应的沟槽。堆叠件101中的每个平面箔片的细长沟槽108的深度延伸穿过小于其中形成沟槽的平面箔片的整个厚度。例如，对于图1中所示的散热器100，每个平面箔片的厚度均可被理解为沿着z轴限定。图1所示的第一平面箔片的沟槽108还具有沿着z轴限定的深度，该深度小于其中形成它的平面箔片的厚度。
28.对于堆叠件101中的每个平面箔片，箔片中形成的沟槽基本上沿着第二方向110延伸。第二方向110可以垂直于堆叠方向102。例如，如图1所示，第二方向与x轴平行。
29.流体输入端口104是用于通向平面箔片的每个沟槽的第一开口的共用端口。即，每个沟槽的第一侧可被流体地连接到流体输入端口104，使得当将流体引入到流体输入端口104中时，流体进入每个沟槽。同样，流体输出端口106是用于通向平面箔片的每个沟槽的第二开口的共用端口。即，每个沟槽的第二侧可被流体地连接到流体输出端口106，使得当流体离开沟槽时，来自每个沟槽的流体进入流体输出端口106。流体输入端口104和流体输出端口106中的每一个可具有例如约2毫米2至约11毫米2的范围内(包括例如约4毫米2至约9毫
米2之间)的开口尺寸。
30.堆叠件101的第一侧112形成激光二极管安装区域。例如，如图1所示，激光二极管安装区域112对应于与由z-x轴限定的区域平行的平面。激光二极管安装区域112位于堆叠件101的最为靠近形成在平面箔片中的每个沟槽的细长部分的一侧上。以此方式，当流体被输送通过沟槽时，流体可以吸收由安装到堆叠件101的激光二极管产生的热量，从而使激光二极管能够冷却并提高它们的操作效率。例如，冷却剂流体可被供应到流体输入端口104，通过构成堆叠件101的每个平面箔片的沟槽108传播，从安装到散热器100的激光二极管吸收热量，并随后在流体输出端口106处被提取。
31.在一些实施方式中，堆叠件101可包括至少一个安装孔114。安装孔114可被通过在每个平面箔片中形成开口来形成。安装孔114可以接收安装部件，该安装部件使得能够将堆叠件114安装到流体歧管，该流体歧管向流体输入端口104提供冷却剂流体并且从流体输出端口106接收流体。例如，安装孔114的内表面可以被攻丝以接收螺钉。
32.在一些实施方式中，散热器100的平面箔片被堆叠成，使得每个平面箔片的沟槽108在垂直于堆叠方向的方向上被彼此对齐。例如，散热器100的沟槽108在x方向和y方向上被彼此对齐，使得在人们可以沿着z方向观察堆叠件101内的每个平面箔片的情况下，看起来好像每个沟槽108的占用面积彼此直接重叠。
33.图2是示出了激光二极管散热器100的示例的侧视图的示意图。侧视图示出了形成散热器的堆叠件101的多个平面箔片中的一个的表面。堆叠件101中的每个平面箔片均可以具有(例如，如图2中所示的沿着x轴延伸的)相应的长度103、(例如，如图2中所示的沿着z轴延伸的)相应的宽度和(例如，沿着y轴延伸的)相应的厚度。长度103可以处于例如约5毫米至约50毫米的范围内，其包括例如约10毫米、约12毫米、约14毫米、约16毫米、约18毫米、约20毫米、约25毫米、约30毫米、约35毫米、约40毫米或约45毫米以及其他长度。宽度105可处于约1毫米至约20毫米的范围内，其包括例如约2毫米、约3毫米、约4毫米、约5毫米、约8毫米、约10毫米、约12毫米、约14毫米、约16毫米或约18毫米等。每个箔片108的深度可处于约100微米至约1毫米的范围内，其包括例如约200微米、约300微米、约400微米、约500微米、约600微米、约700微米、约800微米或约900微米等。例如，每个箔片108的深度可小于或等于约300微米。
34.如该示例中所示，散热器100包括流体输入端口104、流体输出端口106和安装孔114。还示出了散热器堆叠件101的第一平面箔片中的沟槽108。如本文所解释的那样，每个沟槽均可以包括基本上沿着激光二极管安装区域延伸的第一部分。例如，如图2所示，散热器具有由堆叠件101中的平面箔片的表面形成的激光二极管安装区域112。每个沟槽108的第一部分116基本上沿着激光二极管安装区域112延伸。第一部分116的长度可以基本上沿着平面箔片的整个侧面延伸。例如，部分116的长度可略小于平面箔片的总长度103，例如比长度103小约2毫米、小约1毫米、小约500微米或小约250微米。
35.在一些实施方式中，沟槽108还包括并不沿着激光二极管安装区域112延伸的其他部分。例如，如图2所示，沟槽108包括(例如，沿着z轴)延伸到流体输入端口104的第二部分118。沟槽还包括沿着z方向延伸到流体输出端口106的第三部分120。第二部分118和第三部分120的长度可以至少部分地沿着平面箔片的宽度105延伸。例如，在一些实施方式中，第二部分118和/或第三部分120的长度可以处于约1毫米和约20毫米之间，其包括例如约2毫米、
约4毫米、约6毫米、约8毫米、约10毫米或约12毫米。在一些实施方式中，沟槽108仅包括基本上沿着激光二极管安装区域112延伸的第一部分。例如，流体输入端口104可被直接形成于第一部分116的第一端，而流体输出端口106可被直接形成于第一部分116的与第一端完全相反的第二端。
36.每个沟槽108可具有被沿着横向于通过沟槽的流体流动的方向限定的相应的宽度。例如，每个沟槽108可具有介于约100微米至约1毫米之间的宽度，其包括例如约200微米、约300微米、约400微米、约500微米、约600微米、约700微米、约800微米或约900微米等。
37.激光二极管安装区域112提供可以在其上安装至少一个激光二极管的表面。在一些实施方式中，在激光二极管安装区域112上形成绝缘层以防止激光二极管与激光二极管散热器电气短路。例如，如图2所示，可以在激光二极管安装区域112上形成介电层122。介电层可以包括例如电绝缘的电介质(例如二氧化硅、氮化硅、氮化铝)以及包括具有高导热性和高电阻的电介质在内的其他类型的绝缘电介质。介电层可具有介于例如约0.05毫米至约0.5毫米的范围内(包括例如介于约0.1毫米至约0.4毫米之间)的厚度。
38.介电层122的顶面可以包括多个载体安装垫片124(这里也被称为激光二极管安装垫片)。载体安装垫片124提供其上可以安装单独的激光二极管条并且在一些实施方式中被电连接的表面。载体安装垫片124可以由金属(例如铜)形成。载体安装垫片124是细长的，以至少适合于将被安装到垫片124的激光二极管条的占用面积。例如，图2中的安装垫片124可以在y轴方向上是细长的。在一些实施方式中，载体安装垫片124的细长部分的长度可以基本上等于堆叠件101的深度。例如，在一些情况下，载体安装垫片124的细长部分的长度可以沿着y轴方向介于约1毫米和约10毫米之间，其包括例如约2毫米、约3毫米、约4毫米、约5毫米、约6毫米、约7毫米、约8毫米或约9毫米等。每个载体安装垫片124的(例如，沿着x轴方向的)宽度可以处于例如介于约100微米至约几毫米之间(包括例如介于约200微米至约4毫米之间)的范围内。每个载体安装垫片124可以具有处于例如约500纳米到约300微米(包括例如介于约1微米到约200微米之间)的范围内的厚度(例如，如沿着z轴方向所确定的那样)。每个载体安装垫片124与相邻的载体安装垫片124间隔开相应的间隙126。每个间隙126的(例如，沿着x轴方向的)宽度可以处于例如约50微米至约200微米的范围内。可以在每个载体安装垫片124上形成单独的激光二极管条128。在一些实施方式中，每个激光二极管条128的占用面积都适合处于载体安装垫片124的表面区域内。
39.图3a是示出了激光二极管散热器堆叠件的示例的分解图的示意图。如图3a所示，该堆叠件包括多个平面箔片130。平面箔片130可由具有高导热性以改善热传递的材料(例如铜)形成。在一些实施方式中，构成堆叠件101的平面箔片130的总数介于约5至约50之间，其包括例如约10个箔片、约15个箔片、约20个箔片、约25个箔片、约30个箔片、约35个箔片、约40个箔片或约45个箔片等。平面箔片130可具有如本文所述的相应的长度、宽度和深度。每个平面箔片130还可包括如本文所述的相应沟槽108。
40.如本文中所解释的那样，每个沟槽108的深度并不一直延伸穿过箔片的厚度。相反，每个沟槽108的底面由其中形成沟槽108的箔片限定。同样，每个沟槽108的侧壁由其中形成沟槽108的箔片限定。然而，每个沟槽108的顶面由堆叠件中相邻箔片的表面限定。每个箔片108的深度可处于约50微米至约500微米的范围内，其包括例如约100微米、约200微米、约300微米或约400微米等。在一些实施方式中，每个沟槽108的深度不大于其中形成沟槽
108的箔片130的厚度的一半，尽管该深度可以小于箔片130的厚度的一半。例如，每个箔片108可以小于200微米，其包括例如小于150微米。通过执行蚀刻，例如通过执行图案化的湿蚀刻或通过执行图案化的干蚀刻，可以在每个平面箔片130中形成沟槽108。
41.每个箔片130可以包括一直延伸穿过箔片130的厚度的第一孔132以及一直延伸穿过箔片的厚度的第二孔134。当箔片130被结合在一起形成堆叠件101时，孔132结合在一起形成流体输入端口，而孔134结合在一起形成流体输出端口。孔130、132可以被通过对箔片进行蚀刻(例如，通过进行图案化的湿蚀刻或图案化的干蚀刻)来形成。在一些实施方式中，形成在平面箔片130中的沟槽图案和孔132、134是基本相同的。
42.在一些实施方式中，散热器100包括形成堆叠件101的前箔片或前表面的平面箔片140。前箔片140可以与堆叠件101中的其他箔片130具有相同的总体尺寸并且被由与堆叠件101中的其他箔片130的材料相同的材料形成。前箔片140并不包括沟槽108，而是用作用于堆叠件中直接相邻的箔片130的沟槽108所用的覆盖物。前箔片140仍可包括开口132、134以形成流体输入端口和流体输出端口的一部分。在一些实施方式中，散热器100包括形成堆叠件101的后箔片或后表面的平面箔片142。后箔片142可以与堆叠件101中的其他箔片130具有相同的总体尺寸并且被由与堆叠件101中的其他箔片130的材料相同的材料形成。后箔片140可以不包括沟槽108。后箔片140可仍然包括开口以形成流体输入端口和流体输出端口的一部分。
43.图3b是示出了被组合在一起以形成激光二极管散热器100的堆叠件101的箔片130的透视图的示意图。当被堆叠在一起时，顶面144(其周边由图3b中的虚线标识出)用作激光二极管安装表面，在该表面上可以形成绝缘层、载体安装垫片和激光二极管条。为了形成堆叠件101，平面箔片130、140、142可被焊接在一起。例如，在箔片由熔点接近约1098摄氏度的铜形成的情况下，平面箔片可被堆叠在一起，然后在达到约1073摄氏度的烤箱中加热。在这种状况下进行的焊接可能只需要几分钟。仅部分地通过每个平面箔片130形成沟槽的优点在于它允许相对于其他类型的激光二极管散热器结构提高冷却能力。例如，在包括冷却翅片的某些类型的激光二极管散热器中，翅片的宽度被限制在至少250微米的宽度，这是因为要不然焊接过程会导致冷却翅片在它们的宽度较小时熔化在一起。在这种情况下，在靠近安装表面112的装置中只能形成有限数量的翅片，从而限制其冷却能力。相比之下，对于目前描述的结构，将平面箔片焊接在一起并不导致沟槽被熔化在一起，因此允许减小沟槽深度，并且导致在散热器中形成更多数量的冷却沟槽(因此导致更大的冷却表面积)。
44.当将激光二极管条安装到散热器时，图1-3中所示的激光二极管散热器100仅向激光二极管条的一侧提供冷却。在一些实施方式中，第二单独的散热器可被定位在激光二极管条的上方并被安装到激光二极管条。第二单独的散热器然后向激光二极管条的相反的第二侧提供冷却。在某些实施方式中，冷却激光二极管条的第一侧和第二侧可以确保在操作期间更为均匀地冷却激光二极管。
45.图4是示出了激光二极管条的双侧散热器安装座的示例的透视图的示意图。如图4所示，多个激光二极管128被安装到第一散热器300。第一散热器300和第二散热器302中的每一个都可以包括如本文所述的散热器中的任一种。例如，第一散热器300和第二散热器302都可以包括相应的由平面箔片构成的堆叠件101，其中，堆叠件101的每个平面箔片均包括相应的流体沟槽，该相应的流体沟槽的深度小于其中形成该相应的流体沟槽的箔片的厚
度。堆叠件101的每个箔片还可以包括相应的入口孔和出口孔，这些相应的入口孔和出口孔被联接到沟槽，使得当将平面箔片堆叠在一起时，入口孔形成被联接到箔片的所有沟槽的流体入口端口，而出口孔形成被联接到箔片的所有沟槽的流体出口端口。为了便于说明，入口流体端口和输出流体端口并未在图4中示出。在一些实施方式中，散热器300、302中的一者或两者包括相应的安装孔114，安装结构(例如螺钉)可被插入穿过这些安装孔114。
46.散热器300、302中的每一个还可以包括位于堆叠件101的前表面上的相应的前平面箔片140和位于堆叠件101的后表面上的后平面箔片142。前平面箔片140和/或后平面箔片142可以包括入口孔、出口孔和安装孔，但可能并不包括形成在其平面内的流体沟槽。
47.如关于图2所解释的那样，激光二极管条128可以被各自安装到相应的载体安装垫片，这些载体安装垫片又被形成在位于散热器的激光二极管安装表面上的绝缘层上。例如，在一些情况下，每个激光二极管条128的阴极(或阳极)可被安装到并被电连接到被形成为散热器300的一部分的相应的载体安装垫片。在一些情况下，每个激光二极管条128的阳极(或阴极)可被安装到并被电连接到被形成为散热器302的一部分的相应的安装垫片。在一些实施方式中，多个光学元件可被分别定位在被安装于散热器的激光二极管条的发光表面的前方。光学元件可以包括被配置为折射从诸如透镜(例如，凸透镜或凹透镜)之类的激光二极管条发射的光的光学元件。例如，如图4所示，多个柱面透镜150被分别形成在多个激光二极管128的前方。由激光二极管条128发射的光然后由光学元件成形和/或重新定向。尽管在图4的示例中被示出为多个光学元件，但是在多个激光二极管条的发光表面的前方可安装单个光学元件。在一些实施方式中，可使用除透镜之外的光学元件。例如，在一些情况下，光学元件可包括棱镜、反射镜或滤光器(例如干涉滤光器)。在一些实施方式中，光学元件被安装于散热器300、302中的一者或两者。例如，可使用将光学元件结合到例如散热器的激光二极管安装区域的绝缘层的透镜结合胶来结合这些光学元件。尽管图4中所示的光学元件150被示出为被设置在包括第一散热器和第二散热器两者的装置中，但是光学元件可被设置在包括单个散热器的装置中。
48.尽管图1-3中所示的示例示出了形成在激光二极管散热器中的单个流体输入端口和单个流体输出端口，但可设置多个流体输入端口、多个流体输出端口和/或多个流体输入端口以及多个流体输入端口和多个流体输出端口。作为示例，图5是示出了示例性平面箔片130的侧视图的示意图，该示例性平面箔片130包括两个流体入口孔132和单个流体出口孔134。流体入口孔132和流体出口孔134中的每一个被形成为完全延伸穿过平面箔片130的厚度。流体入口孔和流体出口孔还联接到被形成在平面箔片130的表面中的沟槽108。当将具有图5所示的构型的多个平面箔片130堆叠在一起以形成激光二极管散热器时，入口孔形成流体入口端口，通过这些流体入口端口可以提供冷却剂，并且出口孔形成流体出口端口，冷却剂可以从该流体出口端口进行提取。因此，在由图5所示的由平面箔片构成的堆叠件形成的散热器的操作期间，冷却剂可通过两个孔132进入，横越位于激光二极管安装区域下方的沟槽108，然后通过孔134离开。流体入口孔和流体出口孔可以与本文的其他示例中描述的入口孔和出口孔具有相同的尺寸。尽管图5中所示的示例包括单个流体出口孔，但是根据联接到散热器并提供冷却剂的系统的配置，任何孔都可以是流体入口孔或流体出口孔。
49.在一些实施方式中，流体歧管可被安装到本文所述的散热器以提供和提取冷却剂流体。在某些情况下，例如，当使用两个散热器时，流体歧管可被安装到两个散热器上。例
如，图6是示出了如本文所述的第一散热器300、如本文所述的第二散热器302以及附接到第一流体散热器和第二流体散热器两者的流体歧管600的示例的示意图。流体歧管600可包括块(例如金属块或塑料块)，其中形成有多个开口。一个或多个开口604可包括具有用于接收安装螺钉的攻丝内壁的凹槽。安装螺钉的一端可由开口604接收，而安装螺钉的另一端可由散热器302中的安装孔接收。同样，歧管600中的另一开口604可接收第二螺钉的第一端，而第二螺钉的第二端可由另一散热器300中的安装保持件接收。流体歧管600还可包括多个开口606。每个开口606均可与散热器300或散热器302中的相应的流体输入端口或流体输出端口对齐。开口606可被使用例如垫圈或其他类型的密封件联接到流体输入端口和/或流体输出端口，以确保在散热器和流体歧管600之间没有流体泄漏。在系统的运行期间，可通过流体歧管提供冷却剂流体(例如水)作为输入流体602。输入流体602行进穿过散热器300、302的一个或多个流体输入端口。在进入流体输入端口之后，冷却剂流体进入到形成在激光二极管散热器的堆叠件内的沟槽中，在那里，冷却剂流体吸收由安装在散热器300中的一者或两者上的激光二极管产生的热量。冷却剂流体然后从形成在一个或两个散热器300、302中的流体输出端口传播出去，然后返回到流体歧管600中，在那里可以对加热后的流体进行分配或重新冷却。在一些实施方式中，流体歧管可被设置成使得冷却剂流体被引入到上部散热器302中，使得它相对于激光二极管阵列沿着一个方向行进(例如，从左到右穿过激光二极管阵列)，而冷却剂流体可被引入到下部散热器300中，使得它相对于激光二极管阵列沿着相反的第二方向行进。以此方式，可以改善越过激光二极管阵列的激光二极管的温度均匀度。
50.已经描述了本发明的多个实施例。然而，应当理解，在不脱离本发明的精神和范围的情况下可以进行各种修改。因此，其他实施例处于所附权利要求的范围内。