显示基板及包括该显示基板的显示装置的制作方法

1.实施例涉及一种显示基板及包括该显示基板的显示装置。


背景技术：

2.近来，对于能够轻松地承载各种应用程序并在承载时在大屏幕上显示图像的柔性或可折叠的显示装置的需求日益增加。
3.这种柔性或可折叠的显示装置在携带或存放时被折叠或部分地弯曲，并且可以在显示图像时以展开的显示器来实现。因此，可以增加图像显示区域，并且用户可以容易地携带显示器。
4.在柔性或可折叠的显示装置被折叠或弯曲之后，可以重复再次展开柔性显示装置的恢复过程。
5.即，由于柔性或可折叠的显示装置重复折叠和展开操作，因此要求柔性或可折叠的显示装置的基板具有一定的强度和弹性，并且在折叠和恢复过程中在基板中不会出现裂缝和变形。
6.同时，构成柔性或可折叠的显示装置的显示基板通常使用金属基板。这种金属基板在制造过程中通过轧制工艺进行加工，此时，可能通过轧制工艺在基板的表面上形成不规则的波纹。这种波纹增加了基板的表面粗糙度，因此，在重复折叠和展开操作的同时在基板的一个区域中可能出现卷曲现象。
7.特别地，当在显示基板的折叠区域中出现卷曲现象时，该折叠区域未被平整化，因此，当折叠基板时，在折叠区域中出现诸如裂缝的折叠缺陷，并且存在柔性显示装置的折叠可靠性变差的问题。
8.因此，需要一种能够使应用于柔性或可折叠的显示装置的显示基板中的折叠区域的波纹和卷曲现象最小化的新结构的显示基板。


技术实现要素：

9.技术问题
10.实施例旨在提供一种具有改进的可靠性和可见性的显示基板及包括该显示基板的显示装置。
11.技术方案
12.根据实施例的显示基板涉及一种包括显示面板安装区域和边框区域的显示基板，该显示基板包括：一个表面以及与所述一个表面相对的另一个表面；第一区域，所述第一区域被定义为折叠区域，在所述折叠区域中一个表面区域被折叠成彼此面对；以及第二区域，所述第二区域被定义为展开区域，其中，在第一区域的显示面板安装区域中形成有在显示基板的一个表面或另一个表面上形成的凹槽，并且在第一区域的边框区域中形成有穿过显示基板的一个表面和另一个表面的孔。
13.有益效果
14.在根据实施例的显示基板中，可以根据基板的区域形成具有不同形状的图案。
15.详细地，可以在基板的与设置在基板上的显示面板重叠的区域上形成凹槽，并且可以在基板的不与显示面板重叠的区域上形成孔。
16.在基板的与设置在基板上的显示面板重叠的区域中，通过仅在与面对显示面板的表面相反的表面上形成凹槽图案而不在面对显示面板的基板表面上形成图案，当显示面板和基板彼此粘合时可以防止由于凹槽图案引起的诸如斑点的可见性劣化，并且具有在折叠基板时分散应力的效果。
17.此外，通过在与设置在基板上的显示面板不重叠的区域中形成孔图案，可以防止由于基板的上部和下部的应力差引起的弯曲，并具有在折叠基板时分散应力的效果。
18.因此，根据实施例的显示基板可以防止由于弯曲导致的可靠性劣化和由于图案导致的可见性劣化。
19.此外，在根据实施例的基板中，在形成孔时，残余应力高的外部区域形成为大于残余应力相对较低的内部区域，即通过蚀刻更多而形成，所以可以缓和显示基板中根据区域的应力差。
20.因此，根据实施例的显示基板使由于表面层和内层之间的应力差引起的显示基板的翘曲或弯曲现象最小化，从而提高显示基板的平整度和可靠性。
21.此外，在根据实施例的基板中，可以同时执行用于蚀刻基板的表面层的减薄工艺和用于在基板中形成孔的蚀刻工艺。详细地，可以同时执行用于部分地蚀刻金属基板的表面层以通过一次激光照射降低金属基板的残余应力的减薄工艺和用于分散由于折叠引起的应力的图案孔的蚀刻工艺。
22.因此，在根据实施例的显示基板中，通过使用光致抗蚀剂等，可以省略曝光、显影和蚀刻工艺，而无需逐步进行多个工艺，从而提高工艺效率。
23.此外，在逐步进行多个工艺的同时，可以防止基板的上部和下部发生偏差，由此可以防止基板的弯曲现象，从而提高显示基板的可靠性。
附图说明
24.图1是根据实施例的柔性显示装置的透视图。
25.图2是根据另一实施例的柔性显示装置的透视图。
26.图3是根据实施例的显示基板的透视图。
27.图4是根据实施例的显示基板在折叠前的侧视图。
28.图5是根据实施例的显示基板在折叠后的侧视图。
29.图6是根据实施例的柔性显示装置的俯视图。
30.图7是沿图6的线a-a’截取的剖视图。
31.图8是沿图6的线b-b’截取的剖视图。
32.图9是沿图6的线c-c’截取的剖视图。
33.图10是根据另一实施例的柔性显示装置的俯视图。
34.图11是沿图10的线d-d’截取的剖视图。
35.图12是沿图10的线e-e’截取的剖视图。
36.图13是沿图10的线f-f’截取的的剖视图。
37.图14是在根据实施例的显示基板中形成的孔的剖视图。
38.图15是图14中的区域b的放大图。
39.图16至图18是示出形成根据实施例的显示基板的孔的工序的图。
40.图19是用于描述应用根据实施例的显示基板的示例的视图。
具体实施方式
41.在下文中，将参照附图详细描述本发明的实施例。然而，本发明的精神和范围不限于所描述的实施例的一部分，并且可以以各种其他形式实施，并且在本发明的精神和范围内，实施例的一个或多个要素可以选择性地组合和替换。
42.此外，除非另外明确定义和描述，否则本发明实施例中使用的术语(包括技术术语和科学术语)可以解释为与本发明所属领域的普通技术人员通常理解的含义相同的含义，并且术语如在常用词典中定义的术语可以被解释为具有与其在相关技术的上下文中的含义一致的含义。
43.另外，本发明实施例中所使用的术语用于说明本发明的实施例，并不旨在限制本发明。在本说明书中，除非在短语中特别说明，否则单数形式还可以包括复数形式，并且当描述为“a(和)b和c中的至少一个(或多个)时，可以包括可以在a、b和c中组合的所有组合中的至少一个。
44.此外，在描述本发明的实施例的元件时，可以使用诸如第一、第二、a、b、(a)和(b)等术语。这些术语仅用于将元件与其他元件区分开，并且术语不限于元件的本质、顺序或次序。
45.此外，当一个元件被描述为“连接”、“耦接”或“接合”到另一个元件时，它不仅可以包括该元件直接“连接”、“耦接”或“接合”到其他元件的情况，而且还包括该元件通过该元件与其他元件之间的另一元件被“连接”、“耦接”或“接合”的情况。
46.此外，当描述为形成或设置在每个元件“上(上方)”或“下(下方)”时，“上(上方)”或“下(下方)”可以不仅包括两个元件彼此直接连接的情况，而且还包括一个或多个其他元件形成或设置在两个元件之间的情况。
47.此外，当表示为“上(上方)”或“下(下方)”时，它不仅可以包括基于一个元件的上方向，而且还可以包括基于一个元件的下方向。
48.在下文中，将参照附图描述根据实施例的显示基板。
49.图1和图2是根据实施例的柔性显示装置的透视图。
50.参考图1，根据实施例的柔性显示装置1000可以包括基板100以及设置在基板100上方的显示面板200。
51.基板100可以支撑显示面板200。也就是说，基板100可以是支撑显示面板200的支撑基板。
52.基板100可以包括诸如金属的材料。例如，基板100可以包括金属、金属合金、塑料、复合材料(例如，碳纤维增强塑料、磁性或导电材料、玻璃纤维增强材料等)、陶瓷、蓝宝石、玻璃等。
53.基板100可以是柔性的。也就是说，基板100可以在一个方向上折叠或弯曲。也就是说，基板100可以是应用于柔性或可折叠的显示装置的显示基板。
54.基板100可以包括至少两个区域。详细地，基板100可以包括第一区域1a和第二区域2a。
55.第一区域1a可以被定义为基板100被折叠的区域。也就是说，第一区域1a可以是折叠区域。
56.此外，第二区域2a可以被定义为基板100未被折叠的区域。即，第二区域2a可以是展开区域。
57.下面将详细描述第一区域1a和第二区域2a。
58.基板100可以包括显示面板安装区域aa和边框区域ua。显示面板安装区域aa可以被定义为设置显示面板200的区域，边框区域ua可以被定义为围绕显示面板安装区域aa的区域，并且为未设置显示面板200的区域。
59.基板100可以具有一定的厚度。详细地，基板100可以具有约0.2mm或更小的厚度。更详细地，基板100可以具有约0.05mm至0.2mm的厚度。
60.当基板100的厚度超过约0.2mm时，当折叠显示装置时由于基板100的厚度可能会出现裂纹，当基板100的厚度小于约0.05mm时，基板100的强度会降低，因此可能难以起到支撑基板的作用。
61.显示面板200可以设置在基板100的上方。详细地，显示面板200可以设置在基板100的显示面板安装区域aa上。
62.显示面板200可以包括多个像素，所述多个像素包括开关薄膜晶体管、驱动薄膜晶体管、电力存储装置和有机发光二极管(oled)。在oled的情况下，可以在相对较低的温度下进行沉积，并且由于诸如低功率和高亮度的原因，oled可主要应用于柔性显示装置。这里，像素是指用于显示图像的最小单位，显示面板通过多个像素来显示图像。
63.显示面板可以包括基板、设置在基板上的栅极线、与栅极线绝缘(isolate)的数据线以及公共电源线。通常，一个像素可以由栅极线、数据线和公共电源线作为边界来限定。
64.基板可以包括具有柔性特性的材料，例如塑料薄膜，并且显示面板200可以通过在柔性薄膜上设置有机发光二极管和像素电路来实现。
65.参考图2，根据实施例的柔性显示装置1000可以进一步包括触摸面板300。
66.触摸面板300可以设置在显示面板200的上方。详细地，触摸面板300可以在与基板100的显示面板安装区域aa相对应的区域上设置在显示面板200的上方。
67.触摸面板300可以在柔性显示装置中实现触摸功能，并且在没有触摸功能单纯显示图像的柔性显示装置中可以省略触摸面板。
68.触摸面板300可以包括基板和设置在基板上的触摸电极。触摸电极可以使用电容型或电阻膜型来感测在柔性显示装置上触摸的输入装置的位置。
69.触摸面板300的基板可以包括具有柔性特性的材料，例如塑料薄膜，并且可以通过将触摸电极设置在柔性薄膜上来实现触摸面板300。
70.同时，虽然在附图中未示出，但是保护柔性显示装置的覆盖窗可以额外设置在触摸面板300的上方或显示面板200的上方(当省略触摸面板时)。
71.同时，基板100、显示面板200和触摸面板300可以通过粘合层等彼此粘合。在这种情况下，当基板100和显示面板200彼此粘合时，粘合层可以不设置在基板100的第一区域，即折叠区域，并且粘合层可以仅设置在第二区域，即展开区域中以彼此粘合。
72.因此，可以容易地折叠柔性显示装置。因此，当折叠区域的表面平整度降低并且折叠区域的曲率，即平整度增加时，折叠区域在折叠过程中被损坏，因此折叠可靠性可能变差。
73.同时，当基板100和显示面板200彼此粘合时，由于在基板100上形成的图案，产生显示面板的不均匀照明和/或根据图案的斑点，因此，对于从外面观察的用户，可见性可能降低。
74.下面描述的柔性显示装置的基板100涉及一种能够弥补由于基板的这种图案导致的上述缺点的结构。
75.如上所述，柔性显示装置包括基板100。
76.参考图3，基板100可以向一个方向弯曲。
77.详细地，基板100可以包括一个表面1s以及与一个表面1s相对的另一个表面2s。基板100的一个表面1s可以被定义为面对显示面板200的表面，并且基板100的另一个表面2s可以被定义为与一个表面1s相对的表面。也就是说，显示面板200可以设置在基板100的一个表面1s上。
78.在基板100中，一个表面1s或另一个表面2s可以弯曲成彼此面对。
79.在下面的描述中，如图3所示，将主要描述在基板100中一个表面1s向彼此面对的方向弯曲。
80.如上所述，第一区域1a和第二区域2a可以限定在基板100中。第一区域1a和第二区域2a可以是在基板100中一个表面1s向彼此面对的方向弯曲时限定的区域。
81.详细地，基板100向一个方向弯曲，并且基板100可以被划分为作为被折叠的区域(折叠区域)的第一区域1a和作为被展开的区域(展开区域)的第二区域2a。
82.参考图4和图5，基板100可以包括第一区域1a，第一区域1a是基板100弯曲的区域。基板100可以包括第二区域2a，第二区域2a不弯曲并且与第一区域1a相邻设置。
83.例如，第二区域2a可以基于基板100弯曲的方向形成在第一区域1a的左侧和右侧。即，第二区域2a可以设置在第一区域1a的两端。即，第一区域1a可以设置在第二区域2a之间。
84.第一区域1a和第二区域2a可以形成在同一基板100上。也就是说，第一区域1a和第二区域2a可以在同一基板100上不分离地彼此一体地形成。
85.第一区域1a和第二区域2a的尺寸可以彼此不同。详细地，第二区域2a的尺寸可以大于第一区域1a的尺寸。
86.在附图中，示出了第一区域1a位于基板100的中央部分，但实施例不限于此。即，第一区域1a可以位于基板100的一端和端部区域。即，第一区域1a可以位于基板100的一端和端部区域，使得第二区域2a的尺寸是不对称的。
87.图5是显示基板在基板折叠之后的侧视图。
88.参考图5，基板100可以围绕折叠轴向一个方向折叠。详细地，一个表面1s可以在沿着折叠轴彼此面对的方向上折叠。
89.当基板100向一个方向折叠时，第一区域1a和第二区域2a可以形成在基板100上。即，可以在基板100中形成通过将基板100向一个方向折叠形成的折叠区域和位于折叠区域的两端处的展开区域。
90.折叠区域可以被定义为形成曲率r的区域，并且展开区域可以被定义为未形成曲率r或者曲率接近于零的区域。
91.参考图4和图5，基板100可以向一个方向折叠以按照展开区域、折叠区域和展开区域的顺序形成。
92.多个孔可以形成在第一区域1a和第二区域2a中的至少一个中以分散当基板100被折叠时产生的应力。
93.在下文中，将参照图6至图9描述根据实施例的显示基板中形成的孔和凹槽。
94.图6是根据实施例的显示基板的一个表面的俯视图。即，图6是当基板100被折叠时作为折叠内表面的基板的一个表面1s的俯视图。
95.参考图6和图7，可以在基板100中形成穿过基板100的多个凹槽g或形成在基板100中的孔h。
96.详细地，穿过基板100的多个凹槽g或形成在基板100中的孔h可以形成在基板100的第一区域1a中。也就是说，穿过基板100的多个凹槽g或形成在基板100中的孔h可以形成在基板100的折叠区域中。
97.同时，图6仅图示了形成在第一区域1a中的行方向上的四个凹槽和列方向上的九个凹槽，但是这是为了便于描述，可以在第一区域1a中在行方向或列方向上形成更多或更少的凹槽，这可以同样适用于以下的剖视图。
98.形成在第一区域1a中的多个凹槽g或孔h用于分散第一区域被折叠时产生的应力。详细地，由于当基板100被折叠时产生的压缩应力，在基板的第一区域1a中可能发生根据应力的变形和损坏。
99.即，通过在第一区域1a中形成凹槽g或孔h以减小第一区域1a的厚度或剩余面积，可以减小当第一区域1a被折叠时在第一区域1a中产生的压缩应力的大小。
100.因此，通过在第一区域1a中形成多个凹槽g或孔h，可以防止应力集中在第一区域1a的特定区域上。因此，可以防止基板由于基板100被折叠时产生的压缩应力而损坏。
101.凹槽g或孔h可以以规则图案形成在第一区域1a中。或者，凹槽g或孔h可以以不规则图案形成在第一区域1a中。
102.凹槽g或孔h可以形成为具有弯曲表面。详细地，凹槽g或孔h可以形成为具有弯曲表面的形状，例如椭圆形、半球形、圆形等。作为示例，凹槽g或孔h可以形成为椭圆形，该椭圆形具有在基板100的宽度方向上的长轴和在基板100的长度方向上的短轴。
103.然而，实施例不限于此，凹槽g或孔h可以形成为多边形，例如三角形、正方形等。
104.同时，第一区域1a和第二区域2a可以通过铰链部(hinge portion)的存在或不存在来区分。即，折叠区域和展开区域可以通过铰链部的存在或不存在来区分。
105.详细地，多个铰链部可以形成在第一区域1a中，并且铰链部可以不形成在第二区域2a中。
106.也就是说，折叠区域可以被定义为形成有铰链部hn的区域。也就是说，折叠区域可以包括铰链部hn。
107.铰链部hn可以被定义为在基板100中开始折叠的点。也就是说，基板可以从多个铰链部中的两端的铰链部开始折叠。
108.根据基板100的折叠形状，铰链部hn可以包括多个铰链部。铰链部hn可以基于基板
100的宽度方向上的单向长度形成在与形成有凹槽g或孔h的列方向重叠的基板100的两端。
109.因此，当基板100通过铰链部hn折叠时，折叠区域可以容易地被折叠。
110.铰链部hn可以通过穿过基板100的端部区域中的单向区域的一个表面和另一个表面来形成。也就是说，铰链部hn可以被定义为通过穿过基板100的端部区域中的单向方向上的两端区域而形成的孔。
111.铰链部hn的形状可以与凹槽g或孔h的形状和尺寸相同或不同。例如，孔可以形成为具有弯曲表面。详细地，铰链部hn可以形成为具有弯曲表面的形状，例如椭圆形、半球形或圆形。
112.然而，实施例不限于此，当然，铰链部可以形成为多边形，例如，三角形或四边形或椭圆形。
113.同时，基板100可以根据其区域而具有不同的图案形状。详细地，凹槽g可以形成在基板100的显示面板安装区域aa中，并且孔h可以形成在边框区域ua中。
114.参考图6至图8，凹槽g可以形成在显示面板安装区域aa中。详细地，彼此间隔开的多个凹槽g可以形成在显示面板安装区域aa中。凹槽g可以形成为穿过基板100的两个表面中的任一个。详细地，凹槽g可以形成为穿过基板100的一个表面1s或另一个表面2s。具体地，凹槽g可以形成为穿过基板100的另一个表面2s。即，凹槽g可以穿过另一个表面2s，该另一个表面2s是基板100和显示面板彼此面对的表面的相反表面，不是基板100和显示面板彼此面对的一个表面1s，并且凹槽g可以形成为向一个表面1s的方向延伸。因此，凹槽g可以形成在与显示面板重叠的区域中。
115.因此，在基板100中，可以在面对显示面板200的一个表面1s上不形成孔图案或凹槽图案，并且可以仅在基板的另一个表面2s上形成凹槽形状的图案。
116.因此，由于图案没有形成在基板100与显示面板200之间的接触区域中，因此可以防止由于图案引起的可见性劣化。详细地，当孔图案或凹槽图案在显示面板200和基板100彼此接触的表面上形成在基板100中时，该图案可能导致从显示面板发出的光的不均匀现象。因此，存在由于光的不均匀性而从外部视觉识别为斑点的问题。
117.因此，在根据实施例的显示装置中，由于凹槽图案仅形成在基板100的另一个表面2s上，而图案未形成在基板100的一个表面1s上，即，与显示面板200接触的表面上，所以可以防止从显示面板发射的光的不均匀分布，并且具有由于折叠导致的应力的释放效果，从而提高了显示装置的可靠性和可见性。
118.同时，形成在基板的显示面板安装区域aa中的凹槽g可以形成为具有一定深度。详细地，凹槽g可以形成为小于基板的厚度的0.5倍的深度。当凹槽g的深度超过基板的厚度的0.5倍时，由于凹槽的深度，凹槽被识别为基板100的一个表面1s上的图案，因此从显示面板发出的光的均匀性可能会降低，并且基板的整体强度可能会降低，从而使显示装置的可靠性变差。
119.此外，基板100可以被进行表面处理。详细地，可以在形成孔或凹槽之前，在基板100的一个表面1s和另一个表面2s上对基板100进行表面处理。也就是说，可以在形成孔或凹槽之前将基板100的一个表面1s和另一个表面2s通过减薄工艺蚀刻一定厚度。
120.基板100可以具有不同的表面应力和内应力。详细地，基板100可以包括金属，该金属包括铁(fe)、镍(ni)和铬(cr)中的至少一种或多种。详细地，基板100可以包括不锈钢。
121.基板100可以进行冷轧工序以获得刚性，并且通过冷轧工序，基板100的表面应力可以大于基板100的内应力。
122.因此，当不对基板进行表面处理的情况下在显示面板安装区域中仅在基板的一个表面上形成凹槽图案时，在一个表面和另一个表面之间会产生应力差，因此基板可能向凹槽形成的方向弯曲。
123.因此，在基板100中形成凹槽图案或孔图案之前，通过使用蚀刻或加热的减薄工序将基板100的一个表面和另一个表面蚀刻一定厚度或更大厚度，缓和了表面与内部之间的应力差，从而可以防止当在显示面板安装区域中仅在基板的一个表面上形成凹槽图案时发生弯曲现象。
124.同时，参考图6、图7和图9，孔h可以形成在基板100的边框区域ua中。也就是说，孔h可以形成在不与显示面板200重叠的区域中。
125.详细地，设置为彼此间隔开的多个孔h可以形成在边框区域ua中。孔h可以形成为穿过基板100。详细地，孔h可以形成为穿过基板100的一个表面1s和另一个表面2s。
126.孔h可以形成为穿过设置在折叠方向内侧的一个表面1s和设置在折叠方向外侧的另一个表面2s。
127.形成在边框区域ua中的多个孔用于分散当第一区域被折叠时产生的应力。详细地，由于当基板100被折叠时产生的压缩应力，在基板的第一区域1a中可能发生由于应力引起的变形和损坏。
128.因此，可以通过在边框区域ua中形成孔来防止应力集中在第一区域1a的特定区域上。因此，可以防止基板由于基板100被折叠时产生的压缩应力而损坏。
129.孔h可以以规则图案形成在边框区域ua中。或者，孔h可以以不规则图案形成在边框区域ua中。
130.孔h可以形成为具有弯曲表面。详细地，孔h可以形成为具有弯曲表面的形状，例如椭圆形、半球形、圆形等。
131.然而，实施例不限于此，当然，孔h可以形成为多边形，例如三角形、正方形等。
132.在根据实施例的显示基板中，可以根据基板的区域形成具有不同形状的图案。
133.详细地，凹槽可以形成在基板的与设置在基板上的显示面板重叠的区域上，并且孔可以形成在基板的不与显示面板重叠的区域上。
134.在基板的与设置在基板上的显示面板重叠的区域中，通过仅在与面对显示面板的表面相反的表面上形成凹槽图案而不在面对显示面板的基板表面上形成图案，当显示面板和基板彼此粘合时可以防止由于凹槽图案引起的诸如斑点的可见性劣化，并且具有当基板被折叠时分散应力的效果。
135.此外，通过在不与设置在基板上的显示面板重叠的区域中形成孔图案，可以防止由于基板的上部和下部的应力差引起的弯曲，并且具有当基板被折叠时分散应力的效果。
136.因此，根据实施例的显示基板可以防止由于弯曲导致的可靠性劣化和由于图案导致的可见性劣化。
137.同时，在根据实施例的显示基板中，可以在展开区域中形成孔。
138.参考图10至图13，在显示基板中可以在基板100的第二区域中形成凹槽和孔。
139.详细地，基板100包括第一区域1a和第二区域2a，并且凹槽和孔也可以形成在第一
区域1a和第二区域2a中。
140.由于形成在第一区域1a中的凹槽和孔与上述实施例的凹槽和孔相同，因此将省略以下描述。即，参照图6至图9描述的实施例的凹槽和孔可以与下面如图10至图13所示的其他实施例结合。
141.可以在第二区域2a中形成彼此间隔开的多个凹槽和孔。
142.详细地，参照图10至图12，可以在第二区域2a中在基板的显示面板安装区域aa中形成凹槽，并且可以在第二区域2a中在基板的边框区域ua中形成孔。
143.即，在根据图10至图13的显示基板中，也可以在除了弯曲区域之外的非弯曲区域中形成凹槽和孔。
144.即，可以在基板的整个区域中形成凹槽和孔。
145.因此，可以通过减轻由于热引起的第一区域的变形和由于热引起的第二区域的变形之间的差异来防止显示基板弯曲或变形。
146.详细地，当第一区域和第二区域中由于热引起的变形差异过大时，显示基板可能弯曲或变形，因此，在基板中在第一区域与第二区域之间的边界区域中可能会出现裂纹。
147.因此，根据实施例的显示基板可以通过在第二区域中也形成孔来防止由于热变形对显示基板的损坏。
148.此外，当孔或凹槽形成在第一区域和第二区域中并且基板100和显示面板200彼此粘合时，可以通过防止由于孔或凹槽的形成引起的台阶来改善粘合特性。
149.在下文中，将参照图14至图18描述在上述显示基板中形成的孔及其形成工艺。
150.图14是形成在显示基板中的孔的剖视图。
151.孔h可以根据每个区域具有不同的尺寸。详细地，孔h可以根据每个区域具有不同的内径尺寸。即，孔h的蚀刻程度可以根据每个区域而不同。
152.参考图15，基板100可以包括多个区域。详细地，基板100可以被定义为在孔h的深度方向上延伸的外部区域oa以及基板100的内部，并且可以包括在外部区域oa之间的内部区域ia。
153.也就是说，基板100可以被定义为从基板100的表面沿深度方向延伸的外部区域oa以及基板100的内部，并且可以包括外部区域oa之间的内部区域ia。
154.因此，孔h可以包括从一个表面和另一个表面沿深度方向延伸的外部区域以及外部区域之间的内部区域。
155.孔h可以形成为在外部区域oa和内部区域ia中具有不同的尺寸。即，孔h可以在外部区域oa和内部区域ia中具有不同的内径尺寸。
156.详细地，孔h的外部区域oa中的第一内径ir1的尺寸可以大于内部区域oa中的第二内径ir2的尺寸。
157.此外，孔h的外径or可以限定在外部区域oa中，并且外径or可以大于第一内径ir1和第二内径ir2的尺寸。
158.孔h的尺寸可以形成为在外部区域oa中逐渐改变。详细地，孔h的第一内径ir1的尺寸可以形成为在外部区域oa中在沿内部区域ia的方向延伸的同时逐渐减小。即，孔h的第一内径ir1的尺寸可以形成为在外部区域oa中随着与外径or的距离增加而逐渐减小。
159.即，孔h可以形成为在外部区域oa中具有一定曲率的弯曲表面，并且第一内径ir1
的尺寸可以在外部区域oa中在从外径or沿内部区域ia的方向延伸的同时逐渐减小。
160.因此，可以在基板100的外部区域oa被蚀刻比内部区域ia更多的同时形成孔h。
161.在基板100的情况下，在形成孔图案等之前，进行诸如冷轧的工序的同时，基板100的表面上的残余应力可能大于内部残余应力。
162.因此，在根据实施例的基板100中，当形成孔时，具有高残余应力的外部区域形成为大于具有相对较低残余应力的内部区域，即，通过蚀刻更多而形成，所以可以缓和基板100中根据区域的应力差。
163.因此，根据实施例的显示基板使由于表面层与内层之间的应力差导致的显示基板的翘曲或弯曲现象最小化，从而提高了显示基板的平整度和可靠性。
164.图16至图18是示出根据上述实施例的显示基板中形成的孔的形成工序的图。
165.参考图16，首先，准备金属基板100’。
166.金属基板100’可以包括不锈钢等。金属基板100’的一个表面和另一个表面的表面可以进行冷轧工序。
167.参考图17，可以在金属基板100’上形成图案。
168.详细地，可以在金属基板100’的一个表面1s和另一个表面2s上照射激光。也就是说，可以通过将激光照射到金属基板100’的一个表面1s和另一个表面2s的区域的一部分，来部分地蚀刻金属基板100’。
169.因此，金属基板100’可以被部分地半蚀刻，并且形成在金属基板100’的一个表面1s和另一个表面2s上的多个凹槽可以形成在金属基板100’中。
170.形成在金属基板100’的一个表面1s和另一个表面2s上的多个凹槽可以形成为彼此重叠。
171.随后，参考图18，可以在金属基板100’中形成孔。
172.详细地，激光可以照射在金属基板100’的一个表面1s和另一个表面2s上。即，可以通过将激光照射在金属基板100’的一个表面1s和另一个表面2s的整个区域上来整体蚀刻金属基板100’。因此，金属基板100’的厚度可以从第一厚度t1减小到第二厚度t2。
173.因此，在金属基板100’中已经被半蚀刻的金属基板的区域中，一侧和另一侧上的凹槽可以穿过以形成孔。此外，金属基板100’可以在未进行半蚀刻的区域中被蚀刻。
174.即，在金属基板100’中，可以同时执行用于蚀刻金属基板的表面层的减薄工艺和用于在金属基板100’中形成孔的蚀刻工艺。详细地，可以同时执行用于部分地蚀刻金属基板的表面层以通过一次激光照射降低金属基板的残余应力的减薄工艺以及用于分散由于折叠引起的应力的图案孔的蚀刻工艺。
175.因此，在根据实施例的显示基板中，通过使用光致抗蚀剂等，可以省略曝光、显影和蚀刻工艺，而无需逐步进行多个工艺，从而提高工艺效率。
176.此外，在逐步进行多个工艺的同时，可以防止在基板的上部和下部中发生偏差，由此可以防止基板的弯曲现象，从而提高显示基板的可靠性。
177.同时，上述的残余应力可以如下测量，并且根据实施例的显示基板的残余应力率可以是1或更小。详细地，根据实施例的显示基板的残余应力率可以为0.1或更小。更详细地，根据实施例的显示基板的残余应力率可以为0.06或更小。更详细地，根据实施例的显示基板的残余应力率可以为0.03或更小。
178.残余应力测量方法
179.从金属基板取尺寸为200mm
×
30mm(宽度
×
长度)的任意样品金属板。随后，蚀刻从样品金属板的水平方向上的一端去除25mm的150mm
×
30mm(水平
×
垂直)的区域，使得具有金属基板的厚度的30％至70％的厚度。然后，将蚀刻后的样品金属板安装在水平台上之后，通过下面的等式测量残余应力率。
180.[等式]
[0181]
残余应力率＝h/l
[0182]
(h：样品金属板的蚀刻区域从水平台的上表面弯曲的最大高度，
[0183]
l：形成有蚀刻区域的样品金属板的水平方向上的长度)
[0184]
图19是用于描述应用根据实施例的显示基板的示例的视图。
[0185]
参考图19，根据实施例的显示基板可以应用于显示显示器的柔性显示装置。
[0186]
例如，根据实施例的显示基板可以应用于诸如移动电话或平板电脑的柔性显示装置。
[0187]
这样的显示基板可以应用于柔性的、弯曲的或折叠的如移动电话、平板电脑等的柔性显示装置。
[0188]
显示基板应用于柔性的、弯曲的或折叠的如移动电话、平板电脑等的柔性显示装置，并且可以通过提高反复折叠或恢复的显示装置的折叠可靠性来提高柔性显示装置的可靠性。
[0189]
在上述实施例中描述的特征、结构、效果等被包括在本发明的至少一个实施例中，但不限于仅一个实施例。此外，本领域技术人员可以针对其他实施例组合或修改每个实施例中说明的特征、结构和效果。因此，应当理解，这样的组合和修改被包括在本发明的范围内。
[0190]
此外，上述实施例的描述仅仅是示例，并不限制本发明。对于本领域的普通技术人员来说显而易见的是，本发明可以容易地以许多不同的形式实施而不改变其技术思想或基本特征。例如，可以修改和实现在此描述的示例性实施例的元件。此外，应当理解，与这些改变和应用相关的差异被包括在所附权利要求限定的本发明的范围内。