找平装置的制作方法

技术特征：
1.找平装置，包括支撑板(2)，其特征在于：还包括底板(1)、监测装置、控制模块和调节机构，所述调节机构包括从下至上依次连接的伺服电机(5)、螺杆(6)、螺纹轴套(7)和球铰支座(8)，所述底板(1)的上表面通过至少三个所述调节机构与所述支撑板(2)的下表面连接，所述监测装置、控制模块和伺服电机(5)依次电连接，所述监测装置可监测所述支撑板(2)的水平度，所述控制模块可基于所述监测装置的监测结果控制所述调节机构调节所述支撑板(2)至水平位置。2.根据权利要求1所述的找平装置，其特征在于：所述监测装置包括视觉识别系统，所述视觉识别系统包括电连接的高清相机(14)和视觉分析模组，所述高清相机(14)可对所述支撑板(2)拍照，所述视觉分析模组可基于拍照结果确定所述支撑板(2)相较于水平的倾斜方向及角度。3.根据权利要求1所述的找平装置，其特征在于：所述监测装置包括陀螺仪传感器，所述陀螺仪传感器设于所述支撑板(2)上，所述陀螺仪传感器用于确定所述支撑板(2)相较于水平的倾斜方向及角度。4.根据权利要求2所述的找平装置，其特征在于：还包括设于所述支撑板(2)上方的滑块(3)以及设于所述滑块(3)上方的工作台(4)，所述滑块(3)通过第一轨道(11)与所述支撑板(2)滑动连接，所述工作台(4)通过第二轨道(12)与所述滑块(3)滑动连接，所述第一轨道(11)和所述第二轨道(12)相互垂直。5.根据权利要求4所述的找平装置，其特征在于：还包括第一电机(9)和第二电机(10)，所述第一电机(9)与所述滑块(3)连接，所述第二电机(10)设于所述滑块(3)上并与所述工作台(4)连接，所述控制模块与所述第一电机(9)和第二电机(10)电连接，所述高清相机(14)可对所述工作台(4)拍照，所述视觉分析模组可基于所述拍照结果确定所述工作台(4)的位置相较于基准位置的偏差量，所述控制模块可基于所述偏差量控制所述第一电机(9)和第二电机(10)调节所述工作台(4)至基准位置。6.根据权利要求5所述的找平装置，其特征在于：所述第一电机(9)和第二电机(10)分别为第一步进电机和第二步进电机，所述第一步进电机和第二步进电机均通过丝杠螺母副传动结构分别与所述滑块(3)和工作台(4)连接。7.根据权利要求5所述的找平装置，其特征在于：所述第一电机(9)和第二电机(10)分别为第一伺服电机和第二伺服电机，所述第一伺服电机和第二伺服电机均通过丝杠螺母副传动结构分别与所述滑块(3)和工作台(4)连接。8.根据权利要求1所述的找平装置，其特征在于：包括四个所述调节机构，分别位于所述支撑板(2)四个角的下方。9.根据权利要求1所述的找平装置，其特征在于：包括三个所述调节机构，还包括上端设有球铰支座的支撑杆，三个所述调节机构和所述支撑杆分别位于所述支撑板(2)四个角的下方。

技术总结
本实用新型涉及找平装置，包括支撑板、底板、监测装置、控制模块和调节机构，调节机构包括从下至上依次连接的伺服电机、螺杆、螺纹轴套和球铰支座，底板的上表面通过至少三个调节机构与支撑板的下表面连接，监测装置、控制模块和伺服电机依次电连接，监测装置可监测支撑板的水平度，控制模块可基于监测装置的监测结果控制调节机构调节支撑板至水平位置，相比于现有技术，本实用新型可实现工作台的自动调平以及水平面内工作台位置的自动调整，避免人工参与，省时省力，提高生产效率，同时保证调整精度，确保芯片产品的高质量。确保芯片产品的高质量。确保芯片产品的高质量。


技术研发人员：赵朝辉 钟越 杨杰 杨燕斌
受保护的技术使用者：重庆创芯生物科技有限公司
技术研发日：2021.10.09
技术公布日：2022/3/16