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一种废气淋洗装置的制作方法

2022-03-17 00:27:06 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及多晶硅废气处理技术领域,尤其涉及一种废气淋洗装置。


背景技术:

2.目前的多晶硅生产废气处理采用的是用水淋洗吸收的方法,在使用过程中淋洗塔经常出现两方面的问题,一是如果采用填料淋洗塔,多晶硅废气在用水淋洗时会生产二氧化硅,附着在填料、塔壁上,造成塔堵塞,需要经常性清理填料;二是如果采用空塔喷淋的方式,塔顶喷头口径太大,喷头水成柱状,表面积太小,吸收效果不好;如果使用多个小口径喷头,喷嘴容易被喷淋剂中杂质和水解后的二氧化硅堵塞,造成喷淋剂小,吸收效果不好的情况,且喷淋剂容易在塔壁上形成壁流,无法保证废气与喷淋剂充分接触,废气流经淋洗塔的路径较短。


技术实现要素:

3.本实用新型的目的在于克服现有技术中废气与喷淋剂无法充分接触,且废气流经淋洗塔的路径较短造成的吸收效果不佳的问题,提供了一种废气淋洗装置。
4.本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的:一种废气淋洗装置,所述装置包括淋洗塔,淋洗塔上设有喷淋头和废气进气口,淋洗塔侧壁上设有折流板。
5.在一示例中,所述折流板交错或螺旋分布。
6.在一示例中,折流板为矩形、梯形、三角形、圆形中的任意一种。
7.在一示例中,所述折流板上设有溢流堰。
8.在一示例中,所述溢流堰高度为20-50mm。
9.在一示例中,所述折流板上开设有筛孔。其中,筛孔的孔径为0.5-1mm。
10.在一示例中,所述折流板上筛孔之间间距沿着远离淋洗塔侧壁方向逐渐减小。
11.在一示例中,筛孔为矩形、梯形、三角形、圆形中的任意一种。
12.在一示例中,所述筛孔具体为梯形筛孔,且梯形筛孔较大的开口面与喷淋头出水端相对设置。
13.在一示例中,所述装置还包括喷淋剂存储池和泵,喷淋剂存储池中喷淋剂经泵输送至淋洗塔的喷淋头。
14.在一示例中,所述淋洗塔设于喷淋剂存储池中,喷淋塔上设有喷淋剂回收口。
15.在一示例中,所述喷淋剂存储池设有ph计。
16.需要进一步说明的是,上述各示例对应的技术特征可以相互组合或替换构成新的技术方案。
17.与现有技术相比,本实用新型有益效果是:
18.(1)在一示例中,通过设置折流板增加废气流经淋洗塔的路径,使废气与喷淋剂充分接触,以此提升废气吸收效果。
19.(2)在一示例中,交错或螺旋设置的折流板能够进一步增加废气在淋洗塔中流经
的路径,使淋洗更加充分,达到更好的废气吸收效果。
20.(3)在一示例中,通过设置溢流堰能够使喷淋剂在折流板上形成液封,防止废气经筛孔形成短路,保证废气在淋洗塔中流经的路径。
21.(4)在一示例中,在折流板上设置的筛孔能够增加喷淋剂的喷淋面,以此增加喷淋剂与废气的接触面积。
22.(5)在一示例中,使筛孔间距沿着远离淋洗塔侧壁方向逐渐减小,能够进一步避免形成壁流,且使每个筛孔均有喷淋剂流下,不会形成偏流,防止无喷淋剂流经的筛孔被淋洗时产生的二氧化硅堵塞。
23.(6)在一示例中,梯形筛孔的较大开口面向喷淋头出水端能够使开口较大面喷淋剂水流较大,进而避免废气直接从筛孔中通过,保证废气在淋洗塔中流经的路径,增加了废气与喷淋剂接触时间。
24.(7)在一示例中,通过喷淋剂存储池为喷淋塔提供充足的喷淋剂。
25.(8)在一示例中,通过喷淋塔上的喷淋剂回收口将喷淋剂进行回收,实现喷淋剂的循环使用。
26.(9)在一示例中,通过ph计实时监测喷淋剂的酸碱度,以及时补充或更换喷淋剂,保证废气淋洗效果。
附图说明
27.下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明,此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解,构成本技术的一部分,在这些附图中使用相同的参考标号来表示相同或相似的部分,本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术,并不构成对本技术的不当限定。
28.图1为本实用新型一示例中的装置示意图;
29.图2为本实用新型一示例中的折流板示意图;
30.图3为本实用新型一示例中的筛孔俯视图。
31.图中:淋洗塔1、废气进气口11、折流板12、喷淋头13、废气出气口14、筛孔15、溢流堰16、喷淋剂存储池17、ph计18。
具体实施方式
32.下面结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
33.在本实用新型的描述中,需要说明的是,属于“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方向或位置关系为基于附图所述的方向或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,属于“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
34.在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,属于“安
装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
35.此外,下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
36.本实用新型提供了一种废气淋洗装置,如图1所示,本示例装置具体包括淋洗塔1,淋洗塔1上设有喷淋头13和废气进气口11,淋洗塔1侧壁上设有折流板12。具体地,本示例中为淋洗塔1为喷淋塔,喷淋塔顶部设有喷淋头13,喷淋头13喷洒出喷淋剂对废气进行淋洗。本示例喷淋剂具体为碱液,且碱液ph值大于9,且始终保持碱过量,优选为氢氧化钠或氢氧化钾。折流板12经螺栓等固定件固定于淋洗塔1侧壁上。喷淋塔底部设有废气进气口11,废气由喷淋塔底部进入,经折流板12缓缓向上流动,最后经喷淋剂淋洗的废气由喷淋塔顶部的废气出气口14排出。本示例通过设置折流板12增加废气流经喷淋塔的路径,使废气与喷淋剂充分接触,以此提升废气吸收效果。
37.在一示例中,所述折流板12左右相对交错分布于淋洗塔侧壁上,喷淋头喷洒的喷淋剂流至折流板上,交错设置的折流板12能够进一步增加废气在淋洗塔1中流经的路径,使淋洗更加充分,达到更好的废气吸收效果。
38.在一示例中,如图2所示,所述折流板12上设有溢流堰16。具体地,本示例中折流板12具体为半圆形折流板12,折流板12的圆弧边与淋洗塔1侧壁固定连接,折流板12圆弧边与淋洗塔1弧形内部能够较好适配,使喷淋头13喷洒的喷淋剂均流经折流板12。进一步地,溢流堰16设于半圆形折流板12的弦边上,能够使喷淋剂在折流板上形成液封,防止废气经筛孔形成短路,保证废气吸收效果。更为具体地,所述溢流堰16高度为20-50mm,本示例具体为35mm。
39.在一示例中,所述折流板12上开设有若干筛孔15,流经折流板12的喷淋剂经多个筛孔15向下流动,拓展了喷淋头13喷洒出的喷淋剂的喷淋面,以此增加喷淋剂与废气的接触面积,以此提升吸收效果。进一步地,折流板12上若干筛孔15配合溢流堰16,当有个别折流板12筛孔15堵塞时,只会影响部分吸收效果,不会对淋洗塔1的正常运行产生影响。
40.在一示例中,所述折流板12上筛孔15之间间距沿着远离淋洗塔1侧壁方向逐渐减小,能够进一步避免形成壁流,且使每个筛孔15均有喷淋剂流下,不会形成偏流,防止无喷淋剂流经的筛孔15(如喷淋剂暂未流经至该筛孔15)被淋洗时产生的二氧化硅堵塞。作为一选项,令折流板12上靠近喷淋塔侧壁的筛孔15之间的间距为d1,折流板12上远离喷淋塔侧壁的筛孔15之间的间距为d2,则d1大于d2。具体地,筛孔15为0.7mm;靠近喷淋塔侧壁的筛孔15之间的间距d1为5-10mm,本示例为7mm;远离喷淋塔侧壁的筛孔15之间的间距d2为0.2-1mm,本示例为0.6mm。
41.在一示例中,如图3筛孔15的俯视图所示,所述筛孔15具体为梯形筛孔,且梯形筛孔15较大的开口面与喷淋头13出水端相对设置。具体地,令与喷淋头13出口端相对的梯形筛孔15开口面为上开口,与上开口相对的梯形筛孔15的开口面为下开口,上开口口径大于下开口口径,喷淋头13喷洒的喷淋剂经梯形筛孔15的上开口流入梯形筛孔15,并经梯形筛孔15的下开口流出梯形筛孔15,上开口水流相较于下开口的水流较大,进而避免废气直接
从筛孔15中通过,保证废气在淋洗塔中流经的路径,增加了废气与喷淋剂接触时间。
42.在一示例中,所述装置还包括喷淋剂存储池17和泵(图中未示出),喷淋剂存储池17存储有喷淋剂,喷淋剂存储池17中喷淋剂经泵压入输送管,输送管一端置于喷淋剂存储池17的喷淋剂中,另一端与淋洗塔1中喷淋头13连接,进而通过输送管将喷淋剂输送至淋洗塔1的喷淋头13,以此将喷淋剂引入淋洗塔1内。
43.在一示例中,所述淋洗塔1设于喷淋剂存储池17中,即淋洗塔1底部置于喷淋剂存储池17中,喷淋塔上设有喷淋剂回收口,本示例中喷淋塔侧面开设有喷淋剂回收口(图中未示出),且喷淋剂回收口露出喷淋剂存储池17的喷淋剂液面,对废气淋洗后的喷淋剂经喷淋剂回收口流入喷淋剂存储池17,实现喷淋剂的循环使用。
44.在一示例中,所述喷淋剂存储池17设有ph计18,通过ph计18实时监测喷淋剂的酸碱度,以及时补充一定浓度的碱液或对喷淋剂进行更换,保证废气淋洗效果。作为一选项,ph计18连接有控制器如plc,以将检测的喷淋剂的ph值信息实时传输至plc,当plc监测到喷淋剂的ph值低于阈值9以后,给出报警提示,实现喷淋剂ph值的自动监测。更为具体地,喷淋剂存储池17设有废液出口,以将部分水解后的碱液经废液出口排放至废水处理工序,以保证喷淋剂ph值始终ph>9。
45.以上具体实施方式是对本实用新型的详细说明,不能认定本实用新型的具体实施方式只局限于这些说明,对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干简单推演和替代,都应当视为属于本实用新型的保护范围。
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