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一种用于N型铸锭单晶的坩埚的制作方法

2022-03-16 19:17:47 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种用于n型铸锭单晶的坩埚,其特征在于:包括坩埚结构,所述坩埚结构包括石英坩埚(1),所述石英坩埚(1)的外部设置有石墨坩埚(2),所述石墨坩埚(2)底部设置有冷凝板(3),冷凝板(3)连接有冷却管(4),冷却管(4)的端部插入冷凝板(3)内部与石墨坩埚(2)底部接触;冷却管(4)与石墨坩埚(2)接触位置位于石墨坩埚(2)底部的中心点处,冷却管(4)内设置有导流管(5),冷却管(4)通过接头(6)连接有连接管(7),连接管(7)与冷却器(8)连接,所述石墨坩埚(2)外部设置有保温钨筒(9),所述保温钨筒(9)外周环绕有保温纤维毯(10),保温钨筒(9)和保温纤维毯(10)之间设置有第一保温屏(11),所述保温钨筒(9)上方设置有的第三保温屏(14),所述第三保温屏(14)上端面设有盖板(15),盖板(15)上设有导流筒(16),在导流筒(16)内侧底端盖合有保温盖(18)。2.根据权利要求1所述一种用于n型铸锭单晶的坩埚,其特征在于:所述冷凝板(3)的底部设置有钨保温片(12),钨保温片(12)下方设置有第二保温屏(13)。3.根据权利要求1所述一种用于n型铸锭单晶的坩埚,其特征在于:所述导流筒(16)成倒立圆台状,导流筒(16)内腔从上而下逐渐径缩,保温钨筒(9)内腔与炉体内腔通过导流筒(16)内腔连通。4.根据权利要求1所述一种用于n型铸锭单晶的坩埚,其特征在于:所述石英坩埚(1)位于导流筒(16)的正下方,石英坩埚(1)的上端面直径大于导流筒(16)下端面直径,保温钨筒(9)侧壁与石墨坩埚(2)之间安装有侧加热器(17)。5.根据权利要求4所述一种用于n型铸锭单晶的坩埚,其特征在于:所述保温盖(18)包括吊杆(19)、盖体(20),吊杆(19)、盖体(20)均采用高纯石墨制成,吊杆(19)的上端通过钨制籽晶绳与炉体的籽晶夹头固定连接,吊杆(19)的上端与盖体(20)中心可拆卸连接,盖体(20)水平盖合在导流筒(16)内侧底端,盖体(20)的外径小于导流筒(16)下端内壁的直径。6.根据权利要求5所述一种用于n型铸锭单晶的坩埚,其特征在于:所述盖体(20)包括顶盖(21)、上盖(22)、下盖(23),下盖(23)为圆形板,上盖(22)、顶盖(21)均为圆台状,下盖(23)的上端面与上盖(22)的下端面直径相等,上盖(22)的上端面的直径大于顶盖(21)的下端面的直径。

技术总结
本实用新型公开了一种用于N型铸锭单晶的坩埚,包括坩埚结构,所述坩埚结构包括石英坩埚,所述石英坩埚的外部设置有石墨坩埚,所述石墨坩埚底部设置有冷凝板,冷凝板连接有冷却管,冷却管的端部插入冷凝板内部,与石墨坩埚底部接触;冷却管与石墨坩埚接触位置位于石墨坩埚底部的中心点处,冷却管内设置有导流管,冷却管通过接头连接有连接管,连接管与冷却器连接,所述石墨坩埚外部设置有保温钨筒,所述保温钨筒外周环绕有纤维保温毯,保温钨筒和保温纤维毯之间设置有第一保温屏,所述第三保温屏上端面设有盖板,盖板上设有导流筒,在导流筒内侧底端盖合有保温盖;本实用新型可以用更少的籽晶来完成铸锭,从而达到降低铸锭成本。从而达到降低铸锭成本。从而达到降低铸锭成本。


技术研发人员:韩科选 薛赓
受保护的技术使用者:苏州步科斯新材料科技有限公司
技术研发日:2021.06.07
技术公布日:2022/3/15
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