一种LED晶圆的分选方法与流程

技术特征：
1.一种led晶圆的分选方法，其特征在于，包括：将led晶圆分成若干个区块，所述区块上的led晶粒分为保留晶粒和抓取晶粒，所述保留晶粒的光电性能和晶粒数量符合预设要求，所述抓取晶粒的光电性能和晶粒数量不符合预设要求，其中，所述保留晶粒的晶粒数量比所述抓取晶粒的晶粒数量多，同一个区块上的保留晶粒的光电性能在同一个等级，不同区块上的保留晶粒的光电性能在不同的等级；去除所述区块上的抓取晶粒；将所述区块上的保留晶粒转移，以形成成品方片。2.如权利要求1所述的led晶圆的分选方法，其特征在于，将led晶圆分成若干个区块的方法包括：对所述led晶圆上完成光电测试的led晶粒进行分级，得到分选文档；获取led晶粒的位置信息；根据所述分选文档和位置信息将所述led晶圆进行分区以形成所述区块。3.如权利要求2所述的led晶圆的分选方法，其特征在于，所述分选文档包括光电参数信息、等级分类信息和分选等级信息，所述光电参数信息至少包括led晶粒的波长参数、电压参数和亮度参数，所述等级分类信息包括等级的数量和每个等级对应的led晶粒数量；其中，光电参数信息在同一个预设范围的led晶粒分为同一个等级，所述led晶粒有多个等级，不同等级的led晶粒的光电参数信息在不同的预设范围；同一个等级的led晶粒的数量为若干颗。4.如权利要求3所述的led晶圆的分选方法，其特征在于，根据led晶粒的数量从多个等级中选出若干个保留等级，其中，为所述保留等级的led晶粒的数量达到预设值，所述区块的数量等于保留等级的数量。5.如权利要求4所述的led晶圆的分选方法，其特征在于，每个区块上只有一个保留等级，所述保留等级对应的led晶粒为保留晶粒，其余的led晶粒为抓取晶粒。6.如权利要求3所述的led晶圆的分选方法，其特征在于，所述分选等级信息包括分bin信息，其中，将保留等级的led晶粒设置为151bin或以上，将其他led晶粒设置为1～150bin中的任意一个或几个。7.如权利要求2所述的led晶圆的分选方法，其特征在于，根据xy轴坐标设置所述led晶粒的位置，以获得所述led晶粒的位置信息。8.如权利要求1所述的led晶圆的分选方法，其特征在于，去除所述区块上的抓取晶粒的方法包括：通过分选设备将所述抓取晶粒抓取出来。9.如权利要求1或8所述的led晶圆的分选方法，其特征在于，去除所述区块上的抓取晶粒后，将所述区块上的保留晶粒翻膜到基材上，以形成所述成品方片。10.如权利要求9所述的led晶圆的分选方法，其特征在于，所述成品方片上的led晶粒属于同一个等级。

技术总结
本申请公开了一种LED晶圆的分选方法，包括：将LED晶圆分成若干个区块，所述区块上的LED晶粒分为保留晶粒和抓取晶粒，所述保留晶粒的光电性能和晶粒数量符合预设要求，所述抓取晶粒的光电性能和晶粒数量不符合预设要求，其中，所述保留晶粒的晶粒数量比所述抓取晶粒的晶粒数量多，同一个区块上的保留晶粒的光电性能在同一个等级，不同区块上的保留晶粒的光电性能在不同的等级；去除所述区块上的抓取晶粒；将所述区块上的保留晶粒转移形成成品方片。本申请的分选效率高，成本低，适用于大批量生成。生成。生成。


技术研发人员：黎银英 邝浩彬 陈桂飞 陆绍坚
受保护的技术使用者：佛山市国星半导体技术有限公司
技术研发日：2021.10.14
技术公布日：2022/3/8