信息处理装置、信息处理系统、信息处理方法与流程

技术特征：
1.一种信息处理装置，其特征在于，具备：读取部，该读取部从存储装置读取对应于运转中的对象真空泵所属群组的共同条件，所述存储装置按每个设定群组储存属于该设定群组的真空泵的异常数据发生倾向的共同条件，所述共同条件是使用通过该信息处理装置或其他信息处理装置从属于真空泵的该设定群组的真空泵的状态量数据检测出的第一异常数据的发生倾向而由该信息处理装置或其他信息处理装置决定的，所述设定群组是制造编号相同的真空泵的群组、连接于制造编号相同的半导体制造装置的真空泵的群组、或在相同制程中使用过的真空泵的群组，所述共同条件是表示在属于所述设定群组的所述真空泵的状态量数据中检测出的异常的容许范围随时间变化的数据；检测部，该检测部从运转中的对象真空泵的状态量数据检测第二异常数据；及比较部，该比较部对读取出的所述共同条件与检测出的所述第二异常数据的发生倾向进行比较，所述比较部在每个对应的时刻对表示所述异常的容许范围随时间变化的数据与从所述运转中的真空泵的状态量数据检测出的异常的时间序列数据进行比较。2.如权利要求1所述的信息处理装置，其特征在于，所述真空泵的设定群组是制造编号相同的真空泵的群组，所述比较部对对应于制造编号与所述运转中的对象真空泵相同的真空泵的群组的所述共同条件和所述运转中的对象真空泵的所述第二异常数据的发生倾向进行比较。3.如权利要求1所述的信息处理装置，其特征在于，所述真空泵的设定群组为连接于制造编号相同的半导体制造装置的真空泵的群组，所述比较部对与连接于一半导体制造装置的真空泵群组对应的所述共同条件和所述运转中的对象真空泵的所述第二异常数据的发生倾向进行比较，所述一半导体制造装置的制造编号与连接有所述运转中的对象真空泵的半导体制造装置相同。4.如权利要求1所述的信息处理装置，其特征在于，所述真空泵的设定群组是在相同制程中使用过的真空泵的群组，所述比较部对对应于与所述运转中的对象真空泵所使用的制程相同的制程中所使用过的真空泵群组的所述共同条件和所述运转中的对象真空泵的所述第二异常数据的发生倾向进行比较。5.如权利要求1所述的信息处理装置，其特征在于，表示所述异常的容许范围随时间变化的数据是表示每单位时间特定的状态量离开设定范围的次数的容许范围随时间变化的数据，所述比较部对表示所述容许范围随时间变化的数据与从所述运转中的真空泵的状态量数据检测出的每单位时间所述特定的状态量离开设定范围的次数的时间序列数据进行比较。6.如权利要求1-5中任一项所述的信息处理装置，其特征在于，所述比较部进行比较并进行数值化，并将数值化数据作为比较结果输出。7.一种信息处理系统，其特征在于，具备：第一检测部，该第一检测部从真空泵的状态量数据检测第一异常数据；决定部，该决定部使用从属于真空泵的设定群组的真空泵的状态量数据检测出的所述
第一异常数据的发生倾向，按每个该设定群组决定属于该设定群组的真空泵的异常数据发生倾向的共同条件，所述设定群组是制造编号相同的真空泵的群组、连接于制造编号相同的半导体制造装置的真空泵的群组、或在相同制程中使用过的真空泵的群组，所述共同条件是表示在属于所述设定群组的所述真空泵的状态量数据中检测出的异常的容许范围随时间变化的数据；第二检测部，该第二检测部从运转中的对象真空泵的状态量数据检测第二异常数据；及比较部，该比较部对对应于所述运转中的对象真空泵所属的群组的共同条件与所述检测出的所述第二异常数据的发生倾向进行比较，所述比较部在每个对应的时刻对表示所述异常的容许范围随时间变化的数据与从所述运转中的真空泵的状态量数据检测出的异常的时间序列数据进行比较。8.一种信息处理方法，信息处理装置执行该信息处理方法，其特征在于，具有以下工序：从存储装置读取对应于运转中的对象真空泵所属的群组的共同条件，所述存储装置按每个设定群组储存属于该设定群组的真空泵的异常数据发生倾向的共同条件，所述共同条件是使用通过该信息处理装置或其他信息处理装置从属于真空泵的该设定群组的真空泵的状态量数据检测出的第一异常数据的发生倾向而由该信息处理装置或其他信息处理装置决定的，所述设定群组是制造编号相同的真空泵的群组、连接于制造编号相同的半导体制造装置的真空泵的群组、或在相同制程中使用过的真空泵的群组，所述共同条件是表示在属于所述设定群组的所述真空泵的状态量数据中检测出的异常的容许范围随时间变化的数据；从运转中的对象真空泵的状态量数据检测第二异常数据；及对读取出的所述共同条件与所述检测出的所述第二异常数据的发生倾向进行比较，在所述比较的工序中，在每个对应的时刻对表示所述异常的容许范围随时间变化的数据与从所述运转中的真空泵的状态量数据检测出的异常的时间序列数据进行比较。

技术总结
一种信息处理装置、信息处理系统、信息处理方法，信息处理装置具备：读取部，该读取部从存储装置读取对应于运转中的对象真空泵所属群组的共同条件，存储装置按每个设定群组储存属于该设定群组的真空泵的异常数据发生倾向的共同条件；检测部，该检测部从运转中的对象真空泵的状态量数据检测第二异常数据；及比较部，该比较部对读取出的共同条件与检测出的第二异常数据的发生倾向进行比较，比较部在每个对应的时刻对表示异常的容许范围随时间变化的数据与从运转中的真空泵的状态量数据检测出的异常的时间序列数据进行比较。出的异常的时间序列数据进行比较。出的异常的时间序列数据进行比较。


技术研发人员：舞鴫惠治 杉浦哲郎 臼井克明 畠山雅规 本间知佳子 大须贺透 岩崎弘一 林介元
受保护的技术使用者：株式会社荏原制作所
技术研发日：2018.03.13
技术公布日：2022/3/8