一种可拆卸的硅片定位用花棒的制作方法

1.本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体是花棒。


背景技术：

2.硅片腐蚀是硅片加工过程中重要的工艺之一，加工过程中要保证硅片腐蚀的速率，硅片表面的腐蚀均匀。
3.硅片腐蚀时，将硅片插设在腐蚀笼内，然后置入腐蚀槽进行腐蚀。
4.传统的腐蚀笼上设有至少三根花棒，且花棒都是一根整体的花棒，在腐蚀作业时不可避免的会发生碎片等其他情况，导致腐蚀笼的花棒槽齿被切削，时间长了，一个花棒只要有一个槽齿严重损害的话，那么整个花棒就要报废，而且一般情况下要是被碎片割伤的话，三根花棒的相同位置都会同时被割伤，那就一次更换3根花棒。浪费成本。


技术实现要素：

5.针对现有技术存在的问题，本实用新型提供一种可拆卸的硅片定位用花棒，以解决以上至少一个技术问题。
6.为了达到上述目的，本实用新型提供了包括花棒本体，其特征在于，所述花棒本体包括头端连接部、槽齿部以及尾端连接部；
7.所述槽齿部上设有轴向排布的限位齿，相邻的限位齿之间的间隙为用于插入硅片的插槽；
8.所述槽齿部设有至少三个，所有的槽齿部的头端开设有螺纹孔，所有的槽齿部的尾部设有向外延伸且与所述螺纹孔相匹配的螺杆；
9.所述头端连接部设有与所述螺纹孔螺纹连接的头端螺杆；
10.所述尾端连接部开设有与所述螺杆螺纹连接的尾端螺纹孔；
11.还包括中间连接部，所述中间连接部用于连接相邻的槽齿部，所述中间连接部设有与所述螺纹孔螺纹连接的中间螺杆，所述中间连接部设有与所述螺杆螺纹连接的中间内螺纹。
12.本专利通过优化花棒的结构，在整根花棒的长度保持不变的情况下，将花棒分解成多段结构，每段之间用螺纹连接，可以锁紧。在加工时出现限位齿坏掉的情况下，可以随时更换坏掉的一截，重新装上新的一截替换，锁紧就可以加工了。一个花棒可以作为备件，更换多根损坏的花棒，将大大节约成本。
13.安装时按照顺序来一段段连接好，锁死，就可以直接装到腐蚀笼上面了。
14.中间连接部便于实现多组硅片之间的间隔设置。而且通过中间连接部可以实现不同尺寸的腐蚀槽的切换使用。比如通过增加中间连接部的个数，可以实现花棒长度的调节。
15.进一步优选的，所述中间连接部包括一横截面呈正多边形的棱柱部，所述中间内螺纹开设有在所述棱柱部的中央，且所述中间螺杆固定设置在所述棱柱部的下端面上。
16.便于中间连接部的旋转操作。
17.进一步优选的，所述限位齿的外壁上开设有周向排布的矩形缺口。
18.便于提高腐蚀效果。
19.进一步优选的，所述矩形缺口的宽度为6mm。
20.进一步优选的，所述插槽的宽度沿着径向从外至内递减。便于硅片的插设。
21.进一步优选的，所述尾端连接部包括前后设置的前部以及后部，所述前部的外径小于所述槽齿部的外径，所述后部的外径大于所述槽齿部的外径。
22.便于实现花棒的尾部安装。实现尾端连接部与槽齿部夹持在腐蚀笼的侧壁上。
23.进一步优选的，所述头端连接部包括外径从前至后阶梯状递增的圆柱部，且所述头端连接部的最后端的圆柱部的外径小于所述槽齿部的外径。
24.便于实现头端连接部插接在腐蚀笼的侧壁上。
附图说明
25.图1为具体实施例1的一种分解图；
26.图2为具体实施例1的槽齿部的断面图。
27.其中：1为头端连接部，2为槽齿部，3为尾端连接部，4为中间连接部，21为矩形缺口。
具体实施方式
28.下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。
29.参见图1至图2，具体实施例1：一种可拆卸的硅片定位用花棒，包括花棒本体，花棒本体包括头端连接部1、槽齿部2以及尾端连接部3；槽齿部2上设有轴向排布的限位齿，相邻的限位齿之间的间隙为用于插入硅片的插槽；槽齿部2设有至少三个，所有的槽齿部2的头端开设有螺纹孔，所有的槽齿部2的尾部设有向外延伸且与螺纹孔相匹配的螺杆；头端连接部1设有与螺纹孔螺纹连接的头端螺杆；尾端连接部3开设有与螺杆螺纹连接的尾端螺纹孔。
30.还包括中间连接部4，中间连接部4用于连接相邻的槽齿部2；中间连接部4设有与螺纹孔螺纹连接的中间螺杆；中间连接部4设有与螺杆螺纹连接的中间内螺纹。
31.本专利通过优化花棒的结构，在整根花棒的长度保持不变的情况下，将花棒分解成多段结构，每段之间用螺纹连接，可以锁紧。在加工时出现限位齿坏掉的情况下，可以随时更换坏掉的一截，重新装上新的一截替换，锁紧就可以加工了。一个花棒可以作为备件，更换多根损坏的花棒，将大大节约成本。
32.安装时按照顺序来一段段连接好，锁死，就可以直接装到腐蚀笼上面了。
33.中间连接部，便于实现多组硅片之间的间隔设置。而且通过中间连接部可以实现不同尺寸的腐蚀槽的切换使用。比如通过增加中间连接部的个数，可以实现花棒长度的调节。
34.中间连接部根据需求，连接在相邻的槽齿部之间。
35.中间连接部4包括一横截面呈正多边形的棱柱部，中间内螺纹开设有在棱柱部的中央，且中间螺杆固定设置在棱柱部的下端面上。便于中间连接部4的旋转操作。
36.限位齿的外壁上开设有周向排布的矩形缺口21。便于提高腐蚀效果。矩形缺口21
的宽度为6mm。插槽的宽度沿着径向从外至内递减。便于硅片的插设。
37.尾端连接部包括前后设置的前部以及后部，前部的外径小于槽齿部2的外径，后部的外径大于槽齿部2的外径。便于实现花棒的尾部安装。实现尾端连接部与槽齿部2夹持在腐蚀笼的侧壁上。
38.头端连接部包括外径从前至后阶梯状递增的圆柱部，且头端连接部的最后端的圆柱部的外径小于槽齿部2的外径。便于实现头端连接部插接在腐蚀笼的侧壁上。
39.以上仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。


技术特征：
1.一种可拆卸的硅片定位用花棒，包括花棒本体，其特征在于，所述花棒本体包括头端连接部、槽齿部以及尾端连接部；所述槽齿部上设有轴向排布的限位齿，相邻的限位齿之间的间隙为用于插入硅片的插槽；所述槽齿部设有至少三个，所有的槽齿部的头端开设有螺纹孔，所有的槽齿部的尾部设有向外延伸且与所述螺纹孔相匹配的螺杆；所述头端连接部设有与所述螺纹孔螺纹连接的头端螺杆；所述尾端连接部开设有与所述螺杆螺纹连接的尾端螺纹孔；还包括中间连接部，所述中间连接部用于连接相邻的槽齿部，所述中间连接部设有与所述螺纹孔螺纹连接的中间螺杆，所述中间连接部设有与所述螺杆螺纹连接的中间内螺纹。2.根据权利要求1所述的一种可拆卸的硅片定位用花棒，其特征在于：所述中间连接部包括一横截面呈正多边形的棱柱部，所述中间内螺纹开设有在所述棱柱部的中央，且所述中间螺杆固定设置在所述棱柱部的下端面上。3.根据权利要求1所述的一种可拆卸的硅片定位用花棒，其特征在于：所述限位齿的外壁上开设有周向排布的矩形缺口。4.根据权利要求3所述的一种可拆卸的硅片定位用花棒，其特征在于：所述矩形缺口的宽度为6mm。5.根据权利要求1所述的一种可拆卸的硅片定位用花棒，其特征在于：所述插槽的宽度沿着径向从外至内递减。6.根据权利要求1所述的一种可拆卸的硅片定位用花棒，其特征在于：所述尾端连接部包括前后设置的前部以及后部，所述前部的外径小于所述槽齿部的外径，所述后部的外径大于所述槽齿部的外径。7.根据权利要求1所述的一种可拆卸的硅片定位用花棒，其特征在于：所述头端连接部包括外径从前至后阶梯状递增的圆柱部，且所述头端连接部的最后端的圆柱部的外径小于所述槽齿部的外径。

技术总结
本实用新型涉及半导体制造技术领域。一种可拆卸的硅片定位用花棒，包括花棒本体，花棒本体包括头端连接部、槽齿部以及尾端连接部；槽齿部上设有轴向排布的限位齿，相邻的限位齿之间的间隙为用于插入硅片的插槽；槽齿部设有至少三个，所有的槽齿部的头端开设有螺纹孔，所有的槽齿部的尾部设有向外延伸且与螺纹孔相匹配的螺杆；头端连接部设有与螺纹孔螺纹连接的头端螺杆；尾端连接部开设有与螺杆螺纹连接的尾端螺纹孔。在加工时出现限位齿坏掉的情况下，可以随时更换坏掉的一截，重新装上新的一截替换，锁紧就可以加工了。锁紧就可以加工了。锁紧就可以加工了。


技术研发人员：甘志金 贺贤汉 王小波 沈晓春
受保护的技术使用者：上海中欣晶圆半导体科技有限公司
技术研发日：2021.05.10
技术公布日：2022/3/4