防沉积逆止阀的制作方法

技术特征：
1.一种防沉积逆止阀，其特征是包含：上法兰，具有第一开口，该上法兰于该第一开口的一侧形成有倒角环面；下法兰，具有第二开口；中隔框，设于该上法兰及该下法兰之间；以及密封元件，该密封元件的顶侧为锥形板，该密封元件轴向可动式设于该中隔框上，且该密封元件的该锥形板的环接区恒保持实质平行地远离或抵接该倒角环面，其中该密封元件借由移动至开启位置或闭合位置以对应地开启或闭合该上法兰的该第一开口，使得该上法兰的该第一开口连通或不连通该下法兰的该第二开口。2.如权利要求1所述的防沉积逆止阀，其特征是该密封元件的该锥形板的该环接区的圆心角的角度实质相同于该倒角环面的倒角的角度。3.如权利要求2所述的防沉积逆止阀，其特征是该密封元件的该锥形板的该环接区的该圆心角的角度小于90度。4.如权利要求1所述的防沉积逆止阀，其特征是该密封元件的底侧为导杆，且该密封元件于该闭合位置及该开启位置之间切换时，该导杆可动式限位于该中隔框的导槽中。5.如权利要求4所述的防沉积逆止阀，其特征是该中隔框包含环状中空框体及横接杆，该横接杆连接于该环状中空框体的两侧，该导槽设于该横接杆上，且该密封元件轴向可动式设于该中隔框上时，该导槽的轴心平行于该密封元件的该锥形板的轴心。6.如权利要求4所述的防沉积逆止阀，其特征是该导杆一体式连接该锥形板。7.如权利要求4所述的防沉积逆止阀，其特征是该导杆可拆卸式连接该锥形板。8.如权利要求1所述的防沉积逆止阀，其特征是该防沉积逆止阀装设于制程室及抽气装置之间，当该抽气装置在抽气状态及停止抽气状态之间进行切换时，该密封元件对应地在该开启位置与该闭合位置之间进行位移，借以对应地允许该抽气装置抽除该制程室中的气体或防止该气体回流至该制程室中。9.如权利要求1所述的防沉积逆止阀，其特征是该上法兰的该倒角环面具有第一气密垫圈，且该密封元件于该闭合位置时，该锥形板的该环接区抵接该上法兰的该倒角环面上的该第一气密垫圈。10.如权利要求9所述的防沉积逆止阀，其特征是当该密封元件位于该开启位置时，该密封元件的该锥形板的顶端的位置邻近该上法兰的该第一开口的第一侧。11.如权利要求10所述的防沉积逆止阀，其特征是当该密封元件位于该闭合位置时，该密封元件的该锥形板的该顶端的位置位于该上法兰的该第一开口中。12.如权利要求11所述的防沉积逆止阀，其特征是当该密封元件位于该闭合位置时，该密封元件的该锥形板的该顶端的位置邻近该上法兰的该第一开口的第二侧的位置，该上法兰的该第一开口的该第二侧的位置相对于该上法兰的该第一开口的该第一侧的位置。13.如权利要求1所述的防沉积逆止阀，其特征是该密封元件的该顶侧的该锥形板的表面进一步设有覆盖元件。14.如权利要求13所述的防沉积逆止阀，其特征是该覆盖元件为含氟材料层。15.如权利要求1所述的防沉积逆止阀，其特征是该密封元件的该锥形板的顶端为锥形、平面形或圆弧形。16.如权利要求1所述的防沉积逆止阀，其特征是该密封元件的该锥形板的直径大于或
等于该上法兰的该第一开口的内径。17.如权利要求1所述的防沉积逆止阀，其特征是该中隔框螺接于该上法兰及该下法兰之间。18.如权利要求1所述的防沉积逆止阀，其特征是该上法兰与该中隔框之间以及该下法兰与该中隔框之间分别设有一第二气密垫圈。19.如权利要求4所述的防沉积逆止阀，其特征是更包含弹性元件设于该锥形板及该中隔框之间，且该导杆穿设该弹性元件。20.如权利要求19所述的防沉积逆止阀，其特征是该弹性元件的直径介于该锥形板的直径及该导杆的直径之间。

技术总结
本实用新型提供一种防沉积逆止阀，至少包含：上法兰，具有第一开口，上法兰于第一开口的一侧形成有倒角环面；下法兰，具有第二开口；中隔框，设于上法兰及下法兰之间；以及密封元件，密封元件的顶侧为锥形板，密封元件轴向可动式设于中隔框上，且锥形板的环接区恒保持实质平行地远离或抵接倒角环面，其中密封元件借由移动至开启位置或闭合位置以对应地开启或闭合上法兰的第一开口，使得上法兰的第一开口连通或不连通下法兰的第二开口。本实用新型可避免逆止阀内部产生沉积现象而导致密合度不佳的问题。问题。问题。


技术研发人员：陈建勋 孙世源 彭冠颖 许俊树 方志强
受保护的技术使用者：日扬科技股份有限公司
技术研发日：2021.04.22
技术公布日：2022/3/4