将物品移动到处理站的装置和方法、输送系统和处理设备与流程

技术特征：
1.一种装置，其用于将包括至少衬底(2)的物品移动通过处理设备的处理站(1a,b)的开口侧，所述装置包括：至少一个支撑件(26；26')，其可放置在所述处理站(1a,b)处，至少一个载架(27a,b；27'a,b)，其各从导引以沿主要平行于参考坐标系中的参考轴线(z)定向的相应路径相对于所述一或多个支撑件(26；26')移动；至少一个装置(29a,b,30a,b,31a,b；37a,b)，其用于控制所述载架(27a,b；27'a,b)中的至少一个的移动且驱动沿所述路径在相反方向中的至少一个上的移动；组件(21；21')，其用于固持所述物品；以及悬挂机构，所述固持组件(21；21')通过所述悬挂机构连接到所述至少一个载架(27a,b；27'a,b)，其中所述悬挂机构布置成导引所述固持组件(21；21')沿固持组件(21；21')路径相对于所述至少一个载架(27a,b；27'a,b)的移动，且其中所述装置(29a,b,30a,b,31a,b；37a,b)布置成驱动所述固持组件(21；21')沿所述固持组件路径在至少一个方向上的移动，其特征在于所述固持组件路径主要平行于所述参考轴线(z)定向。2.根据权利要求1所述的装置，其中用于控制所述载架(27a,b；27'a,b)中的至少一个的移动的所述装置(29a,b,30a,b,31a,b；37a,b)中的至少一个还布置成驱动所述固持组件(21；21')的移动。3.根据权利要求2所述的装置，其中至少一个载架(27a,b；27'a,b)具备可移动地支承到所述载架(27a,b；27'a,b)的部件(32a,b；42,48)，其中所述载架(27a,b；27'a,b)导引以沿所述支撑件(26；26')中的一个移动通过特征(35；50)，所述特征(35；50)布置成沿所述支撑件(26；26')从沿所述载架(27a,b；27'a,b)的所述路径的至少某一位置接合所述可移动部件(32a,b；42,48)，且其中所述悬挂机构包括用于将所述可移动部件(32a,b；42,48)相对于所述载架(27a,b；27'a,b)的移动转换成所述固持组件(21；21')相对于所述载架(27a,b；27'a,b)的移动的机构。4.根据权利要求3所述的装置，其中所述可移动部件(42,48)导引以在至少大致平行于所述参考轴线(z)定向的方向上相对于所述载架(27'a)线性运动，且其中用于将所述可移动部件(42,48)相对于所述载架(27'a,b)的移动转换成所述固持组件(21')相对于所述载架(27'a,b)的移动的所述机构包括导引以在至少大致平行于所述固持组件路径定向的方向上相对于所述载架(27'a,b)线性运动的另一可移动部件(41,47)，以及用于在所述可移动部件(42,48)与所述另一可移动部件(41,47)之间传递力的力传递装置。5.根据权利要求4所述的装置，其中所述力传递装置包括将所述可移动部件(42,48)与所述另一可移动部件(41,47)相互连接且围绕可旋转地支承到所述载架(27'a)的轮子(44)缠绕的媒介(43)。6.根据前述权利要求中任一权利要求所述的装置，
其中所述载架(27a,b；27'a,b)、所述悬挂机构以及所述固持组件(21；21')形成平面连杆。7.根据前述权利要求中任一权利要求所述的装置，其中所述参考轴线(z)为参考坐标系中的第一参考轴线，所述参考坐标系进一步包括垂直于所述第一参考轴线(z)的第二参考轴线(y)，所述第一参考轴线(z)与所述第二参考轴线(y)一起限定平行于所述固持组件路径所位于的平面的平面，且其中所述装置包含至少两个载架(27a,b；27'a,b)，在平行于所述第二参考轴线(y)的方向上看，所述至少两个载架导引以在所述固持组件(21；21')的相对侧上移动。8.根据权利要求7所述的装置，其中所述至少一个支撑件(26；26')包括支撑所述至少两个载架(27a,b；27'a,b)中的每一个的支撑框架。9.根据前述权利要求中任一权利要求所述的装置，其中用于控制所述载架(27a,b；27'a,b)中的至少一个的移动的所述至少一个装置(29a,b,30a,b,31a,b；37a,b)包括线性致动器。10.根据权利要求9所述的装置，其中所述线性致动器(29a,b,30a,b,31a,b；37a,b)包括旋转马达(30a,b)以及用于将旋转运动转化成线性运动的机构(29a,b,31a,b)，其中所述旋转马达(30a,b)布置在所述至少一个支撑件(26；26')上。11.根据前述权利要求中任一权利要求所述的装置，其中在使用时，所述固持组件路径在平行于所述参考轴线(z)的方向上延伸超过所述载架(27a,b；27'a,b)的所述路径的端点，接近所述处理站(1a,b)。12.根据前述权利要求中任一权利要求所述的装置，其中在使用时，所述载架(27a,b；27'a,b)以及所述悬挂机构在所述固持组件路径的位于所述处理站(1a,b)远侧的端点处相对于所述固持组件路径横向邻近所述固持组件(21；21')定位。13.一种系统，其用于在处理设备的处理站(1a,b)之间输送包括至少衬底(2)的物品，其中所述输送系统包括可从处理站(1a,b)移动到处理站(1a,b)的传输件(3)，且其中所述传输件(3)包括根据前述权利要求中任一权利要求所述的至少一个装置。14.一种用于处理衬底(2)的设备，其包括根据权利要求1至12中任一权利要求所述的装置以及根据权利要求13所述的输送系统中的至少一个。15.一种在处理设备中处置衬底(2)的方法，其包括将包括至少所述衬底(2)的物品移动通过所述处理设备的处理站(1a,b)的开口侧，其中将所述物品移动通过所述开口侧包括：沿主要平行于参考坐标系中的参考轴线(z)定向的路径移动至少一个载架(27a,b；27'a,b)；借助于连接到所述至少一个载架(27a,b；27'a,b)的固持组件(21；21')固持所述物品；以及沿固持组件路径相对于所述至少一个载架(27a,b；27'a,b)移动所述固持组件(21；21')，
其特征在于所述固持组件路径主要平行于所述参考轴线(z)定向。

技术总结
一种装置，其用于将包括至少衬底(2)的物品移动通过处理设备的处理站(1a,b)的开口侧，所述装置包括可放置在所述处理站(1a,b)处的至少一个支撑件(26；26')。所述装置包括至少一个载架(27a,b；27'a,b)，其各自导引以沿主要平行于参考坐标系中的参考轴线(z)定向的相应路径相对于所述一或多个支撑件(26；26')移动。所述装置包括至少一个装置(29a,b,30a,b,31a,b；37a,b)，其用于控制所述载架(27a,b；27'a,b)中的至少一个的移动且驱动沿所述路径在相反方向中的至少一个上的移动。所述装置包括用于固持所述物品的组件(21；21')和悬挂机构，所述固持组件(21；21')通过所述悬挂机构连接到所述至少一个载架(27a,b；27'a,b)。所述悬挂机构布置成导引所述固持组件(21；21')沿固持组件(21；21')路径相对于所述至少一个载架(27a,b；27'a,b)的移动。所述装置(29a,b,30a,b,31a,b；37a,b)布置成驱动所述固持组件(21；21')沿所述固持组件路径在至少一个方向上的移动。所述固持组件路径主要平行于所述参考轴线(z)定向。向。向。


技术研发人员：R
受保护的技术使用者：德国艾托特克公司
技术研发日：2020.06.24
技术公布日：2022/3/4