烘干设备及加工系统的制作方法

技术特征：
1.一种烘干设备，其特征在于，包括：壳体组件，所述壳体组件内部设有烘干腔；加热组件，设置于所述壳体组件的内部，用于加热所述烘干腔；真空组件，与所述烘干腔相连通，用于调节所述烘干腔的真空度；其中，所述壳体组件内部设置有多个装载位置。2.根据权利要求1所述的烘干设备，其特征在于，所述壳体组件包括：壳体本体，所述烘干腔设置于所述壳体本体内；进腔口，设置于所述壳体本体的第一侧壁；出腔口，设置于所述壳体本体的第二侧壁，并与所述进腔口相对设置，所述进腔口与所述出腔口高度一致；第一腔门装置，设置于所述进腔口；第二腔门装置，设置于所述出腔口。3.根据权利要求2所述的烘干设备，其特征在于，所述真空组件包括：真空管道，所述真空管道设置于所述壳体本体，且所述真空管道的一端于所述烘干腔相连通；真空泵，所述真空泵与所述真空管道的另一端相连接；电动阀门，设置于所述真空管道。4.根据权利要求3所述的烘干设备，其特征在于，还包括：控制组件，所述控制组件用于：在检测到所述装载位置装载有加工件的情况下，控制所述第一腔门装置关闭所述进腔口，并控制所述第二腔门装置关闭所述出腔口；控制所述电动阀门开启，并控制所述真空泵抽出所述烘干腔内的气体；控制所述加热组件对所述烘干腔进行加热。5.根据权利要求2所述的烘干设备，其特征在于，还包括：第一传送组件，设置于所述进腔口和所述出腔口之间，用于将所述加工件向所述烘干腔的内部或外部传输；其中，所述第一传送组件上设置有交接位置；第二传送组件，沿所述壳体本体的高度方向设置于所述壳体本体内部，用于在所述交接位置和所述装载位置之间传输所述加工件；其中，多个所述装载位置沿所述壳体本体的高度方向顺序布置。6.根据权利要求5所述的烘干设备，其特征在于，所述第二传送组件包括：第一传送部，靠近于所述第一侧壁设置；所述第一传送部包括第一传送件和多个第一支撑件，多个所述第一支撑件沿所述壳体本体的高度方向间隔设置于所述第一传送件；所述第一传送件用于带动所述第一支撑件在所述交接位置和所述装载位置之间运动；第二传送部，靠近于所述第二侧壁设置，且与所述第一传送部相对布置；所述第二传送部包括第二传送件和多个第二支撑件，多个所述第二支撑件对应于多个所述第一支撑件间隔设置于所述第二传送件；所述第二传送件用于带动所述第二支撑件在所述交接位置和所述装载位置之间运动；
所述第一传送件和所述第二传送件同步运动；其中，所述第一支撑件和所述第二支撑件用于支撑所述加工件沿厚度方向上的一侧的部分表面。7.根据权利要求5所述的烘干设备，其特征在于，还包括：第三传送组件，设置于所述进腔口并位于所述壳体本体的外部，所述第三传送组件的输出端与所述第一传送组件相连接；第四传送组件，设置于所述出腔口并位于所述壳体本体的外部，所述第四传送组件的输入端与所述第一传送组件相连接。8.根据权利要求2至权利要求7中任一项所述的烘干设备，其特征在于，所述壳体本体的每个内壁上设置有至少一个所述加热组件。9.根据权利要求1至权利要求7中任一项所述的烘干设备，其特征在于，还包括：补压组件，所述补压组件包括：储气装置，用于提供补偿所述烘干腔的压力所需的气体；补压管路，所述补压管路的一端连通所述烘干腔，且另一端与所述储气装置的出气口相连接；控制阀，设置于所述补压管路，用于导通或切断所述补压管路。10.一种加工系统，其特征在于，包括：如权利要求1至权利要求9中任一项所述的烘干设备。

技术总结
本申请实施例提供了一种烘干设备及加工系统，其中，该烘干设备包括：壳体组件，壳体组件内部设有烘干腔；加热组件，设置于壳体组件的内壁，用于加热烘干腔；真空组件，与烘干腔相连通，用于调节烘干腔的真空度；其中，壳体组件内部设置有多个装载位置。本发明提供的烘干设备可以实现对加工件的批量烘干，大幅提升了烘干效率。并且，该烘干设备能够降低烘干腔内部的氧气含量，避免烘干过程中加工件在有氧条件下发生反应，降低加工件损坏或变质的可能性，并能够降低附着于加工件上的水分的沸点，使水分能够在相对较低的温度下蒸发，有利于降低加热组件在烘干过程中的能耗，提升烘干设备的经济性，实现对加工件可靠且有效的烘干。实现对加工件可靠且有效的烘干。实现对加工件可靠且有效的烘干。


技术研发人员：蒲天 彭文信
受保护的技术使用者：上海德瀛睿创半导体科技有限公司
技术研发日：2021.12.13
技术公布日：2022/3/3