一种光阻稀释剂的供应系统的制作方法

1.本实用新型涉及半导体处理设备的液体供应系统，特别是涉及一种光阻稀释剂的供应系统。


背景技术：

2.在半导体加工处理过程中，往往需要采用光阻材料用于实现光刻等工艺。在晶圆或其他基板上涂覆光阻液之前，通常需要使用光阻稀释剂对管路进行清洗，清除管路中残留的光阻液，保证管路通畅，避免对光阻液的涂覆造成影响。如图1所示为现有技术中光阻稀释剂的供应管路结构，包括光阻液桶401及稀释剂存储桶402，使用时先将所述稀释剂存储桶402接入管路中，对整个管路进行清洗，之后将所述稀释剂存储桶402从管路中断开，再将所述光阻液桶401接入管路，光阻液流经阀门、喷嘴等进行涂覆。在这个过程中，需要单独桶装的光阻稀释剂进行管路清洗，耗费成本较高。而且需要频繁的更换灌装，费时费力，且有一定的化工安全隐患。
3.因此需要设计一种供应系统，用于集中供应光阻稀释剂以降低成本、简化流程。


技术实现要素：

4.鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种光阻稀释剂的供应系统，用于解决现有技术中光阻稀释剂存储桶供应成本高、且更换灌装费时费力的问题。
5.为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种光阻稀释剂的供应系统所述供应系统包括：
6.稀释剂供应罐，所述稀释剂供应罐用以供应光阻稀释剂；
7.压力泵，所述压力泵与所述稀释剂供应罐连接；
8.第一阀门，所述第一阀门的第一接口连接至所述压力泵；
9.第二阀门，所述第二阀门的第二接口连接至所述第一阀门的第二接口；
10.光阻液桶，所述光阻液桶用以供应光阻，且所述光阻液桶与所述第二阀门的第三接口连接；
11.k个喷嘴阀门，k个所述喷嘴阀门的第一接口连接至所述第一阀门的第三接口，k个所述喷嘴阀门的第二接口连接至所述第二阀门的第一接口，其中k为正整数。
12.可选地，还包括稀释剂存储桶，所述稀释剂存储桶与所述第二阀门的第三接口连接。
13.可选地，所述稀释剂供应罐的容积大于所述稀释剂存储桶的容积。
14.可选地，所述稀释剂存储桶的容积为1l-4l。
15.可选地，所述稀释剂供应罐的容积为50l-300l。
16.可选地，所述光阻液桶的容积为1l-300l。
17.可选地，还包括喷嘴，所述喷嘴与所述喷嘴阀门的第三接口连接。
18.可选地，所述第一阀门、第二阀门及k个所述喷嘴阀门均为气动阀门。
19.可选地，所述第一阀门、第二阀门及k个所述喷嘴阀门均包括至少3个接口。
20.可选地，k的取值为k≥2。
21.如上所述，本实用新型的一种光阻稀释剂的供应系统，具有以下有益效果：该供应系统包括稀释剂供应罐、压力泵、第一阀门、第二阀门、喷嘴阀门，该供应系统采用稀释剂供应罐以集中供应的方式提供光阻稀释剂，无需购置单独的桶装稀释剂，极大的缩减了成本，省去了频繁的更换灌装，降低化工安全隐患。同时可以选择性地对管路全部清洁或是部分清洁，具有一定的灵活性。此外，通过该供应系统可以将光阻稀释剂输送至稀释剂存储桶中储存起来，完成储存的稀释剂存储桶可以用于应急使用，同时也适用于不同光源波长的机台，从而进一步缩减成本。
附图说明
22.图1显示为现有技术中的供应管路结构示意图。
23.图2显示为本实用新型中的供应系统示意图。
24.元件标号说明
25.11稀释剂供应罐
26.21压力泵
27.31第一阀门
28.32第二阀门
29.33喷嘴阀门
30.311、321、331第一接口
31.312、322、332第二接口
32.313、323、333第三接口
33.61喷嘴
34.401光阻液桶
35.402稀释剂存储桶
具体实施方式
36.以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。
37.如在详述本实用新型实施例时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本实用新型保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。
38.为了方便描述，此处可能使用诸如“之下”、“下方”、“低于”、“下面”、“上方”、“上”等的空间关系词语来描述附图中所示的一个元件或特征与其他元件或特征的关系。将理解到，这些空间关系词语意图包含使用中或操作中的器件的、除了附图中描绘的方向之外的其他方向。此外，当一层被称为在两层“之间”时，它可以是所述两层之间仅有的层，或者也可以存在一个或多个介于其间的层。本文使用的“介于
……
之间”表示包括两端点值。
39.在本技术的上下文中，所描述的第一特征在第二特征“之上”的结构可以包括第一和第二特征形成为直接接触的实施例，也可以包括另外的特征形成在第一和第二特征之间的实施例，这样第一和第二特征可能不是直接接触。
40.需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图示中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，其组件布局型态也可能更为复杂。
41.如图2所示，本实施例提供一种光阻稀释剂的供应系统，所述供应系统包括：
42.稀释剂供应罐11，所述稀释剂供应罐11用以供应光阻稀释剂；
43.压力泵21，所述压力泵21与所述稀释剂供应罐11连接；
44.第一阀门31，所述第一阀门31的第一接口311连接至所述压力泵21；
45.第二阀门32，所述第二阀门32的第二接口322连接至所述第一阀门31的第二接口312；
46.光阻液桶401，所述光阻液桶401用以供应光阻，且所述光阻液桶401与所述第二阀门32的第三接口323连接；
47.k个喷嘴阀门33，k个所述喷嘴阀门33的第一接口331连接至所述第一阀门31的第三接口313，k个所述喷嘴阀门33的第二接口332连接至所述第二阀门32的第一接口321，其中k为正整数。
48.进一步地，所述供应系统还包括稀释剂存储桶402，所述稀释剂存储桶402与所述第二阀门32的第三接口323连接。
49.进一步地，所述供应系统还包括喷嘴61，所述喷嘴61与所述喷嘴阀门33的第三接口333连接。
50.具体地，所述稀释剂供应罐11用于集中供应光阻稀释剂，所述光阻稀释剂经由压力泵21推动到达所述第一阀门31，到达所述第一阀门31的光阻稀释剂，可以直接输送至3个喷嘴阀门33(k＝3)，进而到达3个喷嘴61，完成所述喷嘴阀门33至所述喷嘴61的部分管路清洗；到达所述第一阀门31的光阻稀释剂，也可以输送至所述第二阀门32，所述第二阀门32通过控制3个接口的开闭，可以将所述光阻稀释剂输送至喷嘴阀门33直接用于整个管路清洗，也可将所述光阻稀释剂输送至所述稀释剂存储桶402储存起来。
51.需要说明的是，所述稀释剂存储桶402对于光阻稀释剂的供应来说并非必须，即使没有所述稀释剂存储桶402，所述供应系统仍然可以完成对整个管路的清洗。所述稀释剂存储桶主要承担储存的作用，完成储存的所述稀释剂存储桶402可以用于应急使用，也可以拆走用于其他机台。因为所述光阻稀释剂适用于不同光源波长的机台，例如i线光刻机台(对应曝光波长为365nm)、krf光刻机台(对应曝光波长为248nm)。需要说明的是，在对所述稀释剂存储桶402进行光阻稀释剂的储存时，需要将连接所述稀释剂存储桶402的n2气路断开并与外界连接，从而保证在储存所述光阻稀释剂时桶内压力维持恒定的大气压强。其中所述n2气路用于在使用所述稀释剂存储桶402时对桶内鼓气以将所述光阻稀释剂从桶内压出。
52.进一步地，所述稀释剂供应罐11的容积大于所述稀释剂存储桶402的容积。所述稀释剂存储桶402的容积为1l-4l，优选为4l；所述稀释剂供应罐11的容积为50l-300l，优选为200l。
53.具体地，与现有技术中使用单独桶装的的光阻稀释剂相比，本实施例中通过所述稀释剂供应罐11以集中供应光阻稀释剂，可以极大的缩减成本。目前市场上1加仑容量(约4l)的桶装稀释剂单价为700元，约合175元/l，而采用本实施例中通过所述稀释剂供应罐11以集中供应光阻稀释剂的方式成本约为35元/l，价格相差约5倍，因为大批量采购的商品价格必然要比小容量单独桶装的更加划算。本实施例中3个喷嘴即对应3条光阻喷涂线，对所述3条光阻喷涂线进行清洗时，若按照现有技术使用1加仑容量的桶装稀释剂，则需要11桶；如果采用本实施例中集中供应的方式，可以节省大概11
×
700
×
4/5＝6160元。如果将完成储存的稀释剂存储桶进一步用于其他机台，可使其他机台受益并进一步缩减成本。
54.进一步地，所述光阻液桶401用于供应光阻液，容积为1l-300l，所述供应系统对整个管路完成清洗后，将光阻液桶401接通至管路中，通过控制所述第二阀门32及喷嘴阀门33的3个接口的开闭，使所述光阻液流至所述喷嘴61用于涂覆。
55.进一步地，所述第一阀门31、第二阀门32及k个所述喷嘴阀门33均为气动阀门，所述气动阀门具有紧密可靠、密封性好、开闭迅速、耐腐蚀性好等优点。
56.进一步地，所述第一阀门31、第二阀门32及k个所述喷嘴阀门33均包括至少3个接口，具体地，所述接口不局限于本实施例中的3个，可以有更多接口，以实现更多互联，此处不作限定。例如可以将所述第一阀门31的接口数量设计为4个，除了本实施例中的3个接口外，额外的1个接口可以用作向其他机台供应光阻稀释剂。此外，所述第一阀门31、第二阀门32及k个所述喷嘴阀门33一般采用自动控制系统控制其接口的开闭，以实现自动化。
57.进一步地，k的取值为k≥2。本实施例中k＝3对应于3条光阻喷涂线，应当理解的是实际中可以根据需要对光阻喷涂线的数量进行增减，此处不作过多限定。
58.所述供应系统的工作流程为：先将光阻稀释剂通过所述稀释剂供应罐11
→
压力泵21
→
第一阀门31
→
第二阀门32
→
喷嘴阀门33
→
喷嘴61完成整个管路的清洗，也可选择不经过第二阀门32，直接从所述第一阀门31到喷嘴阀门33，完成部分管路的清洗。当然清洗时也可以选择稀释剂存储桶402中储存的光阻稀释剂，此时光阻稀释剂通过所述稀释剂存储桶402
→
第二阀门32
→
喷嘴阀门33
→
喷嘴61完成整个管路的清洗。清洗完毕后，将所述光阻液桶401接入管路中进行光阻液的涂覆。应当理解的是，实际作业中需要对所述第一阀门31、第二阀门32及k个所述喷嘴阀门33的各个接口进行适时的开闭操作，以控制光阻稀释剂或光阻液的流向，此处不再赘述。
59.综上所述，本实用新型提供了一种光阻稀释剂的供应系统，该供应系统包括稀释剂供应罐、压力泵、第一阀门、第二阀门、喷嘴阀门，该供应系统采用稀释剂供应罐以集中供应的方式提供光阻稀释剂，无需购置单独的桶装稀释剂，极大的缩减了成本，省去了频繁的更换灌装，降低化工安全隐患。同时可以选择性地对管路全部清洁或是部分清洁，具有一定的灵活性。此外，通过该供应系统可以将光阻稀释剂输送至稀释剂存储桶中储存起来，完成储存的稀释剂存储桶可以用于应急使用，同时也适用于不同光源波长的机台，从而进一步缩减成本。
60.上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。