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一种取代原有烧结铜网或印刷铜粉烧结的散热均温片的蚀刻工艺的制作方法

2022-03-02 02:29:26 来源:中国专利 TAG:

1.本发明涉及散热片制作技术领域,尤其是涉及一种取代原有烧结铜网或印刷铜粉烧结的散热均温片的蚀刻工艺。


背景技术:

2.散热片是一种给电器中的易发热电子元件散热的装置,多由铝合金,黄铜或青铜做成板状,片状,多片状等,如电脑中cpu中央处理器要使用相当大的散热片,电视机中电源管,行管,功放器中的功放管都要使用散热片。
3.散热均温片是由蚀刻基片与内部烧结铜网或印刷铜粉后烧结(统称为均温片毛细结构)而成,传统的散热均温片制备工艺繁琐,制作成本高,并不适合普及推广。


技术实现要素:

4.本发明为克服上述情况不足,旨在提供一种能解决上述问题的技术方案。
5.一种取代原有烧结铜网或印刷铜粉烧结的散热均温片的蚀刻工艺,包括以下步骤:
6.步骤a:采用菲林机绘制出散热均温片图案,图案中包括产品外形图和内部毛细结构图案,其中反面绘制出外形图案,正面绘制外形图案和内部毛细结构,图案由宽度为30um的狭缝与宽度为30um的线条交错组成;
7.步骤b:取一金属片,将其表面清洗烘干,以使其达因值达到50,然后在金属片两面涂覆上抗腐蚀感光层,制得带感光层金属片;
8.步骤c:将步骤a制作的菲林正反面通过预设镜像靶标图案对其焊接,使其外形图案正反面安全重叠,制得夹层菲林片;
9.步骤d:将步骤b制得的带感光层金属片置于步骤c制得的夹层菲林片中,然后进行曝光,使得金属片上涂覆抗腐蚀感光层的局部区域因菲林图案遮光而得不到硬化,其他区域因见光而硬化;
10.步骤e:将曝光后的金属片进行显影,将完成步骤d的产品通过碳酸钠溶液喷淋,使其未硬化的抗腐蚀感光层脱落,再对其清洗烘干,从而制作出产品外形和内部毛细结构狭缝完全裸露而其它区域有抗腐蚀感光层保护的金属片;
11.步骤f:将完成e步骤的金属片进行化学腐蚀,除去表面抗腐蚀感光层,再对其清洗烘干,制得自带毛细结构散热均温片。
12.作为本发明进一步的方案:步骤a中,狭缝和线条交错组成的图案厚度为30um。
13.作为本发明进一步的方案:抗腐蚀感光层为感光油墨或感光干膜。
14.作为本发明进一步的方案:步骤b中清洗烘干按照如下工序进行:(1)采用浓度为5%的除油剂喷淋清洗,温度为45~55℃;(2)三道溢流自来水洗;(3)采用浓度为3%的盐酸中和水洗;(4)两道自来水洗;(5)烘干。
15.作为本发明进一步的方案:抗腐蚀感光层为感光油墨,涂覆感光油墨时,感光油墨每5kg油墨添加350ml溶剂,单面涂覆厚度为20um,涂覆感光油墨后进行烘干处理,烘烤温度为120℃,烘烤时间为2min。
16.作为本发明进一步的方案:抗腐蚀感光层为感光干膜,感光干膜厚度为20um,涂覆感光干膜时,覆膜温度为100~120℃,压膜滚轮压力为0.3~0.5mpa,压膜滚轮速为1.0~3.0m/min。
17.作为本发明进一步的方案:步骤d中,曝光尺的曝光能量控制在4格,曝光功率为40~55mj/cm2,曝光时间为100ms~200ms。
18.作为本发明进一步的方案:步骤e中,采用0.78~0.82wt%碳酸钠溶液,温度为35~50℃,喷淋压力为0.12~0.2mpa,喷淋时间为2min。
19.作为本发明进一步的方案:步骤f中,使用三氯化铁或者三氯化铜溶液进行化学腐蚀,溶液溶度为39~45波美度,温度为48~52℃。
20.作为本发明进一步的方案:步骤f中清洗按照如下工序进行:(1)三道溢流水洗;(2)采用浓度为3%的草酸中和水洗;(3)纯水洗;(4)烘干。
21.与现有技术相比,本发明的有益效果是:本发明工艺能够缩短制作散热均温片的流程,节省了人力,物力的投入,节省了制作成本并且使其结构更稳固,性能更加优良。
22.本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本发明的实践了解到。
具体实施方式
23.下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
24.本发明实施例中,一种取代原有烧结铜网或印刷铜粉烧结的散热均温片的蚀刻工艺,包括以下步骤:
25.步骤a:采用菲林机绘制出散热均温片图案,图案中包括产品外形图和内部毛细结构图案,其中反面绘制出外形图案,正面绘制外形图案和内部毛细结构,图案由宽度为30um的狭缝与宽度为30um的线条交错组成,为整个毛细结构图案核心;
26.步骤b:取一金属片,将其表面清洗烘干,以使其达因值达到50,然后在金属片两面涂覆上抗腐蚀感光层,制得带感光层金属片;
27.步骤c:将步骤a制作的菲林正反面通过预设镜像靶标图案对其焊接,使其外形图案正反面安全重叠,制得夹层菲林片;
28.步骤d:将步骤b制得的带感光层金属片置于步骤c制得的夹层菲林片中,然后进行曝光,使得金属片上涂覆抗腐蚀感光层的局部区域因菲林图案遮光而得不到硬化,其他区域因见光而硬化;
29.步骤e:将曝光后的金属片进行显影,将完成步骤d的产品通过碳酸钠溶液喷淋,使其未硬化的抗腐蚀感光层脱落,再对其清洗烘干,从而制作出产品外形和内部毛细结构狭缝完全裸露而其它区域有抗腐蚀感光层保护的金属片;
30.步骤f:将完成e步骤的金属片进行化学腐蚀,除去表面抗腐蚀感光层,再对其清洗烘干,制得自带毛细结构散热均温片。
31.步骤a中,狭缝和线条交错组成的图案厚度为30um。
32.抗腐蚀感光层为感光油墨或感光干膜,可根据原材料厚度选择使用感光油墨或者感光干膜。
33.步骤b中清洗烘干按照如下工序进行:(1)采用浓度为5%的除油剂喷淋清洗,温度为45~55℃;(2)三道溢流自来水洗;(3)采用浓度为3%的盐酸中和水洗;(4)两道自来水洗;(5)烘干。
34.抗腐蚀感光层为感光油墨,涂覆感光油墨时,感光油墨每5kg油墨添加350ml溶剂,单面涂覆厚度为20um,涂覆感光油墨后进行烘干处理,烘烤温度为120℃,烘烤时间为2min。
35.抗腐蚀感光层为感光干膜,感光干膜厚度为20um,涂覆感光干膜时,覆膜温度为100~120℃,压膜滚轮压力为0.3~0.5mpa,压膜滚轮速为1.0~3.0m/min。
36.步骤d中,曝光尺的曝光能量控制在4格,曝光功率为40~55mj/cm2,曝光时间为100ms~200ms。
37.步骤e中,采用0.78~0.82wt%碳酸钠溶液,温度为35~50℃,喷淋压力为0.12~0.2mpa,喷淋时间为2min。
38.步骤f中,使用三氯化铁或者三氯化铜溶液进行化学腐蚀,溶液溶度为39~45波美度,温度为48~52℃,蚀刻时间可根据材料厚度进行调整。
39.步骤f中清洗按照如下工序进行:(1)三道溢流水洗;(2)采用浓度为3%的草酸中和水洗;(3)纯水洗;(4)烘干。
40.本发明工艺是在金属片清洗烘干后在上面涂覆上感光层,通过菲林遮蔽曝光后显影,使散热均温片基片外形以及各种毛细结构图案显于金属片上,最后通过化学腐蚀工艺,制作出各种形状的金属基片和毛细结构于一体的散热均温片,本发明工艺能够缩短制作散热均温片的流程,节省了人力,物力的投入,节省了制作成本并且使其结构更稳固,性能更加优良。
41.对于本领域技术人员而言,显然本发明不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本发明。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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