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一种蓝宝石衬底曝光机的对位辅助治具的制作方法

2022-02-23 21:39:57 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及一种对位辅助治具,具体为一种蓝宝石衬底曝光机的对位辅助治具,属于曝光机技术领域。


背景技术:

2.紫外曝光机,也称光刻机、掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等,是印刷线路板制作工艺中的重要设备,一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序,蓝宝石衬底在制作过程中需要对板面进行贴干膜或湿膜,以进行阻焊曝光,现有的贴膜过程多是由工作人员进行手动对位,手动对位需频繁寻找对位位置,费时费力,且对位误差较大,在对贴膜后的蓝宝石衬底进行检测时光线较暗会影响检测情况。


技术实现要素:

3.本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种蓝宝石衬底曝光机的对位辅助治具,可对曝光基板的位置进行自行调整,不需工作人员手动调整,提高了加工效率,同时提高了对位精准度。
4.本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的,一种蓝宝石衬底曝光机的对位辅助治具,包括底板,所述底板上方设有金属固定框,所述底板顶部固定连接有滑轨,所述滑轨滑动连接有滑块,所述滑块顶部固定连接有第一驱动框,所述第一驱动框一侧固定连接有第一伺服电机,所述第一伺服电机输出端固定连接有第一丝杆,所述第一丝杆螺纹连接有第一螺纹套,所述第一螺纹套顶部固定连接有吸盘板,所述吸盘板上方设有曝光基板,所述曝光基板上方设有摄像头,所述摄像头顶部与金属固定框内壁固定连接,所述摄像头两侧设有照明装置。
5.优选的,所述第一螺纹套底部滑动连接有导轨,所述导轨底部与第一驱动框内壁固定连接,所述滑轨之间设有第二驱动框,所述第二驱动框前侧固定连接有第二伺服电机,所述第二伺服电机输出端固定连接有第二丝杆,所述第二丝杆外围螺纹连接有第二螺纹套。
6.优选的,所述第二螺纹套顶部固定连接有滑套,所述滑套滑动连接有滑杆,所述滑杆两端与第二驱动框内壁固定连接,所述滑套顶部固定连接有定位块,所述定位块顶部与第一驱动框底部固定连接。
7.优选的,所述照明装置一侧设有对位相机,所述对位相机的数量为两个,所述对位相机相对于摄像头中心线对称式分布。
8.优选的,所述照明装置包括挡板,所述挡板顶部与金属固定框内壁固定连接,所述挡板之间固定连接有限位杆,所述限位杆滑动连接有限位套,所述限位套底部转动连接有第一电动伸缩杆,所述第一电动伸缩杆末端转动连接有固定板,所述固定板底部固定连接有曝光灯,所述固定板顶部一侧通过轴架与限位套底部转动连接,所述挡板一侧固定连接
有第二电动伸缩杆,所述第二电动伸缩杆末端与限位套顶部固定连接。
9.优选的,所述金属固定框两侧固定连接有伸缩气缸,所述伸缩气缸末端固定连接有调整板,所述调整板一侧固定连接有橡胶垫板,所述调整板另一侧固定连接有定位支杆,所述定位支杆与金属固定框滑动连接。
10.本实用新型的有益效果是:
11.1、本实用新型通过设置第一伺服电机可带动第一丝杆进行转动,从而使第一螺纹套可带动吸盘板及曝光基板在x轴进行位移,通过设置第二伺服电机可带动第二丝杆进行转动,从而使第二螺纹套可带动第一驱动框在y轴进行位移,使吸盘板与曝光基板可进行同步位移,通过设置伸缩气缸使调整板可对曝光基板的位置进行定位调整,配合第一驱动框与第二驱动框进行使用,便于对曝光基板进行自动对位,提高了对位精度,不需工作人员频繁的对曝光基板的位置进行手动调整;
12.2、本实用新型通过设置第一电动伸缩杆可对固定板的角度进行控制,从而使曝光灯的角度可进行同步调节,通过设置第二电动伸缩杆可对曝光灯的水平位置进行调整,便于对曝光基板进行全方位照明,避免照明死角出现,导致无法判读,实用性较强。
附图说明
13.图1是本实用新型的整体结构示意图。
14.图2是本实用新型的第二驱动框内部结构示意图。
15.图3是本实用新型的a处放大图。
16.图中标号:1、底板;2、金属固定框;3、第一驱动框;4、第一伺服电机;5、第一丝杆;6、第一螺纹套;7、吸盘板;8、曝光基板;9、摄像头;10、照明装置;11、第二驱动框;12、第二伺服电机;13、第二丝杆;14、第二螺纹套;15、对位相机;16、挡板;17、限位杆;18、限位套;19、第一电动伸缩杆;20、固定板;21、曝光灯;22、第二电动伸缩杆;23、伸缩气缸;24、调整板;25、定位支杆。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例,基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
18.实施例1,请参阅图1-3所示,一种蓝宝石衬底曝光机的对位辅助治具,包括底板1,所述底板1上方设有金属固定框2,所述底板1顶部固定连接有滑轨,所述滑轨滑动连接有滑块,所述滑块顶部固定连接有第一驱动框3,所述第一驱动框3一侧固定连接有第一伺服电机4,所述第一伺服电机4输出端固定连接有第一丝杆5,所述第一丝杆5螺纹连接有第一螺纹套6,通过设置第一伺服电机4可带动第一丝杆5进行转动,从而使第一螺纹套6可带动吸盘板7及曝光基板8在x轴进行位移,所述第一螺纹套6顶部固定连接有吸盘板7,所述吸盘板7上方设有曝光基板8,所述曝光基板8上方设有摄像头9,所述摄像头9顶部与金属固定框2内壁固定连接,所述摄像头9两侧设有照明装置10。
19.具体而言,所述第一螺纹套6底部滑动连接有导轨,所述导轨底部与第一驱动框3
内壁固定连接,所述滑轨之间设有第二驱动框11,所述第二驱动框11前侧固定连接有第二伺服电机12,所述第二伺服电机12输出端固定连接有第二丝杆13,所述第二丝杆13外围螺纹连接有第二螺纹套14,所述第二螺纹套14顶部固定连接有滑套,所述滑套滑动连接有滑杆,所述滑杆两端与第二驱动框11内壁固定连接,所述滑套顶部固定连接有定位块,所述定位块顶部与第一驱动框3底部固定连接,通过设置第二伺服电机12可带动第二丝杆13进行转动,从而使第二螺纹套14可带动第一驱动框3在y轴进行位移,使吸盘板7与曝光基板8可进行同步位移。
20.具体而言,所述照明装置10一侧设有对位相机15,所述对位相机15的数量为两个,所述对位相机15相对于摄像头9中心线对称式分布,所述照明装置10包括挡板16,所述挡板16顶部与金属固定框2内壁固定连接,所述挡板16之间固定连接有限位杆17,所述限位杆17滑动连接有限位套18,所述限位套18底部转动连接有第一电动伸缩杆19,所述第一电动伸缩杆19末端转动连接有固定板20,所述固定板20底部固定连接有曝光灯21,所述固定板20顶部一侧通过轴架与限位套18底部转动连接,所述挡板16一侧固定连接有第二电动伸缩杆22,所述第二电动伸缩杆22末端与限位套18顶部固定连接,通过设置第一电动伸缩杆19可对固定板20的角度进行控制,从而使曝光灯21的角度可进行同步调节,通过设置第二电动伸缩杆22可对曝光灯21的水平位置进行调整,便于对曝光基板8进行全方位照明,避免照明死角出现,导致无法判读,实用性较强。
21.实施例2,请参阅图3,本实施例与实施例1的区别在于:所述金属固定框2两侧固定连接有伸缩气缸23,所述伸缩气缸23末端固定连接有调整板24,所述调整板24一侧固定连接有橡胶垫板,所述调整板24另一侧固定连接有定位支杆25,所述定位支杆25与金属固定框2滑动连接,通过设置伸缩气缸23使调整板24可对曝光基板8的位置进行定位调整,通过设置定位支杆25使伸缩气缸23在运动时更加稳定,不易发生晃动,配合第一驱动框3与第二驱动框11进行使用,便于对曝光基板8进行自动对位,提高了对位精度,不需工作人员频繁的对曝光基板8的位置进行手动调整。
22.本实用新型在使用时,通过设置第一伺服电机4可带动第一丝杆5进行转动,从而使第一螺纹套6可带动吸盘板7及曝光基板8在x轴进行位移,通过设置第二伺服电机12可带动第二丝杆13进行转动,从而使第二螺纹套14可带动第一驱动框3在y轴进行位移,使吸盘板7与曝光基板8可进行同步位移,通过设置伸缩气缸23使调整板24可对曝光基板8的位置进行定位调整,配合第一驱动框3与第二驱动框11进行使用,便于对曝光基板8进行自动对位,提高了对位精度,不需工作人员频繁的对曝光基板8的位置进行手动调整,通过设置第一电动伸缩杆19可对固定板20的角度进行控制,从而使曝光灯21的角度可进行同步调节,通过设置第二电动伸缩杆22可对曝光灯21的水平位置进行调整,便于对曝光基板8进行全方位照明,避免照明死角出现,导致无法判读,实用性较强。
23.对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型,因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内,不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
24.此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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