一种用于离子注入的单片晶圆机械辅助夹具的制作方法

技术特征：
1.一种用于离子注入的单片晶圆机械辅助夹具，其特征在于，晶圆机械辅助夹具设置于静电吸盘的下表面，晶圆机械辅助夹具包括安装基板（4210），安装基板（4210）固定设置于静电吸盘的下表面，静电吸盘的上表面与晶圆接触；安装基板（4210）的中心位置开设有一通孔，该通孔下方固定设置有升降机构，升降机构中作升降运动的部分与牵引绳（4205）的末端固定连接，从而控制牵引绳（4205）的拉动和释放；在安装基板（4210）上还设置有滑轮（4206），滑轮（4206）位于滑杆（4202）和升降机构运动方向相交处附近。2.根据权利要求1所述的一种用于离子注入的单片晶圆机械辅助夹具，其特征在于，安装基板（4210）与静电吸盘采用固定连接方式连接。3.根据权利要求2所述的一种用于离子注入的单片晶圆机械辅助夹具，其特征在于，安装基板（4210）粘接固定静电吸盘。4.根据权利要求1所述的一种用于离子注入的单片晶圆机械辅助夹具，其特征在于，安装基板（4210）与静电吸盘采用螺栓连接方式连接，或者安装基板（4210）与静电吸盘采用可拆卸连接方式连接。5.根据权利要求4所述的一种用于离子注入的单片晶圆机械辅助夹具，其特征在于，在静电吸盘的背面开设一个或多个具有内螺纹的盲孔，在安装基板（4210）上开设相应的通孔，螺栓穿过通孔旋入盲孔中。6.根据权利要求1所述的一种用于离子注入的单片晶圆机械辅助夹具，其特征在于，安装基板（4210）边缘位置处设置有若干夹子（4201），夹子（4201）夹持到晶圆的边缘。7.根据权利要求6所述的一种用于离子注入的单片晶圆机械辅助夹具，其特征在于，夹子（4201）为均匀分布的三个夹子（4201）。8.根据权利要求6所述的一种用于离子注入的单片晶圆机械辅助夹具，其特征在于，若干夹子（4201）围绕构成的虚拟内接圆直径大于静电吸盘的直径。9.根据权利要求6所述的一种用于离子注入的单片晶圆机械辅助夹具，其特征在于，夹子（4201）通过夹子限位滑动机构实现滑动。10.根据权利要求9所述的一种用于离子注入的单片晶圆机械辅助夹具，其特征在于，夹子限位滑动机构包括形状相匹配的滑杆（4202）和套筒（4203）；滑杆（4202）的外径等于或略小于套筒（4203）的内径，滑杆（4202）同轴地贯穿于套筒（4203）中，并能够在套筒（4203）的限制下沿其轴线方向顺畅滑动。

技术总结
本实用新型涉及一种用于离子注入的单片晶圆机械辅助夹具，晶圆机械辅助夹具设置于静电吸盘的下表面，晶圆机械辅助夹具包括安装基板，安装基板固定设置于静电吸盘的下表面，静电吸盘的上表面与晶圆接触。与现有技术相比，本实用新型的方案通过若干夹子对晶圆进行辅助夹持固定，保证了晶圆不会发生偏移，为离子注入工艺的顺利进行提供了可靠保障；本实用新型的晶圆辅助夹具能够可拆卸地安装在现有的静电吸盘上，使用灵活、方便，且成本较低。且成本较低。且成本较低。


技术研发人员：王辉 卢合强 夏世伟 高国珺 沈斌 贾礼宾 张劲 李强强 翟军明
受保护的技术使用者：北京凯世通半导体有限公司
技术研发日：2021.12.31
技术公布日：2022/2/8